อุตสาหกรรมการประยุกต์ใช้วัสดุเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมมีอะไรบ้าง

เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมสปัตเตอร์และโลหะไทเทเนียมประกอบด้วยไทเทเนียม ดังนั้นข้อมูลจึงใกล้เคียงกัน แต่ความแตกต่างระหว่างทั้งสองส่วนใหญ่อยู่ที่เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมสปัตเตอร์นั้นทำจากโลหะไทเทเนียมผ่านหลายวิธี และไทเทเนียมเกิดขึ้นในธรรมชาติในฐานะ แร่ไทเทเนียม เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมสามารถนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในหลายประเภทอาชีพ ตอนนี้ผู้เขียนของปักกิ่งริชแมตได้สรุปเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมทั่วไปหลายประการในแง่ของการใช้สถานการณ์เพื่อให้การแนะนำโดยละเอียดแก่เรา
                                               
一、เป้าหมาย Ti สำหรับวงจรรวม
ข้อกำหนดสำหรับเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมสปัตเตอร์จะแตกต่างกันระหว่างวงจรที่ไม่รวมและวงจรรวม โดยทั่วไป วงจรรวมมีข้อกำหนดที่สูงกว่าสำหรับข้อมูลการเคลือบ เช่น ความบริสุทธิ์ที่สูงขึ้น ขนาดเกรนที่เล็กลง และความแม่นยำของสเกลที่แม่นยำยิ่งขึ้น ความบริสุทธิ์ของเป้าหมายไทเทเนียมในวงจรรวมนั้นมากกว่า 99.995% ซึ่งสูงกว่าที่ใช้ในแบบไม่บูรณาการ วงจรบ่งชี้ว่าการใช้ข้อกำหนดเป้าหมายไทเทเนียมที่แตกต่างกันนั้นแตกต่างกันมาก
二、เป้าหมาย Ti สำหรับจอแบน
เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมที่ใช้ในจอแสดงผลแบบแบน ได้แก่ จอแสดงผลคริสตัลเหลว จอแสดงผลพลาสมา จอแสดงผลแบบใช้ไฟฟ้าเรืองแสง และจอแสดงผลการปล่อยก๊าซเรือนกระจก ฟิล์มบางของจอแสดงผลแบบแบนเป็นวิธีการสร้างแบบสปัตเตอร์ Al, Cu, Ti และ Mo เป็นเป้าหมายการสปัตเตอร์โลหะหลักสำหรับจอแบน จอแสดงผล ความบริสุทธิ์ของเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมสำหรับจอแบนมักจะมากกว่า 99.9%
三、Ti เป้าหมายสำหรับวัสดุตกแต่ง
วัสดุเป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความต้านทานการกัดกร่อนของอากาศที่ดีเยี่ยม การใช้งานระยะยาวในอากาศไม่เปลี่ยนสี เพื่อให้แน่ใจว่าสีเดิมของไทเทเนียมและการสัมผัสของมนุษย์ไม่แพ้และคุณสมบัติที่ยอดเยี่ยมอื่น ๆ ดังนั้นไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงยังสามารถใช้เป็นวัสดุตกแต่งได้ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา เช่น กำไล นาฬิกา แว่นตา และเครื่องประดับอื่น ๆ ที่มีความบริสุทธิ์ของไทเทเนียมถึงระดับ 5N
四、Ti เป้าหมายสำหรับระบบปั๊มสุญญากาศสูงพิเศษ
ในฐานะที่เป็นโลหะที่ออกฤทธิ์ทางเคมี ไทเทเนียมสามารถทำปฏิกิริยากับองค์ประกอบและสารประกอบหลายชนิดที่อุณหภูมิสูง เป้าหมายโลหะผสมไทเทเนียมที่มีความบริสุทธิ์สูงมีความสามารถในการดูดซับสูงสำหรับก๊าซที่ใช้งานอยู่ (เช่น O2, N2, CO, CO2, ไอน้ำที่สูงกว่า 650°C) และฟิล์ม Ti ที่ระเหยอยู่บนผนังปั๊มสามารถสร้างพื้นผิวที่มีประสิทธิภาพการดูดซับสูง . คุณสมบัตินี้ทำให้ Ti ใช้กันอย่างแพร่หลายเป็น getter ในระบบสกัดก๊าซสุญญากาศสูงพิเศษ หากใช้เพื่อปรับปรุงปั๊ม ปั๊มไอออนสปัตเตอร์ ฯลฯ ก็สามารถทำให้แรงดันใช้งานสูงสุดของปั๊มไอออนสปัตเตอร์ริ่งต่ำถึง 10-9PA