உயர் தூய்மை Yttrium இலக்கு — PVD பூச்சு ஒரு முக்கிய உறுப்பினர்

யட்ரியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்கு என்றால் என்ன?
Yttrium இலக்கு முக்கியமாக உலோக உறுப்பு yttrium sputtering இலக்கு மூலம் உற்பத்தி செய்யப்படுகிறது, ஏனெனில் ytrium உறுப்பு (Y) அரிதான பூமி உலோக உறுப்புகளில் ஒன்றாகும், எனவே ytrium இலக்கு அரிதான பூமி இலக்கு என்றும் அழைக்கப்படுகிறது.
Yttrium இலக்குகள் முக்கியமாக sputtering படிவு தொழில்நுட்பத்தில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஸ்பட்டரிங் படிவு தொழில்நுட்பம் என்பது இயற்பியல் நீராவி படிவு (PVD) தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்றாகும், மேலும் இது மின்னணு மெல்லிய படப் பொருட்களை தயாரிப்பதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பங்களில் ஒன்றாகும். இலக்கின் மேற்பரப்பை உயர் ஆற்றல் துகள்கள் (அயனிகள் அல்லது எலக்ட்ரான் கற்றைகள் போன்றவை) கொண்டு குண்டுவீசுவதன் மூலம், இலக்கு அணுக்கள் அல்லது மூலக்கூறுகள் வெளியேற்றப்பட்டு, விரும்பிய படம் அல்லது பூச்சுகளை உருவாக்க மற்றொரு அடி மூலக்கூறில் வைக்கப்படுகின்றன.
யட்ரியம் இலக்கு என்பது PVD தொழில்நுட்பத்தால் தயாரிக்கப்பட்ட விரும்பிய படத்தின் மூலப்பொருள் அல்லது பூச்சு ஆகும்.

என்னதிytrium sputtering இலக்கு பயன்படுத்தப்பட்டது?

Yttrium இலக்குகள் பல துறைகளில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன, பின்வரும் முக்கிய பயன்பாட்டு பகுதிகள்:

1. செமிகண்டக்டர் பொருட்கள்: குறைக்கடத்தி துறையில், யட்ரியம் இலக்குகள் குறைக்கடத்தி பொருட்கள் அல்லது டிரான்சிஸ்டர்கள், ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகள் போன்ற மின்னணு கூறுகளில் குறிப்பிட்ட அடுக்குகளை உருவாக்க பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
2. ஒளியியல் பூச்சு: ஒளியியல் துறையில், அதிக ஒளிவிலகல் குறியீடு மற்றும் குறைந்த சிதறல் வீதத்துடன் கூடிய ஒளியியல் பூச்சுகளைத் தயாரிக்க யட்ரியம் இலக்குகள் பயன்படுத்தப்படலாம், இவை லேசர்கள் மற்றும் ஆப்டிகல் வடிகட்டிகள் போன்ற ஒளியியல் சாதனங்களின் உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கின்றன.
3. மெல்லிய படப் படிவு: மெல்லிய படப் படிவு தொழில்நுட்பத்தில் யட்ரியம் இலக்கு முக்கிய இடத்தைப் பிடித்துள்ளது, மேலும் அதன் உயர் தூய்மை, நல்ல நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் குறிப்பிட்ட இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகள் பல்வேறு மெல்லிய படப் பொருட்களைத் தயாரிப்பதற்கு சிறந்த தேர்வாக அமைகிறது. இந்த மெல்லிய படப் பொருட்கள் ஆப்டிகல், எலக்ட்ரானிக், காந்தம் மற்றும் பிற துறைகளில் பரவலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன.
4. மருத்துவத் துறை: எக்ஸ்-கதிர்கள் மற்றும் காமா கதிர்களின் ஆதாரம், நோயறிதல் இமேஜிங் (CT ஸ்கேன் போன்றவை) மற்றும் கதிர்வீச்சு சிகிச்சை போன்ற கதிர்வீச்சு மருத்துவத்தில் யட்ரியம் இலக்குகள் முக்கியமான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளன. கூடுதலாக, யட்ரியத்தின் குறிப்பிட்ட ஐசோடோப்புகள் (ஒய்-90 போன்றவை) ரேடியோஃபார்மாசூட்டிகல்களில் குறிப்பிட்ட புற்றுநோய்களின் இலக்கு சிகிச்சைக்காகவும் பயன்படுத்தப்படலாம்.
5. அணு ஆற்றல் தொழில்: அணு உலைகளில், யட்ரியம் இலக்குகள் அவற்றின் சிறந்த நியூட்ரான் உறிஞ்சுதல் திறன் காரணமாக அணுசக்தி எதிர்வினைகளின் வேகம் மற்றும் நிலைத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்த நெம்புகோல் பொருட்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

