Онро метавон ба пошидани магнитронии DC ва пошидани магнитронии RF тақсим кард.
Усули пошидани доимии доимӣ талаб мекунад, ки ҳадаф метавонад заряди мусбатеро, ки аз ҷараёни бомбаборони ионҳо ба даст омадааст, дар тамоси зич ба катод интиқол диҳад ва он гоҳ ин усул метавонад танҳо маълумотҳои ноқилро паҳн кунад, ки барои маълумоти изолятсия мувофиқ нест, зеро Ҳангоми бомбаборон кардани ҳадафи изолятсия заряди ион дар рӯи сатҳ безарар карда намешавад, ки ин боиси афзоиши потенсиал дар сатҳи ҳадаф мегардад ва тақрибан тамоми шиддати татбиқшаванда ба ҳадаф татбиқ карда мешавад, аз ин рӯ эҳтимолияти суръатбахшии ионҳо ва ионизатсияи байни ду қутб коҳиш меёбад ё ҳатто ионизатсия карда намешавад, Ин боиси нокомии разряди доимӣ, ҳатто қатъ шудани разряд ва қатъшавии пошидан мегардад. Аз ин рӯ, пошидани басомади радио (RF) бояд барои изолятсияи ҳадафҳо ё ҳадафҳои ғайриметаллӣ бо ноқилҳои ноқил истифода шавад.
Раванди пошидан равандҳои мураккаби парокандашавӣ ва равандҳои гуногуни интиқоли энергияро дар бар мегирад: аввал, зарраҳои афтанда бо атомҳои мавриди ҳадаф ба таври чандирӣ бархӯрд мекунанд ва як қисми энергияи кинетикии зарраҳои афтанда ба атомҳои мавриди ҳадаф интиқол дода мешаванд. Энергияи кинетикии баъзе атомҳои мақсаднок аз монеаи потенсиалие, ки атомҳои дигар дар атрофи онҳо ташкил медиҳанд, зиёдтар аст (барои металлҳо 5-10ев) ва сипас онҳо аз торчаи торчаи торӣ берун шуда, атомҳои берун аз макон ҳосил мешаванд ва бархӯрди такрорӣ бо атомҳои ҳамсоя. , ки дар натича каскади бархурд ба амал омад. Вақте ки ин каскади бархӯрд ба сатҳи ҳадаф мерасад, агар энергияи кинетикии атомҳои ба сатҳи ҳадаф наздиктар аз энергияи пайвастшавии сатҳ (1-6ев барои металлҳо) зиёдтар бошад, ин атомҳо аз сатҳи ҳадаф ҷудо мешаванд. ва ба вакуум дохил шавед.
Сарпӯши пошидан ин маҳорати истифодаи зарраҳои заряднок барои бомбаборон кардани сатҳи ҳадаф дар вакуум аст, то зарраҳои бомбабороншуда дар субстрат ҷамъ шаванд. Одатан, барои тавлиди ионҳои ҳодиса разряди дурахши гази инертии фишори паст истифода мешавад. Ҳадафи катод аз маводи рӯйпӯш сохта шудааст, субстрат ҳамчун анод истифода мешавад, 0,1-10па аргон ё дигар гази инертӣ ба камераи вакуумӣ ворид карда мешавад ва разряди дурахшон дар зери таъсири катод (ҳадаф) 1-3кВ DC манфии баланд ба амал меояд. шиддат ё шиддати RF 13,56MHz. Ионҳои аргонҳои иононидашуда сатҳи ҳадафро бомбаборон мекунанд, ки атомҳои мақсаднокро пошида, дар субстрат ҷамъ шуда, як қабати тунукро ташкил медиҳанд. Дар айни замон, усулҳои зиёди пошидан вуҷуд доранд, ки асосан пошидани дуюмдараҷа, пошидани севум ё чорум, пошидани магнетронӣ, пошидани ҳадаф, пошидани РБ, пошидани ғаразнок, алоқаи асимметрии РБ, пошидани шуои ионӣ ва пошидани реактивӣ.
