เป้าหมายสปัตเตอร์คืออะไร? เหตุใดเป้าหมายจึงสำคัญมาก?

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มักเรียกชื่อวัสดุเป้าหมาย ซึ่งสามารถแบ่งออกเป็นวัสดุแผ่นเวเฟอร์และวัสดุบรรจุภัณฑ์ วัสดุบรรจุภัณฑ์มีอุปสรรคทางเทคนิคค่อนข้างต่ำเมื่อเทียบกับวัสดุการผลิตแผ่นเวเฟอร์ กระบวนการผลิตเวเฟอร์ส่วนใหญ่เกี่ยวข้องกับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์และสารเคมี 7 ประเภท รวมถึงวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์หนึ่งประเภท แล้ววัสดุเป้าหมายคืออะไร? เหตุใดวัสดุเป้าหมายจึงมีความสำคัญมาก วันนี้เราจะมาพูดถึงว่า Target Material คืออะไร!

วัสดุเป้าหมายคืออะไร?

พูดง่ายๆ ก็คือ วัสดุเป้าหมายคือวัสดุเป้าหมายที่ถูกโจมตีด้วยอนุภาคที่มีประจุความเร็วสูง ด้วยการแทนที่วัสดุเป้าหมายที่แตกต่างกัน (เช่น อลูมิเนียม ทองแดง สแตนเลส ไทเทเนียม เป้าหมายนิกเกิล ฯลฯ) จึงสามารถได้ระบบฟิล์มที่แตกต่างกัน (เช่น ฟิล์มโลหะผสมที่มีความแข็งเป็นพิเศษ ทนทานต่อการสึกหรอ ป้องกันการกัดกร่อน ฯลฯ)

ปัจจุบันวัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์ (ความบริสุทธิ์) สามารถแบ่งออกเป็น:

1) เป้าโลหะ (โลหะอะลูมิเนียม ไทเทเนียม ทองแดง แทนทาลัม ฯลฯ)

2) เป้าหมายโลหะผสม (โลหะผสมนิกเกิลโครเมียม, โลหะผสมนิกเกิลโคบอลต์ ฯลฯ )

3) เป้าหมายสารประกอบเซรามิก (ออกไซด์ ซิลิไซด์ คาร์ไบด์ ซัลไฟด์ ฯลฯ)

ตามสวิตช์ที่แตกต่างกัน มันสามารถแบ่งออกเป็น: เป้าหมายยาว เป้าหมายสี่เหลี่ยม และเป้าหมายวงกลม

ตามสาขาการใช้งานที่แตกต่างกัน มันสามารถแบ่งออกเป็น: เป้าหมายชิปเซมิคอนดักเตอร์, เป้าหมายการแสดงผลจอแบน, เป้าหมายเซลล์แสงอาทิตย์, เป้าหมายการจัดเก็บข้อมูล, เป้าหมายที่ปรับเปลี่ยน, เป้าหมายอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ และเป้าหมายอื่น ๆ

เมื่อดูสิ่งนี้แล้ว คุณจะเข้าใจเป้าหมายการสปัตเตอร์ที่มีความบริสุทธิ์สูง รวมถึงอะลูมิเนียม ไทเทเนียม ทองแดง และแทนทาลัมที่ใช้ในชิ้นงานโลหะ ในการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยปกติแล้วกระบวนการอะลูมิเนียมจะเป็นวิธีการหลักในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 200 มม. (8 นิ้ว) และต่ำกว่า และวัสดุเป้าหมายที่ใช้ส่วนใหญ่เป็นส่วนประกอบอะลูมิเนียมและไทเทเนียม การผลิตแผ่นเวเฟอร์ขนาด 300 มม. (12 นิ้ว) ส่วนใหญ่ใช้เทคโนโลยีการเชื่อมต่อด้วยทองแดงขั้นสูง โดยส่วนใหญ่ใช้เป้าหมายที่เป็นทองแดงและแทนทาลัม

ทุกคนควรเข้าใจว่าเนื้อหาเป้าหมายคืออะไร โดยรวมแล้ว ด้วยขอบเขตการใช้งานชิปที่เพิ่มขึ้นและความต้องการที่เพิ่มขึ้นในตลาดชิป ความต้องการวัสดุโลหะฟิล์มบางหลักสี่ประเภทในอุตสาหกรรม ได้แก่ อลูมิเนียม ไทเทเนียม แทนทาลัม และทองแดงก็เพิ่มขึ้นอย่างแน่นอน และในปัจจุบันยังไม่มีวิธีแก้ปัญหาอื่นที่สามารถทดแทนวัสดุโลหะฟิล์มบางทั้งสี่นี้ได้