మిశ్రమం లక్ష్యాల కోసం జాగ్రత్తలు

1, స్పుట్టరింగ్ తయారీ

వాక్యూమ్ చాంబర్, ముఖ్యంగా స్పుట్టరింగ్ సిస్టమ్ శుభ్రంగా ఉంచడం చాలా ముఖ్యం. కందెన నూనె, ధూళి మరియు మునుపటి పూత ద్వారా ఏర్పడిన ఏదైనా అవశేషాలు నీటి ఆవిరి మరియు ఇతర కాలుష్య కారకాలను సేకరిస్తాయి, ఇది నేరుగా వాక్యూమ్ డిగ్రీని ప్రభావితం చేస్తుంది మరియు ఫిల్మ్-ఫార్మింగ్ వైఫల్యం యొక్క అవకాశాన్ని పెంచుతుంది. షార్ట్ సర్క్యూట్ లేదా టార్గెట్ ఆర్సింగ్, రఫ్ ఫిల్మ్ సర్ఫేస్ మరియు మితిమీరిన రసాయనిక అశుద్ధ కంటెంట్ తరచుగా అపరిశుభ్రమైన స్పుట్టరింగ్ ఛాంబర్, గన్ మరియు టార్గెట్ స్పుట్టరింగ్ వల్ల సంభవిస్తాయి. పూత యొక్క కూర్పు లక్షణాలకు కట్టుబడి ఉండటానికి, స్పుట్టరింగ్ గ్యాస్ (ఆర్గాన్ లేదా ఆక్సిజన్) శుభ్రపరచడం మరియు పొడి చేయడం అవసరం. స్పుట్టరింగ్ చాంబర్‌లో సబ్‌స్ట్రేట్ ఇన్‌స్టాల్ చేయబడిన తర్వాత, ప్రక్రియ ద్వారా అవసరమైన వాక్యూమ్‌ను చేరుకోవడానికి గాలిని సంగ్రహించాల్సిన అవసరం ఉంది. చీకటి ప్రదేశంలో షీల్డింగ్ కవర్, కుహరం గోడ మరియు ప్రక్కనే ఉన్న ఉపరితలం కూడా శుభ్రంగా ఉంచాలి. వాక్యూమ్ చాంబర్‌ను శుభ్రపరిచేటప్పుడు, మురికి భాగాలను ట్రీట్ చేయడానికి గ్లాస్ బాల్ షాట్ బ్లాస్టింగ్‌ను ఉపయోగించాలని మేము సూచిస్తున్నాము, గది చుట్టూ ఉన్న ప్రారంభ చిమ్మట అవశేషాలను తొలగించడానికి కంప్రెస్డ్ ఎయిర్‌తో పాటు, ఆపై అల్యూమినా కలిపిన ఇసుక అట్టతో బాహ్య ఉపరితలాన్ని నిశ్శబ్దంగా పాలిష్ చేయండి. గాజుగుడ్డ కాగితాన్ని పాలిష్ చేసిన తర్వాత, అది ఆల్కహాల్, అసిటోన్ మరియు డీయోనైజ్డ్ వాటర్‌తో శుభ్రం చేయబడుతుంది. కలిసి, ఇది సహాయక శుభ్రపరచడం కోసం పారిశ్రామిక వాక్యూమ్ క్లీనర్‌ను ఉపయోగించాలని సూచించింది. Gaozhan మెటల్ ఉత్పత్తి చేసే లక్ష్యాలను వాక్యూమ్ సీల్డ్ ప్లాస్టిక్ సంచుల్లో ప్యాక్ చేస్తారు,

తేమ-ప్రూఫ్ ఏజెంట్‌లో నిర్మించబడింది. లక్ష్యాన్ని ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు, దయచేసి మీ చేతితో లక్ష్యాన్ని నేరుగా తాకవద్దు. గమనిక: లక్ష్యాన్ని ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు, దయచేసి క్లీన్ మరియు లింట్ ఫ్రీ మెయింటెనెన్స్ గ్లోవ్స్ ధరించండి. మీ చేతులతో ఎప్పుడూ లక్ష్యాన్ని నేరుగా తాకవద్దు

2, లక్ష్యం శుభ్రపరచడం

లక్ష్యం యొక్క ఉపరితలంపై ఉండే దుమ్ము లేదా ధూళిని తొలగించడం లక్ష్యంగా శుభ్రపరచడం యొక్క ఉద్దేశ్యం.

