1、 Püskürtme hazırlığı
Vakum odasının, özellikle de püskürtme sisteminin temiz tutulması çok önemlidir. Yağlama yağı, toz ve önceki kaplamadan kaynaklanan herhangi bir kalıntı, su buharı ve diğer kirleticileri toplayacak, bu da vakum derecesini doğrudan etkileyecek ve film oluşturma arızası olasılığını artıracaktır. Kısa devre veya hedef arkı, pürüzlü film yüzeyi ve aşırı kimyasal kirlilik içeriği genellikle kirli püskürtme haznesi, püskürtme tabancası ve hedeften kaynaklanır. Kaplamanın bileşim özelliklerine uyum sağlamak için püskürtme gazının (argon veya oksijen) temizlenmesi ve kurutulması gerekir. Substrat püskürtme odasına yerleştirildikten sonra, prosesin gerektirdiği vakuma ulaşmak için havanın çıkarılması gerekir. Karanlık alandaki koruyucu kapağın, boşluk duvarının ve bitişik yüzeyin de temiz tutulması gerekir. Vakum odasını temizlerken, tozlu parçaları işlemek için cam bilyeli püskürtme püskürtmenin, odanın etrafındaki erken püskürtme kalıntılarını çıkarmak için basınçlı havayla birlikte kullanılmasını ve ardından dış yüzeyi alümina emdirilmiş zımpara kağıdıyla sessizce cilalamayı savunuyoruz. Gazlı bez parlatıldıktan sonra alkol, aseton ve deiyonize su ile temizlenir. Birlikte, yardımcı temizlik için endüstriyel elektrikli süpürgenin kullanımını savunur. Gaozhan metal tarafından üretilen hedefler vakumlu plastik torbalarda paketlenir,
Dahili neme dayanıklı madde. Hedefi kullanırken lütfen hedefe doğrudan elinizle dokunmayın. Not: Hedefi kullanırken lütfen temiz ve tüy bırakmayan bakım eldivenleri giyin. Hedefe asla doğrudan ellerinizle dokunmayın
2、 Hedef temizliği
Hedef temizliğinin amacı hedefin yüzeyinde bulunabilecek toz veya kirin uzaklaştırılmasıdır.
Metal hedef dört adımda temizlenebilir,
İlk adım, asetona batırılmış tüy bırakmayan yumuşak bir bezle temizlemektir;
İkinci adım, ilk adım olan alkolle temizlemeye benzer;
Adım 3: Deiyonize su ile temizleyin. Deiyonize suyla yıkadıktan sonra hedefi fırına yerleştirin ve 100 ° C'de 30 dakika kurutun.
Oksit ve seramik hedeflerin temizliği “tiftiksiz bez” ile yapılacaktır.
Dördüncü adım, püskürtme sisteminde ark oluşturabilecek tüm yabancı maddelerin uzaklaştırılması için tozlu alanın uzaklaştırılmasından sonra hedefin yüksek basınç ve düşük su gazı ile argon ile yıkanmasıdır.
3、 Hedef cihaz
Hedef kurulumu sürecinde, hedef ile püskürtme tabancasının soğutma duvarı arasında iyi bir termal iletim bağlantısının sağlanması önemli önlemlerdir. Soğutma plakasının çarpıklığı şiddetliyse veya arka plakanın çarpıklığı şiddetliyse, hedef cihaz çatlayacak veya bükülecek ve arka hedeften hedefe olan termal iletkenlik büyük ölçüde etkilenecek ve bu da ısı dağılımının başarısız olmasına neden olacaktır. püskürtme sürecinde hedef çatlayacak veya ıskalayacak
Isı iletkenliğini sağlamak için katot soğutma duvarı ile hedef arasına bir grafit kağıt tabakası doldurulabilir. O-ringin her zaman yerinde olduğundan emin olmak için kullanılan püskürtme tabancasının soğutma duvarının düzlüğünü dikkatlice kontrol etmeye ve temizlemeye lütfen dikkat edin.
Kullanılan soğutma suyunun temizliği ve ekipmanın çalışması sırasında oluşabilecek toz, katot soğutma suyu deposunda birikeceğinden, hedefin montajı sırasında sorunsuz bir şekilde sağlanması için katot soğutma suyu deposunun kontrol edilmesi ve temizlenmesi gerekmektedir. Soğutma suyunun sirkülasyonu ve giriş ve çıkışının tıkanmaması.
