Pazar talebinin artmasıyla birlikte giderek daha fazla sayıda püskürtme hedefi türü sürekli olarak güncellenmektedir. Bazıları müşterilere tanıdık geliyor, bazıları ise yabancı. Şimdi sizlerle magnetron püskürtme hedeflerinin türlerini paylaşmak istiyoruz.
Püskürtme hedefi aşağıdaki türlere sahiptir: metal püskürtme kaplama hedefi, alaşım püskürtme kaplama hedefi, seramik püskürtme kaplama hedefi, borür seramik püskürtme hedefi, karbür seramik püskürtme hedefi, florür seramik püskürtme hedefi, nitrür seramik püskürtme hedefi, oksit seramik hedefi, selenid seramik püskürtme hedefi , silisit seramik püskürtme hedefi, sülfit seramik püskürtme hedefi, tellürit seramik püskürtme hedefi, diğer seramik hedefler, Krom katkılı silikon oksit seramik hedef (CR SiO), indiyum fosfit hedefi (INP), kurşun arsenit hedefi (pbas), indiyum arsenit hedefi (InAs).
Magnetron püskürtme genel olarak iki türe ayrılır: DC püskürtme ve RF püskürtme. DC püskürtme ekipmanının prensibi basittir ve metal püskürtme sırasında hızı da hızlıdır. RF püskürtme yaygın olarak kullanılmaktadır. İletken verileri püskürtmenin yanı sıra iletken olmayan verileri de sıçratabilir. Püskürtme hedefi aynı zamanda oksitler, nitrürler ve karbürler gibi bileşik verileri hazırlamak için reaktif püskürtme de gerçekleştirir. RF frekansı artarsa mikrodalga plazma püskürtmeye dönüşür. Şu anda, elektron siklotron rezonansı (ECR) mikrodalga plazma püskürtme yaygın olarak kullanılmaktadır.
Gönderim zamanı: Mayıs-18-2022