మెటల్ లక్ష్యాన్ని నాలుగు దశల్లో శుభ్రం చేయవచ్చు,

మొదటి దశ అసిటోన్‌లో ముంచిన మెత్తటి మెత్తని గుడ్డతో శుభ్రం చేయడం;

రెండవ దశ మొదటి దశకు సమానంగా ఉంటుంది, మద్యంతో శుభ్రపరచడం;

దశ 3: డీయోనైజ్డ్ నీటితో శుభ్రం చేయండి. డీయోనైజ్డ్ నీటితో కడిగిన తర్వాత, లక్ష్యాన్ని ఓవెన్‌లో ఉంచండి మరియు 100 ℃ వద్ద 30 నిమిషాలు ఆరబెట్టండి.

ఆక్సైడ్ మరియు సిరామిక్ లక్ష్యాలను శుభ్రపరచడం "లింట్ ఫ్రీ క్లాత్" తో నిర్వహించబడుతుంది.

నాల్గవ దశ మురికి ప్రాంతాన్ని తొలగించిన తర్వాత అధిక పీడనం మరియు తక్కువ నీటి వాయువుతో లక్ష్యాన్ని ఆర్గాన్‌తో కడగడం, తద్వారా స్పుట్టరింగ్ సిస్టమ్‌లో ఆర్క్ ఏర్పడే అన్ని మలిన కణాలను తొలగించడం.

3, లక్ష్య పరికరం

లక్ష్య సంస్థాపన ప్రక్రియలో, Z ముఖ్యమైన జాగ్రత్తలు లక్ష్యం మరియు స్పుట్టరింగ్ గన్ యొక్క శీతలీకరణ గోడ మధ్య మంచి ఉష్ణ వాహక కనెక్షన్‌ని నిర్ధారించడం. కూలింగ్ స్టవ్ యొక్క వార్‌పేజ్ తీవ్రంగా ఉంటే లేదా వెనుక ప్లేట్ యొక్క వార్‌పేజ్ తీవ్రంగా ఉంటే, లక్ష్య పరికరం పగుళ్లు లేదా వంగి ఉంటుంది మరియు వెనుక లక్ష్యం నుండి లక్ష్యానికి ఉష్ణ వాహకత బాగా ప్రభావితమవుతుంది, ఫలితంగా వేడి వెదజల్లడం విఫలమవుతుంది. స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో, మరియు లక్ష్యం పగుళ్లు లేదా మిస్ అవుతుంది

ఉష్ణ వాహకతను నిర్ధారించడానికి, క్యాథోడ్ శీతలీకరణ గోడ మరియు లక్ష్యం మధ్య గ్రాఫైట్ కాగితం పొరను ప్యాడ్ చేయవచ్చు. దయచేసి O-రింగ్ ఎల్లప్పుడూ ఉండేలా చూసుకోవడానికి ఉపయోగించే స్పుట్టరింగ్ గన్ యొక్క శీతలీకరణ గోడ యొక్క ఫ్లాట్‌నెస్‌ను జాగ్రత్తగా తనిఖీ చేసి, స్పష్టం చేయడానికి శ్రద్ధ వహించండి.