Азбаски атомҳои пошида пас аз мубодилаи энергияи кинетикӣ бо ионҳои мусбӣ бо энергияи электронии даҳҳо вольт пошида мешаванд, атомҳои пошида дорои энергияи баланд мебошанд, ки барои беҳтар кардани қобилияти парокандагии атомҳо ҳангоми stacking, беҳтар кардани ҷаримабандии ҷойгиркунӣ ва сохтани филми омодашуда бо субстрат пайвасти қавӣ доранд.
Ҳангоми пошидан, пас аз ионизатсия шудани газ, ионҳои газ дар зери таъсири майдони электрикӣ ба сӯи ҳадафе, ки ба катод пайвастанд, парвоз мекунанд ва электронҳо ба холигии девор ва субстрат ба замин мерасанд. Ба хамин тарик, дар зери шиддати паст ва фишори паст шумораи ионхо кам ва кувваи пошидани максад паст мешавад; Ҳангоми шиддати баланд ва фишори баланд, гарчанде ки ионҳои бештар ба вуҷуд омада метавонанд, электронҳое, ки ба субстрат парвоз мекунанд, дорои энергияи баланд мебошанд, ки ба осонӣ гарм кардани субстрат ва ҳатто пошидани дуюмдараҷа ба сифати филм таъсир мерасонанд. Илова бар ин, эҳтимолияти бархӯрди атомҳои мақсаднок ва молекулаҳои газ дар ҷараёни парвоз ба субстрат низ хеле зиёд мешавад. Аз ин ру, он ба тамоми чукурй паро-канда мешавад, ки дар вакти тайёр кардани плёнкахои бисьёркабата на танхо максадро ифлос мекунад, балки хар як кабатро ифлос мекунад.
Барои бартараф кардани камбудиҳои дар боло зикршуда, дар солҳои 1970-ум технологияи пошидани магнитронии DC таҳия карда шуд. Он камбудиҳои суръати пасти пошидани катод ва баландшавии ҳарорати субстратро, ки тавассути электронҳо ба вуҷуд омадаанд, самаранок бартараф мекунад. Аз ин рӯ, он босуръат таҳия ва ба таври васеъ истифода шудааст.
Принсип чунин аст: ҳангоми пошидани магнетрон, азбаски электронҳои ҳаракаткунанда ба қувваи Лоренц дар майдони магнитӣ дучор мешаванд, орбитаи ҳаракати онҳо гардишгар ё ҳатто спиралӣ буда, роҳи ҳаракати онҳо дарозтар мешавад. Аз ин рӯ, шумораи бархӯрд бо молекулаҳои гази корӣ зиёд карда мешавад, то зичии плазма зиёд карда шавад, ва он гоҳ суръати sputtering magnetron хеле беҳтар аст, ва он метавонад дар зери шиддати sputtering пасттар ва фишори кор барои кам кардани тамоюли ифлосшавии филм; Аз тарафи дигар, он инчунин энергияи атомҳоро, ки дар рӯи субстрат меоянд, беҳтар мекунад, аз ин рӯ сифати филмро то андозае беҳтар кардан мумкин аст. Дар баробари ин, вақте ки электронҳое, ки дар натиҷаи бархӯрдҳои сершумор энергияро гум мекунанд, ба анод мерасанд, онҳо ба электронҳои камэнергетикӣ табдил меёбанд ва он гоҳ субстрат аз ҳад зиёд гарм намешавад. Аз ин рӯ, пошидани магнетрон бартариҳои «суръати баланд» ва «ҳарорати паст» дорад. Камбудии ин усул дар он аст, ки плёнкаи изоляториро тайёр кардан ғайриимкон аст ва майдони магнитии нобаробар, ки дар электроди магнетрон истифода мешавад, боиси нобаробарии ошкори ҳадаф мегардад, ки дар натиҷа суръати пасти истифодаи ҳадаф, ки умуман танҳо 20% - 30 аст. %.
Вақти фиристодан: 16 май-2022