Volfram silisid bölekleri
Volfram silisid bölekleri
Volfram silisidi WSi2, mikroelektronikada elektrik togunyň materialy hökmünde ulanylýar, polisilikon simlerden, okislenmä garşy örtükden we garşylyk sim örtüginden. Volfram silisidi mikroelektronikada kontakt materialy hökmünde ulanylýar, garşylygy 60-80μΩcm. 1000 ° C-de emele gelýär. Adatça geçirijiligini ýokarlandyrmak we signalyň tizligini ýokarlandyrmak üçin polisilikon çyzyklary üçin awtoulag hökmünde ulanylýar. Volfram Silisid gatlagy bug bugy ýaly himiki bug çökdürilmegi bilen taýýarlanyp bilner. Çig mal gazy hökmünde monosilany ýa-da diklorosilany we wolfram geksafloridini ulanyň. Goýlan film stohiometrik däl we has geçiriji stoiometrik görnüşe öwrülmegi üçin anneal talap edýär.
Volfram silisidi öňki wolfram filminiň ornuny tutup biler. Volfram silisidi kremniý bilen beýleki metallaryň arasynda päsgelçilik gatlagy hökmünde hem ulanylýar.
Volfram silisidi mikroelektromehaniki ulgamlarda-da örän gymmatlydyr, şolaryň arasynda wolfram silisidi esasan mikroshemalary öndürmek üçin inçe film hökmünde ulanylýar. Bu maksat bilen wolfram silisid filmi, mysal üçin silisid ulanyp, plazma bilen örtülip bilner.
| ITEM | Himiki düzümi | |||||
| Element | W | C | P | Fe | S | Si |
| Mazmuny (wt%) | 76.22 | 0.01 | 0.001 | 0.12 | 0.004 | Balans |
Baý ýörite materiallar tüýdük nyşany öndürmekde ýöriteleşendir we volfram silisidini öndürip bilerböleklerMüşderileriň aýratynlyklaryna laýyklykda. Has giňişleýin maglumat üçin biziň bilen habarlaşmagyňyzy haýyş edýäris.