ఉపయోగించిన శీతలీకరణ నీటి శుభ్రత మరియు పరికరాల ఆపరేషన్ సమయంలో సంభవించే దుమ్ము కాథోడ్ కూలింగ్ వాటర్ ట్యాంక్‌లో జమ అవుతాయి కాబట్టి, లక్ష్యాన్ని వ్యవస్థాపించేటప్పుడు కాథోడ్ కూలింగ్ వాటర్ ట్యాంక్‌ను తనిఖీ చేసి శుభ్రం చేయడం అవసరం. శీతలీకరణ నీటి ప్రసరణ మరియు ఇన్లెట్ మరియు అవుట్‌లెట్ నిరోధించబడవు.

కొన్ని కాథోడ్‌లు యానోడ్‌తో చిన్న ఖాళీని కలిగి ఉండేలా ప్లాన్ చేయబడ్డాయి, కాబట్టి లక్ష్యాన్ని ఇన్‌స్టాల్ చేసేటప్పుడు, కాథోడ్ మరియు యానోడ్ మధ్య టచ్ లేదా కండక్టర్ లేదని నిర్ధారించుకోవడం అవసరం, లేకుంటే షార్ట్ సర్క్యూట్ జరుగుతుంది.

లక్ష్యాన్ని సరిగ్గా ఎలా ఆపరేట్ చేయాలనే సమాచారం కోసం పరికరాల ఆపరేటర్ యొక్క మాన్యువల్‌ని చూడండి. వినియోగదారు మాన్యువల్‌లో అటువంటి సమాచారం లేనట్లయితే, దయచేసి Gaozhan మెటల్ అందించిన సంబంధిత సూచనల ప్రకారం పరికరాన్ని ఇన్‌స్టాల్ చేయడానికి ప్రయత్నించండి. టార్గెట్ ఫిక్చర్‌ను బిగించేటప్పుడు, మొదట ఒక బోల్ట్‌ను చేతితో బిగించి, ఆపై చేతితో వికర్ణంపై మరొక బోల్ట్‌ను బిగించండి. పరికరంలోని అన్ని బోల్ట్‌లు బిగించే వరకు దీన్ని పునరావృతం చేయండి, ఆపై ఏదైనా బిగించండి.

4, షార్ట్ సర్క్యూట్ మరియు బిగుతు తనిఖీ

లక్ష్య పరికరం పూర్తయిన తర్వాత, మొత్తం కాథోడ్ యొక్క షార్ట్ సర్క్యూట్ మరియు బిగుతును తనిఖీ చేయడం అవసరం,

ప్రతిఘటన మీటర్ ఉపయోగించి కాథోడ్‌లో షార్ట్ సర్క్యూట్ ఉందో లేదో నిర్ణయించడానికి ఇది ప్రతిపాదించబడింది

వరుస వివక్ష. కాథోడ్‌లో షార్ట్ సర్క్యూట్ లేదని నిర్ధారించిన తర్వాత, లీక్ డిటెక్షన్‌ను నిర్వహించవచ్చు మరియు నీటి లీకేజీ ఉందో లేదో నిర్ధారించడానికి కాథోడ్‌లోకి నీటిని ప్రవేశపెట్టవచ్చు.

5, టార్గెట్ ప్రీ స్పుట్టరింగ్

టార్గెట్ ప్రీ స్పుట్టరింగ్ స్వచ్ఛమైన ఆర్గాన్ స్పుట్టరింగ్‌ను సమర్థిస్తుంది, ఇది లక్ష్యం యొక్క ఉపరితలాన్ని శుభ్రపరుస్తుంది. లక్ష్యం ముందుగా చిందరవందరగా ఉన్నప్పుడు, స్పుట్టరింగ్ శక్తిని నెమ్మదిగా పెంచాలని సూచించబడింది మరియు సిరామిక్ లక్ష్యం యొక్క శక్తి పెరుగుదల రేటు 1.5WH / cm2. మెటల్ టార్గెట్ యొక్క ప్రీ స్పుట్టరింగ్ వేగం సిరామిక్ టార్గెట్ బ్లాక్ కంటే ఎక్కువగా ఉంటుంది మరియు సహేతుకమైన శక్తి పెరుగుదల రేటు 1.5WH / cm2.

