లక్ష్య పదార్థం యొక్క స్పుట్టరింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు

మనకు ఇప్పుడు లక్ష్యం గురించి బాగా తెలిసి ఉండాలి, ఇప్పుడు టార్గెట్ మార్కెట్ కూడా పెరుగుతోంది, RSM నుండి ఎడిటర్ షేర్ చేసిన స్పుట్టరింగ్ టార్గెట్ యొక్క ప్రధాన పనితీరు క్రిందిది

　　స్వచ్ఛత

లక్ష్య పదార్థం యొక్క స్వచ్ఛత ప్రధాన పనితీరు సూచికలలో ఒకటి, ఎందుకంటే లక్ష్య పదార్థం యొక్క స్వచ్ఛత సన్నని చలనచిత్రం యొక్క పనితీరుపై గొప్ప ప్రభావాన్ని చూపుతుంది. అయినప్పటికీ, ఆచరణాత్మక అనువర్తనంలో, లక్ష్య పదార్థాల స్వచ్ఛత అవసరాలు ఒకేలా ఉండవు. ఉదాహరణకు, మైక్రోఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క వేగవంతమైన అభివృద్ధితో, సిలికాన్ చిప్ పరిమాణం 6 ", 8" నుండి 12″ వరకు అభివృద్ధి చేయబడింది మరియు వైరింగ్ వెడల్పు 0.5um నుండి 0.25um,0.18um లేదా 0.13um వరకు తగ్గించబడింది. గతంలో, 99.995% లక్ష్య పదార్థం యొక్క స్వచ్ఛత 0.35umIC ప్రాసెస్ అవసరాలను తీర్చగలదు. 0.18um లైన్‌ల తయారీకి లక్ష్య పదార్థం యొక్క స్వచ్ఛత 99.999% లేదా 99.9999%.

　　అశుద్ధ కంటెంట్

లక్ష్య ఘనపదార్థంలోని మలినాలు మరియు రంధ్రాలలోని ఆక్సిజన్ మరియు నీటి ఆవిరి చలనచిత్ర నిక్షేపణకు ప్రధాన కాలుష్య వనరులు. విభిన్న ప్రయోజనాల కోసం టార్గెట్ మెటీరియల్‌లు వేర్వేరు అశుద్ధ కంటెంట్ కోసం వేర్వేరు అవసరాలను కలిగి ఉంటాయి. ఉదాహరణకు, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించే స్వచ్ఛమైన అల్యూమినియం మరియు అల్యూమినియం మిశ్రమం లక్ష్యాలు క్షార లోహాలు మరియు రేడియోధార్మిక మూలకాల యొక్క కంటెంట్ కోసం ప్రత్యేక అవసరాలు కలిగి ఉంటాయి.

　　సాంద్రత

లక్ష్యం ఘనంలో సచ్ఛిద్రతను తగ్గించడానికి మరియు స్పుట్టరింగ్ ఫిల్మ్ పనితీరును మెరుగుపరచడానికి, లక్ష్యం యొక్క అధిక సాంద్రత సాధారణంగా అవసరం. లక్ష్యం యొక్క సాంద్రత స్పుట్టరింగ్ రేటును మాత్రమే కాకుండా ఫిల్మ్ యొక్క ఎలక్ట్రికల్ మరియు ఆప్టికల్ లక్షణాలను కూడా ప్రభావితం చేస్తుంది. టార్గెట్ డెన్సిటీ ఎంత ఎక్కువగా ఉంటే సినిమా పనితీరు అంత మెరుగ్గా ఉంటుంది. అదనంగా, లక్ష్యం యొక్క సాంద్రత మరియు బలాన్ని పెంచడం వలన లక్ష్యాన్ని స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియలో ఉష్ణ ఒత్తిడిని తట్టుకునేలా చేస్తుంది. లక్ష్యం యొక్క కీలక పనితీరు సూచికలలో సాంద్రత కూడా ఒకటి.

　　ధాన్యం పరిమాణం మరియు ధాన్యం పరిమాణం పంపిణీ

లక్ష్యం సాధారణంగా మైక్రోమీటర్ నుండి మిల్లీమీటర్ వరకు ధాన్యం పరిమాణంతో పాలీక్రిస్టలైన్‌గా ఉంటుంది. అదే లక్ష్యం కోసం, చిన్న ధాన్యాలతో లక్ష్యం యొక్క స్పుట్టరింగ్ రేటు పెద్ద ధాన్యాల లక్ష్యం కంటే వేగంగా ఉంటుంది. చిన్న ధాన్యం పరిమాణం తేడాతో (యూనిఫాం పంపిణీ) లక్ష్యాన్ని చిమ్మడం ద్వారా డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్‌ల మందం పంపిణీ మరింత ఏకరీతిగా ఉంటుంది.