Püskürtülmüş hedef malzemelerin kullanım sırasında yalnızca saflık ve parçacık boyutu açısından değil, aynı zamanda tek biçimli parçacık boyutu açısından da yüksek gereksinimleri vardır. Bu yüksek gereksinimler, püskürtme hedef malzemelerini kullanırken daha fazla dikkat etmemizi sağlıyor.
1. Püskürtme hazırlığı
Vakum odasının, özellikle de püskürtme sisteminin temizliğinin korunması çok önemlidir. Yağlayıcılar, toz ve önceki kaplamalardan kalan kalıntılar, su gibi kirletici maddeleri biriktirerek vakumu doğrudan etkileyebilir ve film oluşumunun başarısız olma olasılığını artırabilir. Kısa devreler, hedef arkları, pürüzlü film oluşturan yüzeyler ve aşırı kimyasal kirlilikler genellikle temiz olmayan püskürtme odaları, tabancalar ve hedeflerden kaynaklanır.
Kaplamanın bileşimsel özelliklerini korumak için püskürtme gazının (argon veya oksijen) temiz ve kuru olması gerekir. Substratı püskürtme odasına yerleştirdikten sonra, işlem için gerekli vakum seviyesine ulaşmak için havanın çıkarılması gerekir.
2. Hedef temizliği
Hedef temizliğinin amacı hedefin yüzeyinde bulunabilecek her türlü toz veya kirin uzaklaştırılmasıdır.
3. Hedef kurulum
Hedef malzemenin montajı sırasında dikkat edilmesi gereken en önemli husus, hedef malzeme ile püskürtme tabancasının soğutma duvarı arasında iyi bir termal bağlantının sağlanmasıdır. Soğutma duvarı veya arka plakanın aşırı derecede eğilmesi, hedef malzemenin montajı sırasında çatlama veya bükülmeye neden olabilir. Arka hedeften hedef malzemeye olan ısı transferi büyük ölçüde etkilenecek, bu da püskürtme sırasında ısının dağıtılamaması ile sonuçlanacak ve sonuç olarak hedef malzemenin çatlamasına veya sapmasına yol açacaktır.
4. Kısa devre ve sızdırmazlık denetimi
Hedef malzemenin montajından sonra tüm katodun kısa devresini ve sızdırmazlığını kontrol etmek gerekir. Katodun kısa devre yapıp yapmadığını belirlemek için bir ohmmetre ve bir megohmmetre kullanılması tavsiye edilir. Katodun kısa devre yapmadığı doğrulandıktan sonra herhangi bir sızıntı olup olmadığının tespiti için katoda su enjekte edilerek sızıntı tespiti yapılabilir.
5. Hedef malzemenin ön püskürtmesi
Hedef malzemenin yüzeyini temizleyebilen, hedef malzemenin ön püskürtmesi için saf argon gazı kullanılması tavsiye edilir. Hedef malzeme için ön püskürtme işlemi sırasında püskürtme gücünün yavaş yavaş arttırılması tavsiye edilir. Seramik hedef malzemenin gücü
Gönderim zamanı: 19 Ekim 2023