Ang target na metal ay tumutukoy sa nilalayong materyal ng mga particle na may mataas na bilis na nagdadala ng enerhiya na naapektuhan. Bilang karagdagan, sa pamamagitan ng pagpapalit ng iba't ibang mga target na materyales (hal., aluminyo, tanso, hindi kinakalawang na asero, titanium, nickel target, atbp.), iba't ibang mga sistema ng pelikula (hal., superhard, wear-resistant, anti-corrosion alloy films, atbp.) ay maaaring nakuha. Sa pag-unlad ng panahon, maraming mga bagong materyal na target ang lumitaw sa malaking pamilya bilang mga bagong miyembro upang tanggapin ang mga target ng titanium-aluminum alloy.
Ang target na titanium-aluminum alloy ay isang target na gawa sa titanium-aluminum alloy bilang raw material. Sa pangkalahatan ay pilak-puti, mayroon itong mga pakinabang ng mataas na lakas at mataas na punto ng pagkatunaw. Kaya ano ang pagsasanay ng titanium aluminum alloy target?
Sa ngayon, pinagtibay ng malalaking internasyonal na mga tagagawa ang dalawang pamamaraan na ito para sa paggawa ng mga target ng titanium-aluminum alloy. Ang isa ay ang paggamit ng paraan ng paghahagis sa paggawa ng ingot, at pagkatapos ay sa paggawa ng target sa panahon ng proseso ng paghahagis. Ang isa ay ginawa gamit ang spray-formed titanium-aluminum alloy na mga target.
Ang pamamaraan ng paghahagis at paghahagis na sikat sa pamamaraang ito ay na sa proseso ng paggawa ng mga target na sputtering ng haluang metal na aluminyo, dahil sa mahalagang proseso ng madalas na pagdaragdag ng mga haluang metal, ang paghihiwalay ay nangyayari sa materyal na target ng aluminyo haluang metal, at ang kalidad ng pelikula na nakuha ng hindi mataas ang sputtering. , ang ibabaw ng sputtering target ay madaling kapitan ng maliliit na particle, na nakakaapekto sa pagkakapareho ng mga katangian ng pelikula. Ang titanium-aluminum alloy target na ginawa ng pangalawang spray forming method ay maaaring maiwasan ang sitwasyon sa itaas, ngunit ang manufacturing cost ng target ay tataas nang husto.
Sa partikular, kapag gumagawa ng mga bagay na mahirap i-cast, kinakailangan na gumamit ng isang mainit na equalizing pressure target, at ang gastos ay tumaas dahil sa paggamit ng mainit na equalizing pressure.
Bilang karagdagan sa dalawang tradisyonal na pamamaraan sa itaas ng mga target ng titanium-aluminum alloy, isang simple at murang paraan ang ipinakilala ngayon. Paggawa ng mga target ng titanium-aluminum alloy na may spray powder.
Sa ibaba, ibabahagi sa iyo ng editor ng Beijing Ruichi ang paraan ng pagmamanupaktura ng titanium aluminum alloy target.
1. Ang unang prinsipyo
Ang pangunahing prinsipyo ng pamamaraang ito ay ang paggamit ng paraan ng aerosol sa paggawa ng hilaw na materyal na pulbos ng target na may ratio ng komposisyon ng haluang metal. Ang haluang metal na pulbos ay sinasala upang makuha ang wastong laki ng butil ng pulbos. Ang nakuha na pulbos ay pagkatapos ay ginagamit para sa vacuum hot pressing upang bumuo ng isang target.
2. Pangunahing kalamangan
Ang bentahe ng pamamaraang ito ng pagmamanupaktura ay na maaari itong gumawa ng iba't ibang mga target na aluminyo haluang metal tulad ng aluminyo at kromo. Aluminum, silikon, tansong aluminyo, titanium, atbp. Pangalawa, ang pamamaraang ito ay maaaring maiwasan ang paghihiwalay ng materyal at mga depekto sa microparticle, na nagreresulta sa mas mabilis at mas matipid na paggawa ng kalidad na mga target ng titanium-aluminum alloy.
3. Proseso ng pagpapatupad
Ang tamang proseso ng pagpapatupad ng paraang ito ay ang pagbibigay muna ng mga hilaw na materyales ng metal para sa paggawa ng mga target na aluminyo haluang metal. Ang mga metal na feedstock na ito ay tinutunaw sa isang metal na solusyon. Pagkatapos, ang metal na solusyon ay ginawang metal powder sa pamamagitan ng aerosol. Pagkatapos, ang target na metal powder ay nabuo sa pamamagitan ng vacuum hot pressing, at isang inert gas ang ginagamit bilang proteksiyon na gas.
Oras ng post: Abr-27-2022