பயன்பாட்டின் போது இலக்கு பொருட்களை தெளிப்பதற்கான தேவைகள்

தூய்மை மற்றும் துகள் அளவு மட்டுமல்லாமல், சீரான துகள் அளவிற்கும் பயன்படுத்தப்படும் போது, ​​தெளிக்கப்பட்ட இலக்கு பொருட்கள் அதிக தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. இந்த உயர் தேவைகள், sputtering இலக்கு பொருட்களை பயன்படுத்தும் போது அதிக கவனம் செலுத்த வேண்டும்.

1. தெளித்தல் தயாரிப்பு

வெற்றிட அறையின் தூய்மையை பராமரிப்பது மிகவும் முக்கியம், குறிப்பாக ஸ்பட்டரிங் அமைப்பு. லூப்ரிகண்டுகள், தூசி மற்றும் முந்தைய பூச்சுகளின் எச்சங்கள், நீர் போன்ற மாசுபடுத்திகளைக் குவித்து, வெற்றிடத்தை நேரடியாகப் பாதித்து, படம் உருவாகும் தோல்வியின் வாய்ப்பை அதிகரிக்கும். ஷார்ட் சர்க்யூட்கள், டார்கெட் ஆர்சிங், கரடுமுரடான படம்-உருவாக்கும் மேற்பரப்புகள் மற்றும் அதிகப்படியான இரசாயன அசுத்தங்கள் ஆகியவை பொதுவாக அசுத்தமான ஸ்பட்டரிங் அறைகள், துப்பாக்கிகள் மற்றும் இலக்குகளால் ஏற்படுகின்றன.

பூச்சுகளின் கலவை பண்புகளை பராமரிக்க, ஸ்பட்டரிங் வாயு (ஆர்கான் அல்லது ஆக்ஸிஜன்) சுத்தமாகவும் உலர்ந்ததாகவும் இருக்க வேண்டும். ஸ்பட்டரிங் சேம்பரில் அடி மூலக்கூறை நிறுவிய பிறகு, செயல்முறைக்குத் தேவையான வெற்றிட அளவை அடைய காற்றைப் பிரித்தெடுக்க வேண்டும்.

2. இலக்கு சுத்தம்

இலக்கு சுத்தம் செய்வதன் நோக்கம், இலக்கின் மேற்பரப்பில் இருக்கும் தூசி அல்லது அழுக்குகளை அகற்றுவதாகும்.

3. இலக்கு நிறுவல்

இலக்கு பொருளின் நிறுவல் செயல்பாட்டின் போது கவனம் செலுத்த வேண்டிய மிக முக்கியமான விஷயம், இலக்கு பொருள் மற்றும் ஸ்பட்டரிங் துப்பாக்கியின் குளிரூட்டும் சுவருக்கு இடையே ஒரு நல்ல வெப்ப இணைப்பை உறுதி செய்வதாகும். குளிரூட்டும் சுவர் அல்லது பின் தகடு கடுமையாக சிதைந்திருந்தால், இலக்குப் பொருளை நிறுவும் போது விரிசல் அல்லது வளைவு ஏற்படலாம். பின் இலக்கிலிருந்து இலக்குப் பொருளுக்கு வெப்பப் பரிமாற்றம் பெரிதும் பாதிக்கப்படும், இதன் விளைவாக ஸ்பட்டரிங் செய்யும் போது வெப்பத்தைச் சிதறடிக்க இயலாமை, இறுதியில் இலக்குப் பொருளின் விரிசல் அல்லது விலகலுக்கு வழிவகுக்கும்.

4. குறுகிய சுற்று மற்றும் சீல் ஆய்வு

இலக்கு பொருளின் நிறுவலுக்குப் பிறகு, முழு கேத்தோடையும் குறுகிய சுற்று மற்றும் சீல் சரிபார்க்க வேண்டியது அவசியம். கத்தோட் குறுகிய சுற்று உள்ளதா என்பதைத் தீர்மானிக்க ஓம்மீட்டர் மற்றும் மெகோஹம்மீட்டரைப் பயன்படுத்த பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. கேத்தோடில் ஷார்ட் சர்க்யூட் இல்லை என்பதை உறுதிசெய்த பிறகு, கசிவு உள்ளதா என்பதை அறிய கேத்தோடில் தண்ணீரை செலுத்துவதன் மூலம் கசிவு கண்டறிதல் மேற்கொள்ளப்படும்.

5. இலக்கு பொருள் முன் sputtering

இலக்குப் பொருளின் மேற்பரப்பைச் சுத்தம் செய்யக்கூடிய, இலக்குப் பொருளை முன்கூட்டியே தெளிப்பதற்கு, தூய ஆர்கான் வாயுவைப் பயன்படுத்த பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. இலக்கு பொருளுக்கு முன் ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டின் போது மெதுவாக ஸ்பட்டரிங் சக்தியை அதிகரிக்க பரிந்துரைக்கப்படுகிறது. பீங்கான் இலக்கு பொருளின் சக்தி