Ang sputtering titanium alloy target at titanium metal ay binubuo ng titanium, kaya ang impormasyon ay halos pareho, ngunit ang pagkakaiba sa pagitan ng dalawa ay higit sa lahat ay nakasalalay sa sputtering titanium alloy na target ay gawa sa titanium metal sa maraming paraan, at ang titanium ay nangyayari sa kalikasan bilang isang titanium ore.Maaaring malawakang gamitin ang mga target ng titanium alloy sa maraming kategorya ng trabaho, Ngayon ang may-akda ng Beijing richmat ay nagbubuod ng ilang karaniwang titanium alloy target sa mga tuntunin ng paggamit ng sitwasyon upang bigyan kami ng isang detalyadong pagpapakilala.
ang
一、Ti target para sa mga integrated circuit
Ang mga kinakailangan para sa sputtering titanium alloy target ay iba sa pagitan ng mga non-integrated circuits at integrated circuits. Sa pangkalahatan, ang mga integrated circuit ay may mas mataas na mga kinakailangan para sa data ng coating, tulad ng mas mataas na kadalisayan, mas maliit na laki ng butil at mas tumpak na katumpakan ng sukat. circuits, na nagpapahiwatig na ang iba't ibang paggamit ng mga kinakailangan sa target na titanium ay ibang-iba.
二、Ti target para sa flat panel display
Kasama sa mga target ng Titanium alloy na ginagamit sa flat panel display ang liquid crystal display, plasma display, electroluminescence display at field emission display. Ang manipis na film ng flat display ay sputtered forming method, Al, Cu, Ti at Mo ang pangunahing metal sputtering target para sa flat panel display. Ang kadalisayan ng mga target ng titanium alloy para sa mga flat panel display ay karaniwang mas mataas sa 99.9%.
三、Ti target para sa mga materyales na pampalamuti
Ang mataas na kadalisayan ng titanium alloy target na materyal ay may mahusay na air corrosion resistance, ang pangmatagalang paggamit sa hangin ay hindi nagbabago ng kulay, upang matiyak na ang orihinal na kulay ng titan at pakikipag-ugnay sa tao ay hindi allergic at iba pang mahusay na mga katangian. Samakatuwid, ang mataas na kadalisayan ng titanium ay maaari ding gamitin bilang mga materyales na pampalamuti, sa mga nagdaang taon, tulad ng mga pulseras, relo at baso at iba pang mga burloloy na may kadalisayan ng titanium ay umabot sa 5N na antas.
四、Ti target para sa mga ultra-high vacuum pumping system
Bilang isang metal na aktibong kemikal, ang titanium ay maaaring tumugon sa maraming elemento at compound sa mataas na temperatura. Ang high purity na titanium alloy na target ay may malakas na kapasidad ng adsorption para sa mga aktibong gas (tulad ng O2, N2, CO, CO2, water vapor sa itaas 650°C), at ang Ti film na evaporating sa pump wall ay maaaring bumuo ng surface na may mataas na adsorption performance. . Ang property na ito ay ginagawang malawakang ginagamit ang Ti bilang isang getter sa ultra-high vacuum gas extraction system. Kung ginagamit upang pahusayin ang pump, sputtering ion pump, atbp., maaari nitong gawin ang ultimate operating pressure ng sputtering ion pump na kasingbaba ng 10-9PA
Oras ng post: Abr-25-2022