Rich Special Materials Co.,LTD upang ibahagi Ano ang mga kinakailangan sa pagganap ng target na materyal

Ang malawak na paggamit ng target na materyal sa iba't ibang propesyon ay gumagawa ng pangangailangan para sa target na materyal na mas mataas at mas mataas. Ang mga sumusunod gagawin natin maikling pagpapakilala ikaw ano ang pangunahing pangangailangan sa paggana ng target, hoping para matulungan ka.

Kadalisayan: Ang kadalisayan ay isa sa mga pangunahing tagapagpahiwatig ng pagganap ng target, dahil ang kadalisayan ng target ay may malaking epekto sa paggana ng pelikula. Ngunit sa pagsasagawa, ang kadalisayan ng target na materyal ay hindi pareho. Halimbawa, sa mabilis na paglaki ng propesyon ng microelectronics, Ang laki ng silicon wafer ay nabuo mula 6 ", 8" hanggang 12″, at ang lapad ng mga kable ay bumaba mula 0.5um hanggang 0.25um, 0.18um at maging 0.13um. Kapag ang 99.995% ng target na kadalisayan ay maaaring matugunan ang mga teknolohikal na kinakailangan ng 0.35UMIC. Ang paghahanda ng 0.18um na linya ay nangangailangan ng 99.999% o kahit na 99.9999% na kadalisayan ng target na materyal.

Density: Upang mabawasan ang porosity sa target na solid at mapabuti ang function ng sputtering film, ang target ay karaniwang kinakailangan na magkaroon ng mataas na density. Ang target density ay nakakaapekto hindi lamang sa sputtering rate kundi pati na rin sa electrical at optical properties ng mga pelikula. Kung mas mataas ang target na density, mas mahusay ang pag-andar ng pelikula. Bilang karagdagan, ang density at lakas ng target na materyal ay nadagdagan upang mas mahusay itong makatiis sa thermal stress sa panahon ng sputtering. Ang density ay isa rin sa mga mahalagang tagapagpahiwatig ng pagganap ng mga target na sangkap.

　　Nilalaman ng karumihan: ang mga dumi sa target na solid at oxygen at singaw ng tubig sa mga pores ay ang pangunahing pinagmumulan ng polusyon ng mga naipon na pelikula. Ang iba't ibang target na materyales para sa iba't ibang layunin ay may iba't ibang mga kinakailangan para sa iba't ibang nilalaman ng karumihan. Halimbawa, ang purong aluminyo at aluminyo na mga target na haluang metal na ginagamit sa industriya ng semiconductor ay may mga espesyal na kinakailangan para sa nilalaman ng alkali metal at nilalaman ng radioactive na elemento.