Ҳадаф дорои бозори васеъ, майдони татбиқ ва рушди калон дар оянда мебошад. Барои кӯмак расонидан ба шумо дар фаҳмидани вазифаҳои мақсаднок, дар зер муҳандиси RSM ба таври мухтасар талаботи асосии функсионалии ҳадафро муаррифӣ мекунад.
Тозаӣ: покӣ яке аз нишондиҳандаҳои асосии функсионалии ҳадаф аст, зеро тозагии ҳадаф ба вазифаи филм таъсири калон мерасонад. Аммо, дар татбиқи амалӣ, талаботи тозагии ҳадаф низ гуногун аст. Масалан, бо рушди босуръати саноати микроэлектроника, андозаи пласти кремний аз 6 "то 8" то 12 " васеъ карда мешавад ва бари ноқилҳо аз 0,5um то 0,25um, 0,18um ё ҳатто 0,13um кам карда мешавад. Пештар, 99,995% тозагии мақсаднок метавонад ба талаботи раванди 0,35umic ҷавобгӯ бошад, дар ҳоле ки тайёр кардани хатҳои 0,18um 99,999% ё ҳатто 99,9999% тозагии мақсаднокро талаб мекунад.
Мазмуни наҷосат: ифлосиҳо дар моддаҳои сахти мақсаднок ва оксиген ва буғи об дар сӯрохиҳо сарчашмаҳои асосии ифлосшавии филмҳои гузошташуда мебошанд. Ҳадафҳо барои мақсадҳои гуногун барои мундариҷаи наҷосати гуногун талаботи гуногун доранд. Масалан, ҳадафҳои алюминийи холис ва хӯлаи алюминий, ки дар саноати нимноқил истифода мешаванд, барои таркиби металлҳои сілтӣ ва таркиби элементҳои радиоактивӣ талаботи махсус доранд.
Зичӣ: Барои кам кардани сӯрохиҳо дар ҷисми мавриди ҳадаф ва беҳтар кардани функсияи филми пошидан, ҳадаф одатан зичии баландро талаб мекунад. Зичии ҳадаф на танҳо ба суръати пошидан таъсир мерасонад, балки ба функсияҳои электрикӣ ва оптикии плёнка низ таъсир мерасонад. Зичии ҳадаф баландтар бошад, вазифаи филм ҳамон қадар беҳтар мешавад. Илова бар ин, зичӣ ва қувваи ҳадаф беҳтар карда мешавад, то ҳадаф метавонад фишори гармиро дар раванди пошидан беҳтар қабул кунад. Зичӣ инчунин яке аз нишондиҳандаҳои асосии функсионалии ҳадаф мебошад.
Вақти фиристодан: 20 май-2022