Бо мақсади дастгирии филм дар асоси сенсори пьезоэлектрикии MEMS (pMEMS) ва ҷузъҳои филтри басомади радио (RF), хӯлаи алюминийи скандии аз ҷониби Rich Special Material Co., Ltd. истеҳсолшуда махсусан барои таҳшини реактивии филмҳои нитриди алюминийи скандӣ истифода мешавад. .
Материалхои пьезоэлектрикии плёнкаи тунук дар тачхизоти электронии автомобилй, саноатй ва шахей торафт бештар истифода мешаванд. Барномаҳо сенсорҳои изи ангушт ва дастгоҳҳои шинохти имову ишора, микрофонҳои MEMS, сенсорҳои кимиёвии резонатор ва сенсорҳои тиббиро дар бар мегиранд. Илова бар ин, барои татбиқи филтрҳои RF барои барномаҳои шабакаи 5G, филмҳои нитриди алюминийи скандӣ бештар лозим мешаванд. Дар баробари ин микдори алюминии скандий зиёд мешавад.
Хусусиятҳои Al Sc Alloy
Якхелаи химиявии хеле пайваста дар тамоми хӯла
Якхелаи химиявии филм дар тӯли тамоми умри чип ва хӯлаи хеле пайваста
Софӣ>99,9%, миқдори ками оксиген, миқдори ками ифлоскунанда
Барои ноил шудан ба иҷрои беҳтарини пошидани микросхторҳо ба таври қатъӣ назорат кунед
Рехтаи вакуумӣ, хӯлаи пурраи зиччи бо адгезияи паст, тағйирпазирии паст ва гранулияти паст
Rich Special Material Co., Ltd як қатор гудохти хӯлаҳо, мутобиқсозии ҳадафҳо ва хидматҳои R&D-ро дастгирӣ мекунад.
Вақти фиристодан: Ноябр-11-2022