Hedef malzemenin çeşitli mesleklerde yaygın kullanımı, hedef malzemeye olan talebin giderek artmasına neden olmaktadır. Aşağıdaki Yapacağız kısaca tanıtmak Sen hedefin birincil işlevsel gereksinimleri nedir, hoping sana yardım etmek için.
Saflık: Saflık, hedefin temel işlevsel göstergelerinden biridir çünkü hedefin saflığının filmin işlevi üzerinde büyük etkisi vardır. Ancak pratikte hedef malzemenin saflığı aynı değildir. Örneğin, mikroelektronik mesleğinin hızlı büyümesiyle birlikte, silikon levhanın boyutu 6", 8"den 12"ye çıkmış ve kablo genişliği 0,5um'dan 0,25um'a, 0,18um'a ve hatta 0,13um'a düşmüştür. Hedef saflığın %99,995'i bir kez 0,35UMIC'in teknolojik gereksinimlerini karşılayabilir. 0,18um hattının hazırlanması, hedef malzemenin %99,999 veya hatta %99,9999 saflığını gerektirir.
Yoğunluk: Hedef katıdaki gözenekliliği azaltmak ve püskürtme filminin işlevini geliştirmek için hedefin genellikle yüksek yoğunluğa sahip olması gerekir. Hedef yoğunluk sadece püskürtme hızını değil aynı zamanda filmlerin elektriksel ve optik özelliklerini de etkiler. Hedef yoğunluk ne kadar yüksek olursa filmin işlevi de o kadar iyi olur. Ayrıca hedef malzemenin yoğunluğu ve mukavemeti, püskürtme sırasındaki termal strese daha iyi dayanabilmesi için artırıldı. Yoğunluk aynı zamanda hedef maddelerin önemli fonksiyonel göstergelerinden biridir.
Safsızlık içeriği: Hedef katıdaki safsızlıklar ve gözeneklerdeki oksijen ve su buharı, biriken filmlerin birincil kirlilik kaynaklarıdır. Farklı amaçlar için farklı hedef malzemeler, farklı safsızlık içeriği için farklı gereksinimlere sahiptir. Örneğin yarı iletken endüstrisinde kullanılan saf alüminyum ve alüminyum alaşımlı hedeflerin alkali metal içeriği ve radyoaktif element içeriği açısından özel gereksinimleri vardır.
Gönderim zamanı: Haz-06-2022