Мо бояд ҳоло бо ҳадаф хеле ошно бошем, ҳоло бозори мақсаднок низ афзоиш меёбад, ин аст, ки иҷрои асосии ҳадафи пошидан аз ҷониби муҳаррири RSM мубодила мешавад.
Покӣ
Тоза будани маводи мавриди ҳадаф яке аз нишондиҳандаҳои асосии кор аст, зеро тозагии маводи мавриди ҳадаф ба иҷрои филми тунук таъсири калон мерасонад. Аммо, дар татбиқи амалӣ, талаботи тозагии маводи мавриди ҳадаф яксон нестанд. Масалан, бо рушди босуръати саноати микроэлектроника, андозаи чипи кремний аз 6 ", 8" то 12 ″ таҳия карда шуд ва паҳнои ноқилҳо аз 0,5um то 0,25um,0,18um ё ҳатто 0,13ум кам карда шуд. Пештар, тозагии 99,995% маводи мавриди ҳадаф метавонад ба талаботи раванди 0,35umIC ҷавобгӯ бошад. Тоза будани маводи мавриди ҳадаф 99,999% ё ҳатто 99,9999% барои тайёр кардани хатҳои 0,18um аст.
Мазмуни ифлос
Наҷосатҳо дар моддаи сахти мақсаднок ва оксиген ва буғи об дар сӯрохиҳо сарчашмаҳои асосии ифлосшавии таҳшиншавии филм мебошанд. Маводҳои мақсаднок барои мақсадҳои гуногун барои мундариҷаи наҷосати гуногун талаботи гуногун доранд. Масалан, ҳадафҳои алюминийи холис ва хӯлаи алюминий, ки дар саноати нимноқил истифода мешаванд, барои таркиби металлҳои сілтӣ ва элементҳои радиоактивӣ талаботи махсус доранд.
Зичии
Барои кам кардани ковокӣ дар ҷисми ҳадаф ва беҳтар кардани кори филми пошидан, одатан зичии баланди ҳадаф талаб карда мешавад. Зичии ҳадаф на танҳо ба суръати пошидан, балки ба хосиятҳои электрикӣ ва оптикии плёнка низ таъсир мерасонад. Чӣ қадаре ки зичии ҳадаф баланд бошад, иҷрои филм ҳамон қадар беҳтар мешавад. Илова бар ин, баланд бардоштани зичӣ ва қувваи ҳадаф ҳадафро ба фишори гармӣ дар ҷараёни пошидан беҳтар тоб меорад. Зичӣ инчунин яке аз нишондиҳандаҳои асосии иҷрои ҳадаф мебошад.
Андозаи дона ва тақсимоти андозаи дона
Ҳадаф одатан поликристалӣ буда, андозаи донааш аз микрометр то миллиметр аст. Барои ҳамин ҳадаф, суръати пошидани ҳадаф бо донаҳои хурд назар ба ҳадафи донаҳои калон тезтар аст. Тақсимоти ғафсии плёнкаҳое, ки тавассути ҳадафи пошидан гузошта шудаанд, бо фарқияти хурдтари андозаи дона (тақсимоти якхела) яксонтар аст.
Вақти фиристодан: 04-04-2022