Vakumlu kaplama, buharlaştırma kaynağının vakumda ısıtılması ve buharlaştırılması veya hızlandırılmış iyon bombardımanı ile püskürtme ve tek katmanlı veya çok katmanlı bir film oluşturmak üzere alt tabakanın yüzeyine biriktirilmesi anlamına gelir. Vakumlu kaplamanın prensibi nedir? Daha sonra RSM'nin editörü onu bize tanıtacak.
1. Vakum buharlaştırma kaplaması
Buharlaştırma kaplaması, buharlaştırma kaynağından buhar molekülleri veya atomları ile kaplanacak alt tabaka arasındaki mesafenin, kaplama odasındaki artık gaz moleküllerinin ortalama serbest yolundan daha az olmasını gerektirir; böylece kaplamanın buhar molekülleri buharlaşma substratın yüzeyine çarpışmadan ulaşabilir. Filmin saf ve sağlam olduğundan ve buharlaşmanın oksitlenmeyeceğinden emin olun.
2. Vakumlu püskürtme kaplama
Vakumda hızlandırılan iyonlar katıyla çarpıştığında bir yandan kristal hasar görür, diğer yandan kristali oluşturan atomlarla ve son olarak katının yüzeyindeki atom veya moleküllerle çarpışır. dışarı doğru püskürtün. Püskürtülmüş malzeme, vakum püskürtme kaplama olarak adlandırılan ince bir film oluşturmak üzere altlık üzerine kaplanır. Pek çok püskürtme yöntemi vardır ve bunların arasında diyot püskürtme en eski yöntemdir. Farklı katot hedeflerine göre doğru akım (DC) ve yüksek frekans (RF) olarak ikiye ayrılabilir. Hedef yüzeye bir iyon çarpılarak püskürtülen atom sayısına püskürtme hızı denir. Yüksek püskürtme oranı ile film oluşum hızı hızlıdır. Püskürtme hızı, iyonların enerjisi ve türü ve hedef malzemenin türü ile ilgilidir. Genel olarak konuşursak, insan iyon enerjisinin artmasıyla püskürtme hızı artar ve değerli metallerin püskürtme hızı daha yüksektir.
Gönderim zamanı: Temmuz-14-2022