Пораҳои силицидҳои волфрам
Пораҳои силицидҳои волфрам
Силисиди волфрам WSi2 ҳамчун маводи зарбаи барқ дар микроэлектроника, маневр дар симҳои полисиликон, рӯйпӯши зидди оксидшавӣ ва рӯйпӯши сими муқовимат истифода мешавад. Силисиди волфрам ҳамчун маводи тамос дар микроэлектроника бо муқовимати 60-80μΩсм истифода мешавад. Он дар ҳарорати 1000 ° C ташаккул меёбад. Он одатан ҳамчун шунт барои хатҳои полисиликон барои баланд бардоштани гузарониши он ва баланд бардоштани суръати сигнал истифода мешавад. Қабати силисиди вольфрамро бо роҳи таҳшин кардани буғи химиявӣ, ба монанди таҳшин кардани буғ омода кардан мумкин аст. Ба сифати гази ашьёи хом моносилан ё дихлоросилан ва гексафториди вольфрамро истифода баред. Плёнкаи гузошташуда стехиометрӣ нест ва барои табдил додан ба шакли стехиометрии гузаранда талаб мекунад.
Силисиди волфрам метавонад филми қаблии вольфрамро иваз кунад. Силикиди волфрам инчунин ҳамчун қабати монеа байни кремний ва дигар металлҳо истифода мешавад.
Силисиди волфрам инчунин дар системаҳои микроэлектромеханикӣ хеле арзишманд аст, ки дар байни онҳо силициди волфрам асосан ҳамчун филми тунук барои истеҳсоли микросхемаҳо истифода мешавад. Бо ин мақсад, плёнкаи силициди волфрамро бо истифода аз плазма, масалан, силицид кардан мумкин аст.
| АДАМ | Таркиби химиявӣ | |||||
| Элемент | W | C | P | Fe | S | Si |
| Мундариҷа (вт%) | 76.22 | 0,01 | 0.001 | 0,12 | 0,004 | Мувозинат |
Rich Special Materials дар истеҳсоли ҳадафи пошидан тахассус дорад ва метавонад силиксиди вольфрам истеҳсол кунаддонамувофиқи мушаххасоти муштариён. Барои маълумоти иловагӣ, лутфан бо мо дар тамос шавед.
