Плёнкаи лоғар дар ҳадафи пӯшидашуда шакли махсуси моддӣ мебошад. Дар самти мушаххаси ғафсӣ, миқёс хеле хурд аст, ки миқдори микроскопии ченшаванда аст. Илова бар ин, аз сабаби намуди зоҳирӣ ва интерфейси ғафсӣ филм, муттасилии моддӣ қатъ, ки медиҳад, ки маълумоти филм ва маълумоти мавриди ҳадаф хосиятҳои гуногун доранд. Ва ҳадаф асосан истифодаи молидани magnetron sputtering аст, муҳаррири Пекин Richmat моро дарк хоҳад кард. принцип ва малакаи пошидани пошидан.
一、Принсипи пошидани пошидан
Маҳорати пӯшонидани пошидан ин истифодаи намуди ҳадафи тирандозии ионҳо мебошад, атомҳои мавриди ҳадаф аз падидае, ки бо номи пошидан маълум аст, хориҷ карда мешаванд. Атомҳое, ки дар рӯи замин ҷойгир шудаанд, қабати пошхӯрӣ номида мешаванд. Одатан, ионизатсияи газ тавассути разряди газ ба вуҷуд меояд ва ионҳои мусбат ҳадафи катодро бо суръати баланд дар зери таъсири майдони электрикӣ зада, атомҳо ё молекулаҳои Ҳадафи катод ва парвоз ба сатҳи субстрат, ки дар филм ҷойгир карда шавад. Ба таври оддӣ гӯем, пӯшиши пошидан фишори пастро истифода мебарад. ихроҷи гази инертӣ барои тавлиди ионҳо.
Умуман, таҷҳизоти пӯшонидани филми пошидан бо ду электрод дар камераи разряди вакуумӣ муҷаҳҳаз карда шудааст ва ҳадафи катод аз маълумоти пӯшиш иборат аст. Камераи вакуумӣ бо гази аргон бо фишораш 0,1~10Па пур карда мешавад. Дар катод дар зери таъсири шиддати баланди манфии 1~3кВ доимӣ ё шиддати rf 13,56 мГс разряди дурахшанда ба амал меояд. Ионҳои аргон сатҳи ҳадафро бомбаборон мекунанд ва боиси ҷамъ шудани атомҳои ҳадафи пошида дар зеризаминӣ мешаванд.
二、Хусусиятҳои малакаҳои пошидани пӯшиш
1, Суръати stacking зуд
Фарқи байни электроди пошидани магнитронии баландсуръат ва электроди анъанавии ду марҳила дар он аст, ки магнит дар зери ҳадаф ҷойгир шудааст, аз ин рӯ майдони магнитии нобаробари пӯшида дар сатҳи ҳадаф ба амал меояд。Қувваи лорентс ба электронҳо ба самти марказ аст. майдони магнитии гетерогенӣ. Аз сабаби таъсири фокус, электронҳо камтар гурехта мешаванд. Майдони магнитии гетерогенӣ дар атрофи сатҳи ҳадаф мегузарад ва электронҳои дуюмдараҷае, ки дар майдони магнитии гетерогенӣ гирифта шудаанд, такроран бо молекулаҳои газ бархӯрдаанд, ки ин суръати баланди табдили молекулаҳои газро беҳтар мекунад. Бинобар ин, пошидани магнитронҳои баландсуръат қувваи камро сарф мекунад, аммо метавонад самаранокии баланди пӯшишро бо хусусиятҳои разряди идеалӣ ба даст орад.
