เทคโนโลยีและการประยุกต์ใช้เป้าหมายทังสเตนที่มีความบริสุทธิ์สูง

โลหะทังสเตนทนไฟและโลหะผสมทังสเตนมีข้อดีคือมีเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูง ความต้านทานสูงต่อการเคลื่อนย้ายของอิเล็กตรอน และค่าสัมประสิทธิ์การปล่อยอิเล็กตรอนสูง เป้าหมายโลหะผสมทังสเตนและทังสเตนความบริสุทธิ์สูงส่วนใหญ่จะใช้ในการผลิตอิเล็กโทรดเกท สายไฟเชื่อมต่อ ชั้นกั้นการแพร่กระจายของวงจรรวมเซมิคอนดักเตอร์ พวกเขามีข้อกำหนดที่สูงมากเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ ปริมาณองค์ประกอบที่ไม่บริสุทธิ์ ความหนาแน่น ขนาดเกรน และโครงสร้างเกรนที่สม่ำเสมอของวัสดุ เรามาดูปัจจัยที่มีอิทธิพลต่อการเตรียมเป้าหมายทังสเตนที่มีความบริสุทธิ์สูงกันดีกว่าby Rไอค์ สเปเชียล แมททีเรียล บจก.

I. ผลกระทบของอุณหภูมิการเผาผนึก

กระบวนการสร้างตัวอ่อนเป้าหมายทังสเตนมักทำโดยความดันไอโซสแตติกที่เย็น เม็ดทังสเตนจะโตขึ้นในระหว่างการเผาผนึก การเติบโตของเมล็ดทังสเตนจะเติมเต็มช่องว่างระหว่างขอบเขตของคริสตัล ซึ่งจะเป็นการเพิ่มความหนาแน่นของเป้าหมายทังสเตน เมื่อเวลาการเผาผนึกเพิ่มขึ้น ความหนาแน่นที่เพิ่มขึ้นของเป้าหมายทังสเตนจะค่อยๆ ช้าลง เหตุผลหลักก็คือคุณภาพของวัสดุเป้าหมายทังสเตนไม่ได้เปลี่ยนแปลงไปมากนักหลังจากกระบวนการเผาผนึกหลายครั้ง เนื่องจากช่องว่างส่วนใหญ่ในขอบเขตคริสตัลถูกเติมด้วยผลึกทังสเตน อัตราการเปลี่ยนแปลงขนาดโดยรวมของเป้าหมายทังสเตนจึงน้อยมากหลังจากกระบวนการเผาแต่ละครั้ง ซึ่งส่งผลให้มีพื้นที่จำกัดสำหรับความหนาแน่นของเป้าหมายทังสเตนจะเพิ่มขึ้น ในขณะที่ดำเนินการเผาผนึก เม็ดทังสเตนขนาดใหญ่จะถูกเติมลงในช่องว่าง ส่งผลให้ชิ้นงานมีความหนาแน่นมากขึ้นโดยมีขนาดที่เล็กลง

2. ผลกระทบของhกินเวลาเก็บรักษา

ที่อุณหภูมิการเผาผนึกเท่ากัน ความกะทัดรัดของวัสดุเป้าหมายทังสเตนจะดีขึ้นตามระยะเวลาการเผาผนึกที่เพิ่มขึ้น เมื่อเวลาในการเผาผนึกเพิ่มขึ้น ขนาดเกรนของทังสเตนจะเพิ่มขึ้น และเมื่อขยายเวลาการเผาผนึกออกไป ปัจจัยการเติบโตของขนาดเกรนจะค่อยๆ ช้าลง นี่แสดงให้เห็นว่าการเพิ่มเวลาในการเผาผนึกสามารถปรับปรุงประสิทธิภาพของเป้าหมายทังสเตนได้เช่นกัน

3. ผลกระทบของการกลิ้งต่อเป้าหมาย Pประสิทธิภาพ

เพื่อปรับปรุงความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายทังสเตน และได้รับโครงสร้างการประมวลผลของวัสดุเป้าหมายทังสเตน การรีดอุณหภูมิปานกลางของวัสดุเป้าหมายทังสเตนจะต้องดำเนินการต่ำกว่าอุณหภูมิการตกผลึกซ้ำ เมื่ออุณหภูมิการหมุนของเป้าหมายเปล่าสูง โครงสร้างเส้นใยของเป้าหมายเปล่าจะหนาขึ้น ในขณะที่เป้าหมายเปล่าจะละเอียดกว่า เมื่อผลผลิตการรีดร้อนสูงกว่า 95% แม้ว่าความแตกต่างของโครงสร้างเส้นใยที่เกิดจากเกรนดั้งเดิมของการเผาผนึกหรืออุณหภูมิการรีดที่แตกต่างกันจะถูกกำจัดออกไป แต่โครงสร้างเส้นใยที่เป็นเนื้อเดียวกันจะถูกสร้างขึ้นภายในเป้าหมาย ดังนั้น ยิ่งอัตราการประมวลผลของการรีดอุ่นสูงขึ้นเท่าใด ประสิทธิภาพการทำงานของเป้าหมายก็จะยิ่งดีขึ้นเท่านั้น