เป้าหมายสปัตเตอร์ด้วยการผูกพนัก

กระบวนการผูกพนัก:

1. การผูกมัดคืออะไร? หมายถึงการใช้บัดกรีเพื่อเชื่อมวัสดุเป้าหมายเข้ากับเป้าหมายด้านหลัง มีสามวิธีหลัก: การย้ำ การบัดกรีแข็ง และกาวนำไฟฟ้า การผูกเป้าหมายมักใช้สำหรับการบัดกรีแข็ง และวัสดุการบัดกรีโดยทั่วไปจะประกอบด้วย In, Sn และ In Sn โดยทั่วไป เมื่อใช้วัสดุประสานแบบอ่อน กำลังการสปัตเตอร์จะต้องน้อยกว่า 20W/cm2

2、 ทำไมต้องผูก 1. ป้องกันการกระจัดกระจายของวัสดุเป้าหมายที่ไม่สม่ำเสมอในระหว่างการทำความร้อน เช่น เป้าหมายที่เปราะบาง เช่น ITO, SiO2, เซรามิก และเป้าหมายที่ถูกเผา 2. บันทึก * * * และป้องกันการเสียรูป หากวัสดุเป้าหมายมีราคาแพงเกินไป ก็สามารถทำให้บางลงและผูกไว้กับชิ้นงานด้านหลังเพื่อป้องกันการเสียรูป

3、 การเลือกเป้าหมายด้านหลัง: 1. Rich Special Materials Co., Ltd. มักใช้ทองแดงไร้ออกซิเจนที่มีค่าการนำไฟฟ้าที่ดี และค่าการนำความร้อนของทองแดงไร้ออกซิเจนจะดีกว่าทองแดงสีแดง 2. ความหนาปานกลาง และโดยทั่วไปแนะนำให้มีความหนาของเป้าหมายด้านหลังประมาณ 3 มม. หนาเกินไป ใช้พลังแม่เหล็กบางส่วน บางเกินไป เสียรูปง่าย

4、 กระบวนการผูก 1. เตรียมพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายและเป้าหมายด้านหลังก่อนทำการผูก 2. วางวัสดุเป้าหมายและเป้าหมายด้านหลังบนแท่นบัดกรีและเพิ่มอุณหภูมิเป็นอุณหภูมิประสาน 3. ทำให้วัสดุเป้าหมายและเป้าหมายด้านหลังเป็นโลหะ 4. เชื่อมวัสดุเป้าหมายและเป้าหมายด้านหลัง 5. การระบายความร้อนและหลังการประมวลผล

5、 ข้อควรระวังในการใช้เป้าหมายที่ถูกผูกไว้: 1. อุณหภูมิสปัตเตอร์ไม่ควรสูงเกินไป 2. กระแสควรเพิ่มขึ้นอย่างช้าๆ 3. น้ำหล่อเย็นหมุนเวียนควรต่ำกว่า 35 องศาเซลเซียส 4. ความหนาแน่นเป้าหมายที่เหมาะสม

6、 สาเหตุของการหลุดของแผ่นด้านหลังคืออุณหภูมิสปัตเตอร์สูงและเป้าหมายด้านหลังมีแนวโน้มที่จะเกิดออกซิเดชันและการบิดเบี้ยว วัสดุเป้าหมายจะแตกในระหว่างการสปัตเตอร์ที่อุณหภูมิสูง ส่งผลให้เป้าหมายด้านหลังหลุดออก 2. กระแสสูงเกินไปและการนำความร้อนเร็วเกินไป ทำให้อุณหภูมิสูงเกินไปและโลหะบัดกรีละลาย ส่งผลให้บัดกรีไม่สม่ำเสมอและหลุดออกจากเป้าหมายด้านหลัง 3. อุณหภูมิของทางออกของน้ำหล่อเย็นหมุนเวียนควรต่ำกว่า 35 องศาเซลเซียส และอุณหภูมิสูงของน้ำหมุนเวียนอาจทำให้การกระจายความร้อนและการหลุดออกไม่ดี 4. ความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายเมื่อความหนาแน่นของวัสดุเป้าหมายสูงมากมันไม่ดูดซับได้ง่ายไม่มีช่องว่างและเป้าหมายด้านหลังหลุดง่าย