ความรู้การบำรุงรักษาเป้าหมายสปัตเตอร์

เพื่อนหลายคนเกี่ยวกับการบำรุงรักษาเป้าหมายมีคำถามไม่มากก็น้อย เมื่อเร็ว ๆ นี้ยังมีลูกค้าจำนวนมากที่ให้คำปรึกษาเกี่ยวกับการบำรุงรักษาปัญหาที่เกี่ยวข้องกับเป้าหมาย ให้บรรณาธิการของ RSM เพื่อแบ่งปันความรู้เกี่ยวกับการบำรุงรักษาเป้าหมายสปัตเตอร์

　　ควรรักษาเป้าหมายสปัตเตอร์อย่างไร

　　1、 การบำรุงรักษาเป้าหมาย

เพื่อหลีกเลี่ยงการลัดวงจรและการโค้งที่เกิดจากช่องที่ไม่สะอาดในกระบวนการสปัตเตอร์ จำเป็นต้องเอาสปัตเตอร์ที่สะสมอยู่ตรงกลางและทั้งสองด้านของรางสปัตเตอร์ออกเป็นระยะๆ ซึ่งจะช่วยให้ผู้ใช้สปัตเตอร์อย่างต่อเนื่องที่ความหนาแน่นของพลังงานสูง

　　2、 พื้นที่เก็บข้อมูลเป้าหมาย

เราขอแนะนำให้ผู้ใช้เก็บชิ้นงาน (ไม่ว่าจะเป็นโลหะหรือเซรามิค) ไว้ในบรรจุภัณฑ์สุญญากาศ โดยเฉพาะอย่างยิ่งชิ้นงานประกอบต้องเก็บไว้ในสุญญากาศ เพื่อป้องกันการเกิดออกซิเดชันของชั้นข้อต่อไม่ให้ส่งผลต่อคุณภาพของข้อต่อ สำหรับการบรรจุภัณฑ์เป้าหมายที่เป็นโลหะ เราแนะนำว่าควรบรรจุในถุงพลาสติกที่สะอาดเป็นอย่างน้อย

　　3、 การทำความสะอาดเป้าหมาย

ขั้นตอนแรกคือทำความสะอาดด้วยผ้านุ่มไม่มีขุยชุบอะซิโตน

ขั้นตอนที่สองจะคล้ายกับขั้นตอนแรกคือการทำความสะอาดด้วยแอลกอฮอล์

ขั้นตอนที่ 3: ทำความสะอาดด้วยน้ำปราศจากไอออน หลังจากทำความสะอาดด้วยน้ำปราศจากไอออน วางเป้าหมายไว้ในเตาอบและทำให้แห้งที่ 100 ℃ เป็นเวลา 30 นาที ขอแนะนำให้ใช้ "ผ้าไร้ขุย" เพื่อทำความสะอาดชิ้นงานออกไซด์และเซรามิก

ขั้นตอนที่สี่คือการล้างชิ้นงานด้วยอาร์กอนด้วยแรงดันสูงและความชื้นต่ำ เพื่อกำจัดอนุภาคที่ไม่บริสุทธิ์ที่อาจก่อให้เกิดส่วนโค้งในระบบสปัตเตอร์

　　4、 การตรวจสอบการลัดวงจรและความแน่น

หลังจากติดตั้งเป้าหมายแล้ว จะต้องตรวจสอบการลัดวงจรและความแน่นของแคโทดทั้งหมด ขอแนะนำให้ตัดสินว่ามีการลัดวงจรในแคโทดหรือไม่โดยใช้เครื่องวัดความต้านทานและเมกเกอร์ หลังจากยืนยันว่าไม่มีการลัดวงจรในแคโทด สามารถตรวจสอบการรั่วไหลของน้ำได้ และสามารถนำน้ำเข้าไปในแคโทดเพื่อตรวจสอบว่ามีน้ำรั่วหรือไม่

　　5、 บรรจุภัณฑ์และการขนส่ง

เป้าหมายทั้งหมดบรรจุในถุงพลาสติกปิดผนึกสุญญากาศพร้อมสารกันความชื้น โดยทั่วไปบรรจุภัณฑ์ด้านนอกจะเป็นกล่องไม้ที่มีชั้นป้องกันการชนกันเพื่อปกป้องเป้าหมายและแบ็คเพลนจากความเสียหายระหว่างการขนส่งและการเก็บรักษา