ప్రీ స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో, మేము లక్ష్యం యొక్క ఆర్సింగ్‌ను తనిఖీ చేయాలి. ముందుగా స్పుట్టరింగ్ సమయం సాధారణంగా 10 నిమిషాలు. ఆర్సింగ్ దృగ్విషయం లేనట్లయితే, నిరంతరంగా స్పుట్టరింగ్ శక్తిని పెంచండి

సెట్ శక్తికి. అనుభవం ప్రకారం, మెటల్ లక్ష్యం యొక్క ఆమోదయోగ్యమైన Z అధిక స్పుట్టరింగ్ శక్తి

సిరామిక్ లక్ష్యం కోసం 25వాట్స్ / సెం2, 10వాట్స్ / సెం2. దయచేసి వినియోగదారు సిస్టమ్ ఆపరేషన్ మాన్యువల్‌లో స్పుట్టరింగ్ సమయంలో వాక్యూమ్ ఛాంబర్ ప్రెజర్ యొక్క సెట్టింగ్ ఆధారం మరియు అనుభవాన్ని చూడండి. సాధారణంగా, శీతలీకరణ నీటి అవుట్‌లెట్ వద్ద నీటి ఉష్ణోగ్రత 35 ℃ కంటే తక్కువగా ఉండేలా చూసుకోవాలి, అయితే Z శీతలీకరణ నీటి ప్రసరణ వ్యవస్థ ప్రభావవంతంగా పని చేస్తుందని నిర్ధారించుకోవడం ముఖ్యం.

సూపర్ కూలింగ్ వాటర్ యొక్క వేగవంతమైన ప్రసరణ వేడిని తీసివేస్తుంది, ఇది అధిక శక్తితో నిరంతర స్పుట్టరింగ్‌ను నిర్ధారించడానికి ఒక ముఖ్యమైన హామీ. లోహ లక్ష్యాల కోసం, శీతలీకరణ నీటి ప్రవాహం సాధారణంగా సూచించబడుతుంది

20lpm నీటి పీడనం సుమారు 5gmp; సిరామిక్ లక్ష్యాల కోసం, నీటి ప్రవాహం 30lpm మరియు నీటి పీడనం 9gmp అని సాధారణంగా సూచించబడుతుంది.

6, లక్ష్య నిర్వహణ

స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో అపరిశుభ్రమైన కుహరం వల్ల షార్ట్ సర్క్యూట్ మరియు ఆర్సింగ్‌ను నివారించడానికి, స్పుట్టరింగ్ ట్రాక్ మధ్యలో మరియు రెండు వైపులా పేరుకుపోయిన స్పుటర్‌ను దశలవారీగా తొలగించడం అవసరం,

ఇది z అధిక శక్తి సాంద్రత వద్ద నిరంతరం చిమ్మేందుకు వినియోగదారులకు సహాయపడుతుంది

7, లక్ష్య నిల్వ

Gaozhan మెటల్ అందించిన లక్ష్యాలు డబుల్-లేయర్ వాక్యూమ్ ప్లాస్టిక్ బ్యాగ్‌లలో ప్యాక్ చేయబడ్డాయి. వినియోగదారులు లక్ష్యాలను మెటల్ లేదా సిరామిక్ వాక్యూమ్ ప్యాకేజింగ్‌లో ఉంచాలని మేము సూచిస్తున్నాము. ప్రత్యేకించి, బంధం నాణ్యతను ప్రభావితం చేయకుండా బంధన పొర యొక్క ఆక్సీకరణను నిరోధించడానికి వాక్యూమ్ పరిస్థితులలో బంధ లక్ష్యాలను నిల్వ చేయాలి. మెటల్ లక్ష్యాల ప్యాకేజింగ్‌కు సంబంధించి, Z ను శుభ్రమైన ప్లాస్టిక్ సంచుల్లో ప్యాక్ చేయాలని మేము సూచిస్తున్నాము