การจำแนกประเภทและการใช้งานของเป้าหมายแมกนีตรอนสปัตเตอร์ริ่ง

　　1. วิธีการสปัตเตอร์แมกนีตรอน:

การสปัตเตอร์แมกนีตรอนสามารถแบ่งออกเป็น DC สปัตเตอร์ การสปัตเตอร์ความถี่กลาง และการสปัตเตอร์ RF

A. แหล่งจ่ายไฟ DC สปัตเตอร์มีราคาถูกและความหนาแน่นของฟิล์มที่สะสมไม่ดี โดยทั่วไปแล้ว แบตเตอรี่ความร้อนจากแสงอาทิตย์และแบตเตอรี่แบบฟิล์มบางที่ใช้ในประเทศจะใช้พลังงานต่ำ และเป้าหมายสปัตเตอร์คือเป้าหมายโลหะที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า

B. พลังงานสปัตเตอร์ RF สูงและเป้าหมายสปัตเตอร์อาจเป็นเป้าหมายที่ไม่นำไฟฟ้าหรือเป้าหมายที่เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า

C. เป้าหมายสปัตเตอร์ความถี่ปานกลางอาจเป็นเป้าหมายเซรามิกหรือเป้าหมายโลหะ

　　2. การจำแนกประเภทและการประยุกต์ใช้เป้าหมายสปัตเตอร์

เป้าหมายสปัตเตอร์มีหลายประเภท และวิธีการจำแนกประเภทเป้าหมายก็แตกต่างกันเช่นกัน ตามรูปร่าง พวกเขาจะแบ่งออกเป็นเป้าหมายยาว เป้าหมายสี่เหลี่ยม และเป้าหมายกลม ตามองค์ประกอบ มันสามารถแบ่งออกเป็นเป้าหมายโลหะ เป้าหมายโลหะผสม และเป้าหมายสารประกอบเซรามิก ตามสาขาการใช้งานที่แตกต่างกัน มันสามารถแบ่งออกเป็นเป้าหมายเซรามิกที่เกี่ยวข้องกับเซมิคอนดักเตอร์ เป้าหมายเซรามิกขนาดกลางในการบันทึก เป้าหมายเซรามิกแสดงผล ฯลฯ เป้าหมายสปัตเตอร์ส่วนใหญ่จะใช้ในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์และข้อมูล เช่น อุตสาหกรรมการจัดเก็บข้อมูล ในอุตสาหกรรมนี้ เป้าหมายสปัตเตอร์ถูกใช้เพื่อเตรียมผลิตภัณฑ์ฟิล์มบางที่เกี่ยวข้อง (ฮาร์ดดิสก์ หัวแม่เหล็ก ออปติคัลดิสก์ ฯลฯ) ในปัจจุบัน. ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของอุตสาหกรรมข้อมูล ความต้องการบันทึกเป้าหมายเซรามิกขนาดกลางในตลาดจึงเพิ่มขึ้น การวิจัยและการผลิตเป้าหมายสื่อบันทึกกลายเป็นจุดสนใจอย่างกว้างขวาง