Дар айни замон, қариб ҳамаи ҳадафҳои баландсифати мисҳои металлии ултра-баланд, ки аз ҷониби саноати IC талаб карда мешаванд, аз ҷониби якчанд ширкатҳои бузурги трансмиллии хориҷӣ монополия карда мешаванд. Ҳама ҳадафҳои миси ултра тозае, ки ба саноати ватании IC ниёз доранд, бояд ворид карда шаванд, ки ин на танҳо гарон аст, балки дар расмиёти воридот мушкил аст. Аз ин рӯ, Чин ба таври фаврӣ бояд таҳия ва тафтиши ҳадафҳои пошидани миси ултра-баланд (6N) такмил дода шавад. . Биёед нуктаҳои асосӣ ва мушкилотро дар таҳияи ҳадафҳои пошидани мисҳои ултра-баланд (6N) дида бароем.
1、Коркарди масолехи тозагии ултра баланд
Технологияи тозакунии металлҳои баландсифати Cu, Al ва Ta дар Чин аз технологияи кишварҳои пешрафтаи саноатӣ хеле дур аст. Дар айни замон, аксарияти металлҳои тозаи баланд, ки метавонанд таъмин карда шаванд, ба талаботи сифати микросхемаҳои интегралӣ барои пошидани ҳадафҳо мувофиқи усулҳои анъанавии таҳлили ҳама элементҳо дар саноат ҷавобгӯ нестанд. Миқдори дохилшавӣ дар ҳадаф аз ҳад зиёд ё нобаробар тақсим карда шудааст. Ҳангоми пошидан зарраҳо аксар вақт дар пластинка ба вуҷуд меоянд, ки дар натиҷа ноқилҳои кӯтоҳ ё занҷири кушодаи пайвастшавӣ ба амал меоянд, ки ба кори филм таъсири ҷиддӣ мерасонад.
2、Кор карда баромадани технологияи тайёр кардани ҳадафи пошидани мис
Таҳияи технологияи тайёр кардани ҳадафи пошидани мис асосан ба се ҷанба тамаркуз мекунад: андозаи дона, назорати самт ва якрангӣ. Саноати нимноқилҳо ба ҳадафҳои пошидан ва бухор кардани ашёи хом талаботи баландтарин дорад. Он барои назорати андозаи донаҳои рӯизаминӣ ва ориентацияи кристаллии ҳадаф талаботи хеле қатъӣ дорад. Андозаи донаи ҳадаф бояд дар 100 назорат карда шавадμ Аз ин рӯ, барои таҳияи ҳадафҳои металлӣ назорати андозаи дона ва воситаҳои таҳлил ва ошкор кардани коррелятсия хеле муҳим аст.
3、Инкишофи тахлил ваозмоиш технология
Тозагии баланди ҳадаф маънои кам кардани наҷосатро дорад. Дар гузашта барои муайян кардани ифлосиҳо плазмаи ба таври индуктивӣ пайвастшуда (ICP) ва спектрометрияи абсорбсияи атомӣ истифода мешуданд, аммо дар солҳои охир тадриҷан ҳамчун стандарти таҳлили сифати партовҳои партовҳо (GDMS) бо ҳассосияти баландтар истифода мешаванд. усул. Усули муқовимати боқимондаи RRR асосан барои муайян кардани тозагии электрикӣ истифода мешавад. Принсипи муайянкунии он баҳодиҳии тозагии металлҳои асосӣ тавассути чен кардани дараҷаи дисперси электронии ифлосҳо мебошад. Азбаски он барои чен кардани муқовимат дар ҳарорати хонагӣ ва ҳарорати хеле паст аст, гирифтани рақам осон аст. Дар солхои охир бо максади омухтани мохияти металлхо тадкикот оид ба тозагии ультра-баланд хеле фаъол аст. Дар ин ҳолат, арзиши RRR роҳи беҳтарини арзёбии тозагӣ мебошад.
Вақти фиристодан: 06-06-2022