இலக்குப் பொருளைத் தெளிப்பதன் முக்கிய பண்புகள்

நாம் இப்போது இலக்கை நன்கு அறிந்திருக்க வேண்டும், இப்போது இலக்கு சந்தையும் அதிகரித்து வருகிறது, RSM இலிருந்து எடிட்டரால் பகிரப்பட்ட ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் முக்கிய செயல்திறன் பின்வருமாறு.

　　தூய்மை

இலக்கு பொருளின் தூய்மை முக்கிய செயல்திறன் குறியீடுகளில் ஒன்றாகும், ஏனெனில் இலக்கு பொருளின் தூய்மை மெல்லிய படத்தின் செயல்திறனில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. இருப்பினும், நடைமுறை பயன்பாட்டில், இலக்கு பொருட்களின் தூய்மை தேவைகள் ஒரே மாதிரியாக இல்லை. எடுத்துக்காட்டாக, மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், சிலிக்கான் சிப் அளவு 6 ", 8 "இலிருந்து 12″ வரை உருவாக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் வயரிங் அகலம் 0.5um இலிருந்து 0.25um,0.18um அல்லது 0.13um ஆகக் குறைக்கப்பட்டுள்ளது. முன்னதாக, 99.995% இலக்கு பொருளின் தூய்மையானது 0.35umIC இன் செயல்முறைத் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும். 0.18um கோடுகளைத் தயாரிப்பதற்கு இலக்கு பொருளின் தூய்மை 99.999% அல்லது 99.9999% ஆகும்.

　　தூய்மையற்ற உள்ளடக்கம்

இலக்கு திடப்பொருளில் உள்ள அசுத்தங்கள் மற்றும் துளைகளில் உள்ள ஆக்ஸிஜன் மற்றும் நீராவி ஆகியவை படம் படிவத்தின் முக்கிய மாசு ஆதாரங்களாகும். வெவ்வேறு நோக்கங்களுக்கான இலக்கு பொருட்கள் வெவ்வேறு தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்திற்கு வெவ்வேறு தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன. எடுத்துக்காட்டாக, செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்படுத்தப்படும் தூய அலுமினியம் மற்றும் அலுமினிய கலவை இலக்குகள் கார உலோகங்கள் மற்றும் கதிரியக்க கூறுகளின் உள்ளடக்கத்திற்கு சிறப்புத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளன.

　　அடர்த்தி

இலக்கு திடப்பொருளில் உள்ள போரோசிட்டியைக் குறைப்பதற்கும், ஸ்பட்டரிங் ஃபிலிமின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கும், இலக்கின் அதிக அடர்த்தி பொதுவாக தேவைப்படுகிறது. இலக்கின் அடர்த்தி ஸ்பட்டரிங் வீதத்தை மட்டுமல்ல, படத்தின் மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளையும் பாதிக்கிறது. அதிக இலக்கு அடர்த்தி, சிறந்த திரைப்பட செயல்திறன். கூடுதலாக, இலக்கின் அடர்த்தி மற்றும் வலிமையை அதிகரிப்பது இலக்கை ஸ்பட்டரிங் செயல்பாட்டில் வெப்ப அழுத்தத்தை சிறப்பாக தாங்குகிறது. இலக்கின் முக்கிய செயல்திறன் குறியீடுகளில் அடர்த்தியும் ஒன்றாகும்.

　　தானிய அளவு மற்றும் தானிய அளவு விநியோகம்

இலக்கு பொதுவாக மைக்ரோமீட்டர் முதல் மில்லிமீட்டர் வரை தானிய அளவு கொண்ட பாலிகிரிஸ்டலின் ஆகும். அதே இலக்குக்கு, பெரிய தானியங்களைக் கொண்ட இலக்கை விட சிறிய தானியங்களைக் கொண்ட இலக்கின் ஸ்பட்டரிங் வீதம் வேகமாக இருக்கும். சிறிய தானிய அளவு வித்தியாசத்துடன் (சீரான விநியோகம்) இலக்கைத் தெளிப்பதன் மூலம் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட படங்களின் தடிமன் விநியோகம் மிகவும் சீரானது.