NiV สปัตเตอร์เป้าหมายการเคลือบ Pvd ฟิล์มบางที่มีความบริสุทธิ์สูงทำเอง

ทองคำมักถูกนำมาใช้ในการสะสมของชั้นวงจรรวม แต่สารประกอบที่ละลายต่ำของ AuSi มักเกิดขึ้นหากทองถูกรวมเข้ากับซิลิคอน ซึ่งจะทำให้เกิดการหลวมระหว่างชั้นต่างๆ นิกเกิลบริสุทธิ์เป็นตัวเลือกที่ดีสำหรับชั้นกาว ในขณะที่จำเป็นต้องมีชั้นกั้นระหว่างชั้นนิกเกิลและทองเพื่อป้องกันการแพร่กระจาย วานาเดียมสามารถตอบสนองความต้องการนี้ได้อย่างสมบูรณ์แบบด้วยจุดหลอมเหลวสูงและความจุความหนาแน่นของแอมแปร์สูง ดังนั้นนิกเกิล วาเนเดียม และทอง จึงเป็นวัสดุสามชนิดที่มักใช้ในอุตสาหกรรมวงจรรวม เป้าหมายการสปัตเตอร์นิกเกิลวานาเดียมผลิตขึ้นโดยการเติมวานาเดียมลงในนิกเกิลหลอมเหลว เนื่องจากมีแม่เหล็กไฟฟ้าต่ำ จึงเป็นตัวเลือกที่ดีสำหรับการสปัตเตอร์แมกนีตรอนของผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งสามารถผลิตชั้นนิกเกิลและชั้นวาเนเดียมได้ในคราวเดียว