டங்ஸ்டன் சிலிசைட் துண்டுகள்

டங்ஸ்டன் சிலிசைடு WSi2 மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ், பாலிசிலிகான் கம்பிகளில் ஷண்டிங், ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு பூச்சு மற்றும் எதிர்ப்பு கம்பி பூச்சு ஆகியவற்றில் மின்சார அதிர்ச்சி பொருளாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. டங்ஸ்டன் சிலிசைடு மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸில் ஒரு தொடர்பு பொருளாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது 60-80μΩcm எதிர்ப்புத் திறன் கொண்டது. இது 1000 டிகிரி செல்சியஸ் வெப்பநிலையில் உருவாகிறது. பாலிசிலிகான் கோடுகளின் கடத்துத்திறனை அதிகரிக்கவும் சமிக்ஞை வேகத்தை அதிகரிக்கவும் இது வழக்கமாக பயன்படுத்தப்படுகிறது. டங்ஸ்டன் சிலிசைடு அடுக்கு நீராவி படிவு போன்ற இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் தயாரிக்கப்படலாம். மூலப்பொருளான வாயுவாக மோனோசிலேன் அல்லது டிக்ளோரோசிலேன் மற்றும் டங்ஸ்டன் ஹெக்ஸாபுளோரைடு ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்தவும். டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படம் ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் அல்லாதது மற்றும் அனீலிங் அதிக கடத்தும் ஸ்டோச்சியோமெட்ரிக் வடிவமாக மாற்றப்பட வேண்டும்.

டங்ஸ்டன் சிலிசைடு முந்தைய டங்ஸ்டன் படத்தை மாற்றும். டங்ஸ்டன் சிலிசைடு சிலிக்கான் மற்றும் பிற உலோகங்களுக்கு இடையே ஒரு தடுப்பு அடுக்காகவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

டங்ஸ்டன் சிலிசைடு மைக்ரோ எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் அமைப்புகளிலும் மிகவும் மதிப்புமிக்கது, அவற்றில் டங்ஸ்டன் சிலிசைடு முக்கியமாக மைக்ரோ சர்க்யூட்களை தயாரிப்பதற்கு மெல்லிய படமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இந்த நோக்கத்திற்காக, டங்ஸ்டன் சிலிசைடு படத்தை பிளாஸ்மா-எட்ச் செய்ய முடியும், எடுத்துக்காட்டாக, சிலிசைடு.

ரிச் ஸ்பெஷல் மெட்டீரியல்ஸ் ஸ்பட்டரிங் டார்கெட் தயாரிப்பில் நிபுணத்துவம் பெற்றது மற்றும் டங்ஸ்டன் சிலிசைடை உற்பத்தி செய்யக்கூடியதுதுண்டுகள்வாடிக்கையாளர்களின் விவரக்குறிப்புகளின்படி. மேலும் தகவலுக்கு, எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.