Ang mga sputtered target na materyales ay may mataas na pangangailangan sa panahon ng paggamit, hindi lamang para sa kadalisayan at laki ng butil, kundi pati na rin para sa pare-parehong laki ng butil. Ang mga matataas na kinakailangan na ito ay nagbibigay sa amin ng higit na pansin kapag gumagamit ng mga sputtering target na materyales.
1. Sputtering paghahanda
Napakahalaga na mapanatili ang kalinisan ng vacuum chamber, lalo na ang sputtering system. Ang mga pampadulas, alikabok, at anumang nalalabi mula sa mga naunang coatings ay maaaring mag-ipon ng mga pollutant tulad ng tubig, na direktang nakakaapekto sa vacuum at nagpapataas ng posibilidad na mabigo ang pagbuo ng pelikula. Ang mga short circuit, target arcing, magaspang na ibabaw na bumubuo ng pelikula, at labis na mga dumi ng kemikal ay kadalasang sanhi ng hindi malinis na mga sputtering chamber, baril, at target.
Upang mapanatili ang mga compositional na katangian ng patong, ang sputtering gas (argon o oxygen) ay dapat na malinis at tuyo. Pagkatapos i-install ang substrate sa sputtering chamber, kailangang kunin ang hangin upang makamit ang kinakailangang antas ng vacuum para sa proseso.
2. Paglilinis ng target
Ang layunin ng paglilinis ng target ay alisin ang anumang alikabok o dumi na maaaring umiiral sa ibabaw ng target.
3. Target na pag-install
Ang pinakamahalagang bagay na dapat bigyang-pansin sa panahon ng proseso ng pag-install ng target na materyal ay upang matiyak ang isang mahusay na thermal koneksyon sa pagitan ng target na materyal at ang cooling wall ng sputtering gun. Kung ang cooling wall o back plate ay malubha na naka-warped, maaari itong magdulot ng pag-crack o baluktot sa panahon ng pag-install ng target na materyal. Ang paglipat ng init mula sa likod na target patungo sa target na materyal ay lubos na maaapektuhan, na magreresulta sa kawalan ng kakayahan na mawala ang init sa panahon ng sputtering, na humahantong sa pag-crack o paglihis ng target na materyal.
4. Short circuit at inspeksyon ng sealing
Pagkatapos ng pag-install ng target na materyal, kinakailangan upang suriin ang maikling circuit at sealing ng buong katod. Inirerekomenda na gumamit ng ohmmeter at megohmmeter upang matukoy kung ang cathode ay short circuit. Matapos makumpirma na ang cathode ay hindi naka-short circuit, ang isang leak detection ay maaaring isagawa sa pamamagitan ng pag-inject ng tubig sa cathode upang matukoy kung mayroong anumang pagtagas.
5. Target na materyal bago sputtering
Inirerekomenda na gumamit ng purong argon gas para sa pre sputtering ng target na materyal, na maaaring linisin ang ibabaw ng target na materyal. Inirerekomenda na dahan-dahang taasan ang sputtering power sa panahon ng proseso ng pre sputtering para sa target na materyal. Ang lakas ng ceramic target na materyal
Oras ng post: Okt-19-2023