இலக்கின் செயல்திறன் தேவைகள் என்ன

இலக்கு பரந்த சந்தை, பயன்பாட்டு பகுதி மற்றும் எதிர்காலத்தில் பெரிய வளர்ச்சியைக் கொண்டுள்ளது. இலக்கு செயல்பாடுகளை நீங்கள் நன்கு புரிந்து கொள்ள உதவுவதற்காக, இங்கே கீழே உள்ள RSM பொறியாளர் இலக்கின் முக்கிய செயல்பாட்டுத் தேவைகளை சுருக்கமாக அறிமுகப்படுத்துவார்.

தூய்மை: இலக்கின் முக்கிய செயல்பாட்டு குறிகாட்டிகளில் தூய்மையும் ஒன்றாகும், ஏனெனில் இலக்கின் தூய்மை படத்தின் செயல்பாட்டில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. இருப்பினும், நடைமுறை பயன்பாட்டில், இலக்கின் தூய்மைத் தேவைகளும் வேறுபட்டவை. எடுத்துக்காட்டாக, மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்துறையின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், சிலிக்கான் வேஃபர் அளவு 6 “8″ முதல் 12” வரை விரிவடைகிறது, மேலும் வயரிங் அகலம் 0.5um இலிருந்து 0.25um, 0.18um அல்லது 0.13um ஆகக் குறைக்கப்படுகிறது. முன்னதாக, 99.995% இலக்கு தூய்மையானது 0.35umic இன் செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும், அதே சமயம் 0.18um வரிகளைத் தயாரிப்பதற்கு 99.999% அல்லது இலக்கு தூய்மையின் 99.9999% தேவைப்படுகிறது.

தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்: இலக்கு திடப்பொருட்களில் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்றும் துளைகளில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவி ஆகியவை டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் முக்கிய மாசு ஆதாரங்களாகும். வெவ்வேறு நோக்கங்களுக்கான இலக்குகள் வெவ்வேறு தூய்மையற்ற உள்ளடக்கங்களுக்கு வெவ்வேறு தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் தூய அலுமினியம் மற்றும் அலுமினிய கலவை இலக்குகள் கார உலோக உள்ளடக்கம் மற்றும் கதிரியக்க உறுப்பு உள்ளடக்கத்திற்கு சிறப்புத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன.

அடர்த்தி: இலக்கு திடப்பொருளில் உள்ள துளைகளைக் குறைப்பதற்கும், ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிமின் செயல்பாட்டை மேம்படுத்துவதற்கும், இலக்கு பொதுவாக அதிக அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். இலக்கின் அடர்த்தி ஸ்பட்டரிங் வீதத்தை மட்டும் பாதிக்காது, ஆனால் படத்தின் மின் மற்றும் ஒளியியல் செயல்பாடுகளையும் பாதிக்கிறது. அதிக இலக்கு அடர்த்தி, படத்தின் செயல்பாடு சிறப்பாக இருக்கும். கூடுதலாக, இலக்கின் அடர்த்தி மற்றும் வலிமை மேம்படுத்தப்படுகிறது, இதனால் இலக்கு ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டில் வெப்ப அழுத்தத்தை சிறப்பாக ஏற்றுக்கொள்ள முடியும். இலக்கின் முக்கிய செயல்பாட்டு குறிகாட்டிகளில் அடர்த்தியும் ஒன்றாகும்.