Ibinabahagi ng RSM ang mga bagay na nangangailangan ng pansin kapag bumibili ng mga target na materyales

Maraming mga gumagamit ang hindi isinasaalang-alang ang pagbili ng mga target mula sa isang propesyonal na pananaw, kaya ano ang dapat bigyang pansin kapag bumibili ng mga target? Hilingin natin sa Xiaobian ng Beijing Ruichi na ituro ang mga bagay na nangangailangan ng pansin kapag bumibili ng mga target.

Una, para sa target, ang kadalisayan ay isa sa mga pangunahing tagapagpahiwatig ng pagganap nito, at ang kadalisayan ng target ay may malaking epekto sa paggana ng pelikula ng produkto sa ibang pagkakataon. Ang bawat produkto ay mayroon ding iba't ibang mga kinakailangan para sa kadalisayan ng target.

Pangalawa, ang karumihang nilalaman ng mga indibidwal na elemento sa target. Pagkatapos ng serye ng pagpoproseso ng target, ang mga dumi sa target na solid at ang oxygen at singaw ng tubig sa mga pores ay ang pangunahing pinagmumulan ng polusyon ng mga nakadepositong pelikula. Dahil sa iba't ibang paggamit ng mga target, ang mga kinakailangan para sa iba't ibang mga nilalaman ng karumihan ng mga target na may iba't ibang gamit ay iba rin. Halimbawa, ang purong aluminum at aluminum alloy na mga target na ginagamit sa industriya ng semiconductor ay mayroon na ngayong mga espesyal na pangangailangan para sa nilalaman ng mga alkali metal at radioactive na elemento.

Ang density ay isa rin sa mga mahalagang index ng pagganap ng target Sa teknikal na proseso ng target, upang mabawasan ang mga pores sa target na solid at mapabuti ang pag-andar ng sputtered film, ang target ay karaniwang kinakailangan na magkaroon ng mataas na density. Ang pangunahing katangian ng density ng target ay may malaking impluwensya sa sputtering rate, at nakakaapekto sa electrical at optical function ng pelikula. Kung mas mataas ang target na density, mas mahusay ang pag-andar ng pelikula.

Panghuli, ang laki ng butil at pamamahagi ng butil. Karaniwan, ang target na materyal ay polycrystalline, at ang laki ng butil ay maaaring mula sa micron hanggang millimeter. Para sa parehong target, ang sputtering rate ng fine grain target ay mas mabilis kaysa sa coarse grain target; Ang kapal ng mga pelikulang idineposito ng target na sputtering na may maliit na pagkakaiba sa laki ng butil (uniform dispersion) ay mas pare-pareho.