Wakuum örtügi wakuumda bugarmak çeşmesini ýylatmagy we bugarmagy ýa-da ion bombalanmagy bilen dökülmegi we bir gatlakly ýa-da köp gatly film döretmek üçin substratyň üstünde goýmagy aňladýar. Wakuum örtüginiň prinsipi näme? Ondan soň RSM-iň redaktory ony bize tanyşdyrar.
1. Wakuum bugarmak örtügi
Bug bug örtügi bug molekulalarynyň ýa-da atomlaryň bugarmak çeşmesinden we örtülmeli substratyň arasyndaky aralyk, bug molekulalarynyň örtük otagynda galyndy gaz molekulalarynyň ortaça erkin ýolundan az bolmalydygyny, bug molekulalarynyň bolmagyny üpjün etmegini talap edýär. bugarmak substratyň üstüne çakyşmazdan baryp biler. Filmiň arassa we berkdigine, bugarmagyň oksidlenmejekdigine göz ýetiriň.
2. Wakuum tüýdük örtügi
Wakuumda, tizlenýän ionlar gaty bilen çaknyşanda, bir tarapdan kristal zaýalanýar, beýleki tarapdan, kristaly emele getirýän atomlar we ahyrsoňy gaty üstündäki atomlar ýa-da molekulalar bilen çaknyşýar. daşyna tüýkürmek. Dökülen material wakuum tüýdük örtügi diýlip atlandyrylýan inçe film döretmek üçin substrat bilen örtülendir. Tüýkürmek usullary köp, şolaryň arasynda diod tüýkürmek iň irki usuldyr. Dürli katod nyşanlaryna görä, göni tok (DC) we ýokary ýygylyga (RF) bölünip bilner. Maksadyň üstüne ion bilen täsir edip dörän atomlaryň sanyna tüýdük tizligi diýilýär. Highokary tüýdük tizligi bilen filmiň emele geliş tizligi çalt. Tüýkürmegiň tizligi ionlaryň energiýasy we görnüşi we maksatly materialyň görnüşi bilen baglanyşykly. Umuman aýdanyňda, adam ion energiýasynyň köpelmegi bilen tüýkürme derejesi ýokarlanýar we gymmat bahaly metallaryň tüýkürme derejesi has ýokarydyr.
Iş wagty: Iýul-14-2022