ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยีอุตสาหกรรม คุณภาพของเป้าหมายที่จำเป็นสำหรับการผลิตทางอุตสาหกรรมก็มีมากขึ้นเรื่อยๆ เนื่องจากคุณภาพของเป้าหมายส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของฟิล์มแมกนีตรอนสปัตเตอร์ในปัจจุบัน บริษัท โดยทั่วไปนิยมใช้เป้าหมายที่มีความหนาแน่นสูงพร้อมโครงสร้างองค์ประกอบที่สม่ำเสมอสำหรับการเคลือบสปัตเตอร์เมื่อซื้อเป้าหมาย เพื่อลดการเย็บหลายเป้าหมายและปรับปรุงคุณภาพของการเคลือบสปัตเตอร์ ดังนั้นสิ่งนี้จึงต้องให้ผู้ผลิตเป้าหมายเข้มงวด ควบคุมคุณภาพของเป้าหมาย ตอนนี้ให้บรรณาธิการของปักกิ่งริชแมทพาคุณไปทำความเข้าใจว่าปัจจัยใดบ้างที่ส่งผลต่อคุณภาพของเป้าหมาย.
1-อิทธิพลของพารามิเตอร์กระบวนการที่มีต่อคุณภาพของเป้าหมาย
พารามิเตอร์กระบวนการส่วนใหญ่ประกอบด้วยแรงดันการกดเย็น ความเร็วการอัดแรงดัน ความเร็วในการรื้อถอน และพารามิเตอร์อื่นๆ.เมื่อชิ้นงานถูกกดเย็น ความดันจะส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพของชิ้นงานเปล่าความเร็วของแรงดันมีผลกระทบอย่างมากต่อการแบ่งชั้นของเป้าหมายที่ว่างเปล่า และสถานะเริ่มต้นเมื่อผงถูกเติมลงในแม่พิมพ์เชิงลบอย่างสม่ำเสมอจะเป็นสถานะหละหลวมซึ่งมีรูพรุนและก๊าซจำนวนมาก และการปล่อยก๊าซจะใช้เวลาช่วงหนึ่ง เวลา.
2-ที่อิทธิพลของเชื้อราต่อคุณภาพเป้าหมาย
แม่พิมพ์ยังมีอิทธิพลต่อการขึ้นรูปของชิ้นงานเปล่าอีกด้วย ปัจจัยที่มีอิทธิพลหลัก ได้แก่ ผิวสำเร็จของด้านในของแม่พิมพ์ ช่องว่างระหว่างหมัดและโพรงแม่พิมพ์ ฯลฯ หากช่องว่างใหญ่เกินไป การวิ่งของผงและการรั่วไหลของผงจะเกิดขึ้น ซึ่งจะทำให้ความหนาแน่นเล็กน้อยของ ปัญหาด้านคุณภาพต่ำและคุณภาพ เช่น ขอบหล่นระหว่างการถอดแบบ
3-ผลกระทบของปริมาณความชื้นของวัสดุต่อคุณภาพของชิ้นงาน
ความชื้นที่มีอยู่ในผงของวัสดุเป้าหมายนั้นเทียบเท่ากับผลของสารหล่อลื่น และการมีอยู่ของมันสามารถลดแรงเสียดทานระหว่างอนุภาค ซึ่งเอื้อต่อการส่งผ่านแรงดันกดเย็นอย่างมีประสิทธิภาพ และยังเอื้อต่อการลื่นไถลและ การจัดเรียงใหม่ระหว่างอนุภาคผง.อย่างไรก็ตาม เมื่อปริมาณน้ำน้อยเกินไปหรือมากเกินไป จะส่งผลต่อคุณภาพของเป้าหมาย
เมื่อปริมาณน้ำในผง ITO น้อยกว่า 2% ความน่าจะเป็นของปัญหาด้านคุณภาพ เช่น การสูญเสียขอบและการหลุดร่อนของวัสดุเป้าหมายจะเพิ่มขึ้นอย่างมากเมื่อเงื่อนไขอื่นๆ เช่น ความดันการกดเย็นและปริมาณสารยึดเกาะเท่ากัน เมื่อน้ำ ปริมาณในผง ITO มากกว่า 10% ภายใต้แรงกดดันการกดเย็นปริมาณสารยึดเกาะและเงื่อนไขอื่น ๆ แม้ว่าอนุภาคผงจะลื่นและจัดเรียงใหม่ได้ง่ายกว่า แต่น้ำก็ถูกระบายออกจากด้านในของแม่พิมพ์ซึ่งจะทำให้เกิดปัญหาการตก ขอบรอบ ว่างเปล่าของวัสดุเป้าหมายผลการวิจัยพบว่าเมื่อปริมาณน้ำในผงอยู่ระหว่าง 3% ถึง 6% คุณภาพของผงเปล่าจะถูกควบคุมอย่างมีประสิทธิภาพ
4-ผลของปริมาณสารยึดเกาะต่อคุณภาพเป้าหมาย
ปริมาณของสารยึดเกาะที่รวมเข้าด้วยกันมีผลกระทบอย่างมากต่อคุณภาพของวัสดุเป้าหมาย เมื่อปริมาณการรวมตัวน้อยกว่า 1% เป้าหมายที่ว่างเปล่าจะมีปัญหาด้านคุณภาพที่ร้ายแรงมาก ในขณะนี้ ผลกระทบของสารยึดเกาะจะไม่แสดง และมีผลเพียงเล็กน้อยในการปรับปรุงความแข็งแกร่งของเป้าหมายที่ว่างเปล่าด้วย การเพิ่มการรวมตัวของสารยึดเกาะเป็น 2% และ 3% ความแข็งแรงของวัสดุเป้าหมายได้รับการปรับปรุง และปัญหาคุณภาพของวัสดุเป้าหมายจะลดลงอย่างมาก อย่างไรก็ตาม เมื่อสารยึดเกาะรวมอยู่ที่ 4% แม้ว่าปัญหาคุณภาพของวัสดุเป้าหมายที่กดเย็นแล้วจะหายไป แต่วัสดุเป้าหมายจะแยกออกจากกันเป็นครั้งคราวในระหว่างกระบวนการถอดชิ้นส่วนที่ตามมา
เวลาโพสต์: 22 เมษายน-2022