DC magnitron tüýdügine we RF magnetron tüýdügine bölünip bilner.
DC tüýkürmek usuly nyşanyň ion bombalamak prosesinden alnan polo positiveitel zarýady katod bilen ýakyn aragatnaşykda geçirmegini talap edýär, soň bu usul diňe izolýasiýa maglumatlary üçin laýyk däl geçirijiniň maglumatlaryny döküp biler, sebäbi izolýasiýa nyşanyny bombalanda, ýerdäki ion zarýady zyýansyzlandyrylyp bilinmez, bu nyşanyň üstündäki potensialyň ýokarlanmagyna getirer we ulanylýan naprýa .eniýeniň hemmesi diýen ýaly nyşana ulanylýar, şonuň üçin ionyň tizlenmegi we ionlaşma ähtimallygy iki polýus azaldar, ýa-da ionlaşdyrylyp bilinmez, Bu üznüksiz akymyň şowsuzlygyna, hatda akymyň kesilmegine we tüýdük kesilmegine sebäp bolýar. Şonuň üçin radio ýygylygy tüýdük (RF) nyşanalary ýa-da pes geçirijilikli metal däl nyşanlary izolýasiýa etmek üçin ulanylmaly.
Tüýkürmek prosesi çylşyrymly dargamak proseslerini we dürli energiýa geçiriş proseslerini öz içine alýar: birinjiden, hadysa bölejikleri maksat atomlary bilen elastik çaknyşýar we hadysanyň bölejikleriniň kinetik energiýasynyň bir bölegi maksat atomlaryna geçiriler. Käbir maksatly atomlaryň kinetiki energiýasy, töweregindäki beýleki atomlaryň emele getirýän päsgelçiliklerinden (metallar üçin 5-10ew) ýokarydyr, soň bolsa daşarky atomlary öndürmek üçin panjara panjarasyndan kowulýar we goňşy atomlar bilen gaýta-gaýta çaknyşýar. , kaskadyň çaknyşmagyna sebäp boldy. Bu çaknyşyk kaskady nyşanyň üstüne ýetende, nyşanyň ýüzüne ýakyn atomlaryň kinetik energiýasy ýerüsti baglanyşyk energiýasyndan (metallar üçin 1-6ew) köp bolsa, bu atomlar nyşanyň üstünden aýrylar. vakuuma giriň.
Tüýdük örtük, zarýadlanan bölejikleri nyşanyň ýüzüni wakuumda bombalamak üçin bombalanan bölejikleriň substratda jemlenmegi üçin ussatlykdyr. Adatça, hadysa ionlaryny döretmek üçin pes basyşly inert gaz ýalpyldysy ulanylýar. Katod nyşany örtük materiallaryndan ýasalýar, substrat anod hökmünde ulanylýar, wakuum kamerasyna 0,1-10pa argon ýa-da beýleki inert gazy girizilýär we ýalpyldawuk akym katodyň (nyşanyň) täsiri astynda 1-3kv DC negatiw ýokary naprýa .eniýe ýa-da 13.56MHz RF naprýa .eniýe. Ionlaşdyrylan argon ionlary nyşanyň üstüni bombalaýar, maksat atomlarynyň çökmegine we substratda ýygnanmagyna sebäp bolup, inçe film döredýär. Häzirki wagtda köp tüýkürmek usullary bar, esasan ikinji derejeli tüýkürmek, üçünji ýa-da dördünji tüýkürmek, magnitron tüýkürmek, nyşana tüýkürmek, RF tüýkürmek, ikitaraplaýyn tüýkürmek, asimmetrik aragatnaşyk RF tüýkürmek, ion şöhlesi tüýkürmek we reaktiw tüýkürmek.
Dökülen atomlar kinetiki energiýany onlarça elektron wolt energiýasy bilen polo positiveitel ionlar bilen çalşandan soň dökülendigi sebäpli, dökülen atomlar ýokary energiýa eýe bolup, toplananda atomlaryň dargamak ukybyny ýokarlandyrmaga, ýygnamagyň inçeligini ýokarlandyrmaga we ýasamaga kömek edýär. taýýarlanan film substrat bilen güýçli ýelmeşýär.
Tüýkürilende, gaz ionlaşdyrylansoň, gaz ionlary elektrik meýdanynyň täsiri astynda katoda birikdirilen nyşana uçýar we elektronlar ýeriň aşagyndaky diwar boşlugyna we substratyna uçýarlar. Şeýlelik bilen, pes woltly we pes basyşda ionlaryň sany az we nyşanyň tüýdük güýji az; Volokary woltly we ýokary basyşda, has köp ion bolup bilse-de, substrata uçýan elektronlaryň ýokary energiýasy bar, bu substraty gyzdyrmak aňsat, hatda ikinji derejeli tüýkürmek hem filmiň hiline täsir edýär. Mundan başga-da, substrata uçmak prosesinde maksatly atomlar bilen gaz molekulalarynyň arasynda çaknyşmak ähtimallygy hem ep-esli ýokarlanýar. Şonuň üçin ol diňe bir nyşany ýitirmän, eýsem köp gatly filmler taýýarlanylanda her gatlagy hapalaýan tutuş boşluga ýaýradylar.
Aboveokardaky kemçilikleri çözmek üçin 1970-nji ýyllarda DC magnetron tüýdük tehnologiýasy işlenip düzüldi. Pes katodyň tüýkürme tizliginiň we elektronlar sebäpli dörän substrat temperaturasynyň ýokarlanmagynyň kemçiliklerini netijeli ýeňýär. Şonuň üçin çalt we giňden ulanyldy.
Principleörelge aşakdaky ýaly: magnitronyň tüýkürmeginde, hereket edýän elektronlar magnit meýdanynda Lorentz güýjüne sezewar bolany üçin, olaryň hereket orbitasy agyr ýa-da spiral hereketi bolar we hereket ýoly has uzyn bolar. Şonuň üçin işleýän gaz molekulalary bilen çaknyşyklaryň sany köpelýär, şeýlelik bilen plazmanyň dykyzlygy ýokarlanýar, soň bolsa magnitronyň tüýkürme derejesi ep-esli gowulaşýar we filmiň hapalanmagy tendensiýasyny azaltmak üçin pes tüýdük naprýa andeniýesinde we basyşda işläp biler; Beýleki tarapdan, substratyň üstündäki atom hadysasynyň energiýasyny hem gowulandyrýar, şonuň üçin filmiň hili ep-esli ýokarlanyp bilner. Şol bir wagtyň özünde, köp çaknyşyk arkaly energiýasyny ýitirýän elektronlar anoda ýetenlerinde, pes energiýaly elektronlara öwrüler, soň bolsa substrat gyzmaz. Şonuň üçin magnitronyň dökülmegi “ýokary tizlik” we “pes temperatura” ýaly artykmaçlyklara eýedir. Bu usulyň ýetmezçiligi, izolýator filminiň taýýarlanyp bilinmezligi we magnitron elektrodynda ulanylýan deň däl magnit meýdany nyşanyň aç-açan deňleşmegine sebäp bolar, netijede nyşanyň ulanylyşynyň pes bolmagy, adatça 20% - 30 %.
Iş wagty: 16-2022-nji maý