Maksatly tehnologiýany köpeltmek we ulanmak prinsipi barada käbir müşderiler RSM bilen maslahatlaşdylar, indi has köp gyzyklanýan bu mesele üçin tehniki hünärmenler käbir degişli bilimleri paýlaşýarlar.
Tüweleme maksatly programma:
Zarýad beriji bölejikler (argon ionlary ýaly) gaty bir ýeri bombalaýar, atomlar, molekulalar ýa-da bukjalar ýaly ýerüsti bölejikleriň “tüýkürmek” diýilýän hadysanyň üstünden gaçmagyna sebäp bolýar. Magnetron tüýdük örtüginde, argon ionlaşmagy netijesinde emele gelen polo positiveitel ionlar, adatça gaty (nyşana) bombalamak üçin ulanylýar we dökülen bitarap atomlar film gatlagyny emele getirmek üçin substrata (iş bölegi) goýulýar. Magnetron tüýdük örtüginiň iki aýratynlygy bar: “pes temperatura” we “çalt”.
Magnitron tüýdük ýörelgesi:
Düwürtikli polýus (katod) bilen anodyň arasynda ortogonal magnit meýdany we elektrik meýdany goşulýar we zerur inert gazy (köplenç Ar gazy) ýokary vakuum kamerasynda doldurylýar. Hemişelik magnit maksatly materialyň üstünde 250-350 Gauss magnit meýdany emele getirýär we ýokary woltly elektrik meýdany bilen ortogonal elektromagnit meýdany emele getirýär.
Elektrik meýdanynyň täsiri astynda Ar gazy polo positiveitel ionlara we elektronlara ionlaşdyrylýar we nyşana belli bir negatiw ýokary basyş bolýar, şonuň üçin maksat polýusyndan çykýan elektronlar magnit meýdany we işiň ionlaşma ähtimallygyna täsir edýär. gaz ýokarlanýar. Katodyň golaýynda ýokary dykyzlykly plazma emele gelýär we Ar ionlary Lorentz güýjüniň täsiri astynda nyşana çykýar we ýokary tizlikde nyşanyň üstüni bombalaýar, şonuň üçin nyşana atylan atomlar nyşanyň üstünden ýokary gaçyp gaçýar. kinetiki energiýa we tizligi öwürmek prinsipine laýyklykda film döretmek üçin substrata uçuň.
Magnitron tüýdügi, adatça, iki görnüşe bölünýär: DC tüýdügi we RF tüýdügi. DC tüýdük enjamlarynyň prinsipi ýönekeý we metal dökülende tizlik çalt bolýar. RF tüýdügini ulanmak, geçiriji materiallary tüýkürmekden başga-da, geçiriji däl materiallary tüýkürmekden başga-da, oksidleri, nitridleri we karbidleri we beýleki goşma materiallary reaktiw tüýdük taýýarlamak. RF ýygylygy artsa, mikrotolkunly plazma dökülýär. Häzirki wagtda elektron siklotron rezonansy (ECR) görnüşli mikrotolkunly plazma tüýdügi köplenç ulanylýar.
Iş wagty: Awgust-01-2022