หมายเหตุของการเคลือบสุญญากาศแบบสปัตเตอร์แบบแมกนีตรอนแบบ PVD

ชื่อเต็มของ PVD คือการสะสมไอทางกายภาพ ซึ่งเป็นตัวย่อของภาษาอังกฤษ (การสะสมไอทางกายภาพ) ปัจจุบัน PVD ส่วนใหญ่ประกอบด้วยการเคลือบแบบระเหย การเคลือบแมกนีตรอนสปัตเตอร์ การเคลือบไอออนแบบหลายอาร์ค การสะสมไอสารเคมี และรูปแบบอื่น ๆ โดยทั่วไปแล้ว PVD อยู่ในอุตสาหกรรมการคุ้มครองสิ่งแวดล้อมสีเขียว เมื่อเทียบกับอุตสาหกรรมอื่นๆ มีความเสียหายเล็กน้อยต่อร่างกายมนุษย์ แต่ก็ไม่ได้เป็นเช่นนั้น แน่นอนว่าสามารถลดขนาดลงได้อย่างมีประสิทธิภาพหรือกำจัดทิ้งไปเลยก็ได้ ในข้อควรระวังในการเคลือบสูญญากาศแบบสปัตเตอร์ PVD แมกนีตรอน ผ่านการแบ่งปันจากบรรณาธิการของ RSM เราสามารถเข้าใจความรู้ทางวิชาชีพที่เกี่ยวข้องได้แม่นยำยิ่งขึ้น

　　สังเกตประเด็นต่อไปนี้เกี่ยวกับการเคลือบสูญญากาศแบบสปัตเตอร์ PVD แมกนีตรอน:

1. การแผ่รังสี: การเคลือบบางชนิดจำเป็นต้องใช้แหล่งจ่ายไฟ RF ถ้าพลังสูงก็ต้องมีเกราะป้องกัน นอกจากนี้ ตามมาตรฐานยุโรป มีการฝังลวดโลหะไว้รอบกรอบประตูของเครื่องเคลือบห้องเดี่ยวเพื่อป้องกันรังสี

2. มลพิษทางโลหะ: วัสดุเคลือบบางชนิด (เช่นโครเมียม อินเดียม อลูมิเนียม) เป็นอันตรายต่อร่างกายมนุษย์ และควรให้ความสนใจเป็นพิเศษกับมลพิษฝุ่นในระหว่างการทำความสะอาดห้องสุญญากาศ

3. มลภาวะทางเสียง: โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์เคลือบขนาดใหญ่บางปั๊มสุญญากาศเชิงกลมีเสียงดังมากดังนั้นจึงสามารถแยกปั๊มออกนอกผนังได้

4. มลภาวะทางแสง: ในกระบวนการเคลือบไอออน ก๊าซจะแตกตัวเป็นไอออนและปล่อยแสงจ้าออกมา ซึ่งไม่เหมาะที่จะมองผ่านหน้าต่างสังเกตเป็นเวลานาน

อุณหภูมิการทำงานทั่วไปของการเคลือบสปัตเตอร์แมกนีตรอน PVD สามารถควบคุมได้ระหว่าง 0 ~ 500!