ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளுக்கான மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கோட்பாடுகள்

பல பயனர்கள் ஸ்பட்டரிங் டார்கெட்டின் தயாரிப்பு பற்றி கேள்விப்பட்டிருக்க வேண்டும், ஆனால் ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் கொள்கை ஒப்பீட்டளவில் அறிமுகமில்லாததாக இருக்க வேண்டும். இப்போது, ​​ஆசிரியர்ரிச் ஸ்பெஷல் மெட்டீரியல்(RSM) ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் கொள்கைகளைப் பகிர்ந்து கொள்கிறது.

ஒரு ஆர்த்தோகனல் காந்தப்புலம் மற்றும் மின்சார புலம் சிதறிய இலக்கு மின்முனை (கேத்தோடு) மற்றும் அனோடிற்கு இடையில் சேர்க்கப்படுகிறது, தேவையான மந்த வாயு (பொதுவாக ஆர் வாயு) உயர் வெற்றிட அறைக்குள் நிரப்பப்படுகிறது, நிரந்தர காந்தம் 250 ~ 350 காஸ் காந்தப்புலத்தை உருவாக்குகிறது. இலக்கு தரவுகளின் மேற்பரப்பு மற்றும் ஆர்த்தோகனல் மின்காந்த புலம் உயர் மின்னழுத்த மின்சார புலத்துடன் உருவாகிறது.

மின்சார புலத்தின் விளைவின் கீழ், Ar வாயு நேர்மறை அயனிகள் மற்றும் எலக்ட்ரான்களாக அயனியாக்கம் செய்யப்படுகிறது. ஒரு குறிப்பிட்ட எதிர்மறை உயர் மின்னழுத்தம் இலக்கில் சேர்க்கப்படுகிறது. இலக்கு துருவத்திலிருந்து உமிழப்படும் எலக்ட்ரான்களில் காந்தப்புலத்தின் விளைவு மற்றும் வேலை செய்யும் வாயுவின் அயனியாக்கம் நிகழ்தகவு அதிகரிக்கிறது, இது கேத்தோடிற்கு அருகில் அதிக அடர்த்தி கொண்ட பிளாஸ்மாவை உருவாக்குகிறது. லோரென்ட்ஸ் விசையின் விளைவின் கீழ், Ar அயனிகள் இலக்கு மேற்பரப்பில் முடுக்கி, இலக்கு மேற்பரப்பில் மிக அதிக வேகத்தில் குண்டுகளை வீசுகின்றன, இலக்கில் சிதறிய அணுக்கள் வேகத்தை மாற்றும் கொள்கையைப் பின்பற்றுகின்றன மற்றும் அதிக இயக்க ஆற்றலுடன் இலக்கு மேற்பரப்பில் இருந்து அடி மூலக்கூறுக்கு பறக்கின்றன. படங்களை டெபாசிட் செய்ய.

Magnetron sputtering பொதுவாக இரண்டு வகைகளாகப் பிரிக்கப்படுகிறது: Tributary sputtering மற்றும் RF sputtering. துணை நதி ஸ்பட்டரிங் உபகரணங்களின் கொள்கை எளிதானது, மேலும் உலோகத்தை தெளிக்கும் போது அதன் வீதமும் வேகமாக இருக்கும். RF sputtering பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. கடத்தும் பொருட்களைத் தூவுவதுடன், கடத்தாத பொருட்களையும் தூவலாம். அதே நேரத்தில், இது ஆக்சைடுகள், நைட்ரைடுகள், கார்பைடுகள் மற்றும் பிற சேர்மங்களின் பொருட்களைத் தயாரிக்க வினைத்திறன் ஸ்பட்டரிங் நடத்துகிறது. RF அதிர்வெண் அதிகரித்தால், அது மைக்ரோவேவ் பிளாஸ்மா ஸ்பட்டரிங் ஆகிவிடும். இப்போது, ​​எலக்ட்ரான் சைக்ளோட்ரான் ரெசோனன்ஸ் (ECR) மைக்ரோவேவ் பிளாஸ்மா ஸ்பட்டரிங் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.