Magnetron tüýdük örtügi, öňki bugarma örtügi usuly bilen deňeşdirilende, täze fiziki bug örtügi usulydyr, köp tarapdan artykmaçlyklary gaty ajaýyp. Matureetişen tehnologiýa hökmünde magnitron tüýkürmek köp ugurlarda ulanyldy.
Magnitron tüýdük ýörelgesi:
Düwürtikli polýus (katod) bilen anodyň arasynda ortogonal magnit meýdany we elektrik meýdany goşulýar we zerur inert gazy (köplenç Ar gazy) ýokary vakuum kamerasynda doldurylýar. Hemişelik magnit maksatly materialyň üstünde 250-350 gaus magnit meýdany emele getirýär we ortogonal elektromagnit meýdany ýokary woltly elektrik meýdanyndan durýar. Elektrik meýdanynyň täsiri astynda, ar gaz ionlaşmagy polo positiveitel ionlara we elektronlara, nyşana we belli bir negatiw basyşa eýe, polýusdan magnit meýdanynyň täsiri we işleýän gaz ionlaşma ähtimallygy ýokarlanýar, ýakyn ýerde ýokary dykyzlykly plazma emele getirýär. katod, Ar ion lorentz güýjüniň täsiri astynda nyşana tarap uçmagy çaltlaşdyrýar, nyşanyň üstüni ýokary tizlikde bombalaýar, nyşanyň üstündäki dökülen atomlar tizligi üýtgetmek prinsipine eýerýärler we ýokary kinetik bilen maksat ýerinden uçýarlar. substrat depozit filmine energiýa.
Magnitron tüýdügi, adatça, iki görnüşe bölünýär: DC tüýdügi we RF tüýdügi. DC tüýdük enjamlarynyň prinsipi ýönekeý we metal dökülende tizlik çalt bolýar. RF tüýdügini ulanmak, geçiriji materiallary tüýkürmekden başga-da, geçiriji däl materiallary tüýkürmekden başga-da, oksidleri, nitridleri we karbidleri we beýleki goşma materiallary reaktiw tüýdük taýýarlamak. RF ýygylygy artsa, mikrotolkunly plazma dökülýär. Häzirki wagtda elektron siklotron rezonansy (ECR) görnüşli mikrotolkunly plazma tüýdügi köplenç ulanylýar.
Magnitron örtükli örtük maksatly material:
Metal tüýdük maksatly material, örtük garyndysy tüýdük örtük materialy, keramiki tüýdük örtük materialy, borid keramiki tüýdük maksatly materiallar, karbid keramiki tüýdük maksatly material, florid keramiki tüýdük maksatly material, nitrid keramiki tüýdük maksatly materiallar, oksid keramiki maksat, selenid keramiki tüýdük maksatly material, silisid keramiki tüýdük maksatly materiallar, sulfid keramiki tüýdük maksatly material, Tellurid keramiki tüýdük nyşany, beýleki keramiki maksat, hrom doply kremniniň oksidi keramiki nyşany (CR-SiO), indiý fosfid nyşany (InP), gurşun arsenidi nyşany (PbAs), indiý arsenid nyşany (InAs).
Iş wagty: Awgust-03-2022