Bazı katotların anotla birlikte küçük bir alana sahip olması planlanmıştır, bu nedenle hedef kurulumu yapılırken katot ile anot arasında herhangi bir temas veya iletken olmadığından emin olmak gerekir, aksi takdirde kısa devre oluşacaktır.
Hedefin doğru şekilde nasıl çalıştırılacağı hakkında bilgi için ekipman operatörünün Kılavuzuna bakın. Kullanım kılavuzunda böyle bir bilgi yoksa lütfen Gaozhan metal tarafından sağlanan ilgili önerilere göre cihazı kurmayı deneyin. Hedef fikstürünü sıkarken, önce bir cıvatayı elle sıkın, ardından çaprazdaki başka bir cıvatayı elle sıkın. Cihazdaki tüm cıvatalar sıkılana kadar bu işlemi tekrarlayın ve ardından bir şeyle sıkın.
4、 Kısa devre ve sızdırmazlık kontrolü
Hedef cihazın tamamlanmasından sonra tüm katodun kısa devre ve sızdırmazlığının kontrol edilmesi gerekir,
Katotta kısa devre olup olmadığının direnç ölçer kullanılarak tespit edilmesi önerilmiştir.
Sıra ayrımcılığı. Katotta kısa devre olmadığı doğrulandıktan sonra sızıntı tespiti yapılabilir ve katot içerisine su verilerek su sızıntısı olup olmadığı teyit edilebilir.
5、 Hedef ön püskürtme
Hedef ön püskürtme, hedefin yüzeyini temizleyebilen saf argon püskürtmeyi savunur. Hedef önceden püskürtme yapıldığında, püskürtme gücünün yavaş yavaş arttırılması savunulur ve seramik hedefin güç artış oranı 1,5WH/cm2'dir. Metal hedefin ön püskürtme hızı seramik hedef bloktan daha yüksek olabilir ve makul bir güç artış oranı 1,5WH/cm2'dir.
Ön püskürtme sürecinde hedefin arkını kontrol etmemiz gerekir. Ön püskürtme süresi genellikle yaklaşık 10 dakikadır. Ark olayı yoksa püskürtme gücünü sürekli artırın
Ayarlanan güce. Deneyimlere göre, metal hedefin kabul edilebilir Z yüksek püskürtme gücü
Seramik hedef için 25watt/cm2, 10watt/cm2. Lütfen kullanıcının sistem kullanım kılavuzundaki püskürtme sırasındaki vakum odası basıncının ayar esaslarına ve deneyimine bakın. Genel olarak soğutma suyu çıkışındaki su sıcaklığının 35 °C'den düşük olması sağlanmalıdır ancak soğutma suyu sirkülasyon sisteminin etkili bir şekilde çalışabilmesinin sağlanması da önemlidir.
Aşırı soğutma suyunun hızlı sirkülasyonu ısıyı ortadan kaldırır, bu da yüksek güçte sürekli püskürtmenin sağlanmasının önemli bir garantisidir. Metal hedefler için genellikle soğutma suyu akışının şu şekilde olması savunulur:
20lpm su basıncı yaklaşık 5gmp'dir; Seramik hedefler için genellikle su akışının 30lpm ve su basıncının yaklaşık 9gmp olması savunulur.
6、 Hedef bakımı
Püskürtme işleminde kirli boşluklardan kaynaklanan kısa devre ve arklanmayı önlemek için püskürtme hattının merkezinde ve her iki yanında biriken sıçramanın kademeli olarak uzaklaştırılması gerekir,
Bu aynı zamanda kullanıcıların z yüksek güç yoğunluğunda sürekli olarak püskürtme yapmasına da yardımcı olur
7、 Hedef depolama
Gaozhan metalin sağladığı hedefler çift katmanlı vakumlu plastik torbalarda paketlenmektedir. Kullanıcıların metal veya seramik olsun hedefleri vakumlu ambalajlarda saklamasını savunuyoruz. Özellikle, bağlanma katmanının oksidasyonunun bağlanma kalitesini etkilemesini önlemek için bağlanma hedeflerinin vakum koşulları altında saklanması gerekir. Metal hedeflerin ambalajlanması konusunda Z'nin temiz plastik torbalarda paketlenmesi gerektiğini savunuyoruz.
Gönderim zamanı: Mayıs-13-2022