2, Ҳарорати субстрат паст аст
Парокандашавии магнитронии баландсуръат, ки бо номи пошидани ҳарорати паст низ маълум аст. Сабаб дар он аст, ки дастгоҳ разрядҳоро дар фазои майдони электромагнитӣ, ки ба ҳамдигар ростанд, истифода мебарад. Электронҳои дуюмдараҷа, ки дар беруни ҳадаф, дар ҳамдигар пайдо мешаванд. Дар зери таъсири як майдони рости электромагнитӣ, он дар наздикии сатҳи ҳадаф баста шуда, дар қад-қади хати парвоз дар хати гардиши даврашакл ҳаракат мекунад ва борҳо ба молекулаҳои газ зарба мезанад, то молекулаҳои газро ионизатсия кунад. Якҷоя, худи электронҳо тадриҷан энергияи худро гум мекунанд, тавассути зарбаҳои такрорӣ, то он даме, ки энергияи онҳо қариб пурра гум шавад, пеш аз он ки онҳо аз сатҳи ҳадаф дар наздикии субстрат гурезанд. Азбаски энергияи электронҳо хеле паст аст, ҳарорати ҳадаф аз ҳад зиёд баланд намешавад. Ин барои муқовимат ба болоравии ҳарорати субстрат, ки дар натиҷаи бомбаборони электронии баланд-энергияи тири оддии диод, ки криогенизатсияро анҷом медиҳад, кофӣ аст.
3, доираи васеи сохторҳои мембрана
Сохтори плёнкаҳои тунук, ки дар натиҷаи бухоршавии вакуумӣ ва пошидани сӯзандоруҳо ба даст омадаанд, аз оне, ки дар натиҷаи борик кардани моддаҳои сахт ба даст омадаанд, ба куллӣ фарқ мекунад. Дар муқоиса бо моддаҳои сахти умумӣ, ки дар се андоза ҳамчун сохтори якхела тасниф карда мешаванд, филмҳои дар марҳилаи газ ҷойгиршуда ҳамчун сохторҳои гетерогенӣ тасниф карда мешаванд. Плёнкаҳои борик сутунӣ мебошанд ва онҳоро тавассути микроскопияи электронии сканерӣ тафтиш кардан мумкин аст. Рушди сутунии плёнка бо сабаби сатҳи аслии барҷастаи субстрат ва якчанд сояҳо дар қисмҳои намоёни субстрат ба амал меояд. Бо вуҷуди ин, шакл ва андозаи сутун аз сабаби ҳарорати субстрат, паҳншавии сатҳи атомҳои ҷамъшуда, дафни атомҳои наҷосат ва кунҷи ҳодисаи атомҳои ҳодиса нисбат ба сатҳи субстрат комилан фарқ мекунанд. Дар доираи ҳарорати аз ҳад зиёд, филми борик дорои сохтори нахдор, зичии баланд аст, ки аз кристаллҳои сутуни хуб иборат аст, ки сохтори беназири филми пошидан аст.
Фишори пошидан ва суръати stacking филм низ ба сохтори филм таъсир мерасонад. Азбаски молекулаҳои газ таъсири фурўпошии парокандагии атомҳо дар рӯи субстрат доранд, таъсири фишори баланди пошидан барои паст шудани ҳарорати субстрат дар модел мувофиқ аст. Аз ин рӯ, дар фишори баланди пошидани плёнкаҳои ковокӣ, ки дорои донаҳои майда мебошанд, ба даст овардан мумкин аст. Ин филми андозаи донаи хурд барои молидан, муқовимат ба фарсудашавӣ, сахтшавии рӯизаминӣ ва дигар барномаҳои механикӣ мувофиқ аст.
4, Таркибро баробар ташкил кунед
Пайвастҳо, омехтаҳо, хӯлаҳо ва ғ., ки бо бухоршавии вакуумӣ пӯшиданашон душвор аст, зеро фишорҳои буғи ҷузъҳо гуногунанд ё ҳангоми гарм кардани онҳо фарқ мекунанд. ба субстрат, ба ин маънӣ маҳорати филмсозӣ мукаммалтар аст. Ҳама намуди маводро дар истеҳсоли рӯйпӯшҳои саноатӣ тавассути пошидан истифода бурдан мумкин аст.
Вақти фиристодан: апрел-29-2022