ข้อดีของเป้าหมายสปัตเตอร์แมกนีตรอนทรงกระบอกและระนาบ

ที่ปรึกษาทางเทคนิคของ RSM จะแบ่งปันกับคุณถึงข้อดีของเป้าหมายสปัตเตอร์แมกนีตรอนทรงกระบอกและระนาบหรือไม่ เมื่อเปรียบเทียบกับเป้าหมายการสปัตเตอร์แมกนีตรอนอื่นๆ เป้าหมายการสปัตเตอร์แมกนีตรอนทรงกระบอกและระนาบยังคงรักษาข้อดีของความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดีของเป้าหมายระนาบสี่เหลี่ยม และสามารถเพิ่มการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายให้สูงสุดด้วยสองวิธีต่อไปนี้:

(1) เมื่อหลุมวงแหวนทั้งสองกลุ่ม (สี่) บนพื้นผิวของเป้าหมายถึงความลึกที่แน่นอน แกนเป้าหมาย (ส่วนแม่เหล็ก) สามารถหมุนได้ 45 ° สัมพันธ์กับท่อเป้าหมาย เพื่อให้พื้นที่อื่น ๆ บนท่อเป้าหมาย ที่ยังไม่สึกกร่อนก็สามารถนำมาใช้ได้

(2) เมื่อแกนเป้าหมายของเป้าหมายสปัตเตอร์แมกนีตรอนทรงกระบอกและระนาบได้รับการออกแบบให้เป็นแกนเป้าหมายหมุน (แกนเป้าหมายหมุนในระหว่างการสปัตเตอร์) พื้นผิวของเป้าหมายสามารถสปัตเตอร์อย่างสม่ำเสมอจากชั้นโดยชั้นโดยไม่มีหลุม ในเวลานี้ เป้าหมายจะถูกใช้อย่างมีประสิทธิภาพสูงสุด และอัตราการใช้ของเป้าหมายสามารถเข้าถึง 50% ~ 60% เมื่อวัสดุเป้าหมายเป็นโลหะมีค่า สิ่งนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งอย่างเห็นได้ชัด

โดยใช้หลักการของแม่เหล็กกับรองเท้าขั้วโลกในเป้าหมายสปัตเตอร์แมกนีตรอนทรงกระบอกโคแอกเชียลเพื่อแก้ปัญหาสนามแม่เหล็กส่วนท้าย เป้าหมายระนาบสี่เหลี่ยมสามารถเปลี่ยนเป็นเป้าหมายสปัตเตอร์แมกนีตรอนทรงกระบอกและระนาบ เป้าหมายสามารถเพิ่มอัตราการใช้ประโยชน์ของเป้าหมายได้สูงสุด ในขณะที่ยังคงรักษาความสม่ำเสมอในการเคลือบที่ดีของเป้าหมายระนาบสี่เหลี่ยมเพื่อปรับปรุงผลประโยชน์ทางเศรษฐกิจ