ข้อกำหนดสำหรับการสปัตเตอร์วัสดุเป้าหมายระหว่างการใช้งาน

วัสดุเป้าหมายแบบสปัตเตอร์มีความต้องการสูงในระหว่างการใช้งาน ไม่เพียงแต่สำหรับความบริสุทธิ์และขนาดอนุภาคเท่านั้น แต่ยังรวมถึงขนาดอนุภาคที่สม่ำเสมอด้วย ข้อกำหนดที่สูงเหล่านี้ทำให้เราใส่ใจมากขึ้นเมื่อใช้วัสดุเป้าหมายสปัตเตอร์

1. การเตรียมสปัตเตอร์

การรักษาความสะอาดของห้องสุญญากาศเป็นสิ่งสำคัญมาก โดยเฉพาะระบบสปัตเตอร์ น้ำมันหล่อลื่น ฝุ่น และสารตกค้างจากการเคลือบครั้งก่อนสามารถสะสมสารมลพิษ เช่น น้ำ ส่งผลโดยตรงต่อสุญญากาศ และเพิ่มโอกาสที่การก่อตัวของฟิล์มจะล้มเหลว การลัดวงจร การโค้งของเป้าหมาย พื้นผิวที่ก่อตัวเป็นฟิล์มที่หยาบ และสารเคมีเจือปนที่มากเกินไป มักเกิดจากห้องสปัตเตอร์ ปืน และเป้าหมายที่ไม่สะอาด

เพื่อรักษาลักษณะองค์ประกอบของสารเคลือบ ก๊าซสปัตเตอร์ (อาร์กอนหรือออกซิเจน) จะต้องสะอาดและแห้ง หลังจากติดตั้งวัสดุพิมพ์ในห้องสปัตเตอร์ริ่งแล้ว จะต้องดึงอากาศออกเพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศที่จำเป็นสำหรับกระบวนการ

2. การทำความสะอาดเป้าหมาย

วัตถุประสงค์ของการทำความสะอาดเป้าหมายคือเพื่อขจัดฝุ่นหรือสิ่งสกปรกที่อาจมีอยู่บนพื้นผิวของเป้าหมาย

3. การติดตั้งเป้าหมาย

สิ่งสำคัญที่สุดที่ต้องใส่ใจในระหว่างกระบวนการติดตั้งวัสดุเป้าหมายคือเพื่อให้แน่ใจว่ามีการเชื่อมต่อทางความร้อนที่ดีระหว่างวัสดุเป้าหมายและผนังระบายความร้อนของปืนสปัตเตอร์ หากผนังทำความเย็นหรือแผ่นด้านหลังบิดเบี้ยวอย่างรุนแรง อาจทำให้เกิดการแตกร้าวหรือโค้งงอระหว่างการติดตั้งวัสดุเป้าหมาย การถ่ายเทความร้อนจากเป้าหมายด้านหลังไปยังวัสดุเป้าหมายจะได้รับผลกระทบอย่างมาก ส่งผลให้ไม่สามารถกระจายความร้อนในระหว่างการสปัตเตอร์ได้ ซึ่งท้ายที่สุดจะนำไปสู่การแตกร้าวหรือการเบี่ยงเบนของวัสดุเป้าหมาย

4. การตรวจสอบการลัดวงจรและการปิดผนึก

หลังจากติดตั้งวัสดุเป้าหมายแล้ว จำเป็นต้องตรวจสอบการลัดวงจรและการปิดผนึกของแคโทดทั้งหมด ขอแนะนำให้ใช้โอห์มมิเตอร์และเมกโอห์มมิเตอร์เพื่อตรวจสอบว่าแคโทดลัดวงจรหรือไม่ หลังจากตรวจสอบแล้วว่าแคโทดไม่ได้ลัดวงจร การตรวจจับการรั่วไหลสามารถทำได้โดยการฉีดน้ำเข้าไปในแคโทดเพื่อดูว่ามีการรั่วไหลหรือไม่

5. เป้าหมายวัสดุก่อนสปัตเตอร์

ขอแนะนำให้ใช้ก๊าซอาร์กอนบริสุทธิ์ในการสปัตเตอร์วัสดุเป้าหมายล่วงหน้า ซึ่งสามารถทำความสะอาดพื้นผิวของวัสดุเป้าหมายได้ ขอแนะนำให้เพิ่มกำลังการสปัตเตอร์อย่างช้าๆ ในระหว่างกระบวนการก่อนการสปัตเตอร์สำหรับวัสดุเป้าหมาย พลังของวัสดุเป้าหมายที่เป็นเซรามิก