குறிப்பு: வெவ்வேறு பயன்பாட்டுப் புலங்களில் ytrium இலக்குகளின் செயல்திறன் தேவைகள் வேறுபட்டிருக்கலாம் என்பதால், குறிப்பிட்ட பயன்பாட்டில் உள்ள உண்மையான சூழ்நிலைக்கு ஏற்ப பொருத்தமான இலக்கைத் தேர்ந்தெடுக்க வேண்டும். (குறிப்பிட்ட தூய்மை, கலவை விகிதம், அளவு, வடிவம் போன்றவை, குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்டது.)

யட்ரியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளின் உற்பத்தி தொழில்நுட்பம்?

1. யட்ரியம் பவுடர் தயார் 2. HIP, அழுத்தி மோல்டிங் 3. உயர் வெப்பநிலை சின்டரிங் 4. அடுத்தடுத்த செயலாக்கம் (கட்டிங், பாலிஷிங் போன்றவை) 5. சுத்தம் செய்தல் மற்றும் பேக்கிங் செய்தல்

குறிப்பு:மேற்கூறிய அடிப்படை படிகளைத் தவிர, குறிப்பிட்ட தயாரிப்பு முறை மற்றும் பயன்பாட்டுத் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, யட்ரியம் ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் மற்ற படிகள் மற்றும் தொழில்நுட்பங்களான ஸ்பட்டரிங் முறை, வெற்றிட உருகும் முறை போன்றவற்றை உள்ளடக்கியிருக்கலாம். இந்த முறைகள் மேலும் சரிசெய்து மேம்படுத்த உதவுகின்றன. இலக்கு பொருளின் செயல்திறன் மற்றும் அமைப்பு.

உயர்தர ஸ்பட்டரிங் இலக்கை எவ்வாறு தேர்வு செய்வது?

உயர்தர ஸ்பட்டரிங் இலக்குகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதற்கான 7 முக்கிய காரணிகளை பின்வரும் பட்டியலிடுகிறது:

1.வணக்கம்gh தூய்மை

உயர்-தூய்மை இலக்குகள் சிறந்த பொருள் பண்புகள் மற்றும் அதிக நிலையான இயற்பியல் மற்றும் இரசாயன பண்புகள் உள்ளன, இது sputtering பூச்சுகளின் தரம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்ய அவசியம். பயன்பாட்டு சூழ்நிலைக்கு ஏற்ப குறிப்பிட்ட தூய்மை தேவைகள் தீர்மானிக்கப்பட வேண்டும், தேவையற்ற செலவுகளை அதிகரிக்காமல் இருக்க, சில எளிய பயன்பாட்டுக் காட்சிகள் அதி-உயர் தூய்மையைப் பின்பற்றத் தேவையில்லை. உங்களுக்கு எது பொருத்தமானதோ அதுவே சிறந்தது.

2.நிலைத்தன்மை

இலக்கின் ஸ்திரத்தன்மை சமமாக முக்கியமானது, இது பொருள் இழப்பு அல்லது செயல்திறன் ஏற்ற இறக்கங்களைத் தவிர்க்கலாம். எனவே, தேர்வில், ஒருவர் அந்த சிறப்பு சிகிச்சையைத் தேர்வு செய்கிறார் அல்லது தயாரிப்பின் நல்ல நிலைத்தன்மையைக் கொண்டிருக்கிறார்.

3.அளவு மற்றும் வடிவம்

வெவ்வேறு ஸ்பட்டரிங் செயல்முறைகள் மற்றும் உற்பத்தித் தேவைகளுக்கு ஏற்ப பூச்சு உபகரணங்களின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப ஸ்பட்டரிங் இலக்கின் அளவு மற்றும் வடிவம் தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். கருவிகளுடன் இலக்கு பொருத்தப்படுவதை உறுதிசெய்வது, ஸ்பட்டரிங் திறனை அதிகரிக்கிறது மற்றும் கழிவுகளை குறைக்கிறது.

4.அடர்த்தி

இலக்கு பொருளின் தரத்தை அளவிடுவதற்கான முக்கியமான குறிகாட்டிகளில் அடர்த்தி ஒன்றாகும். அதிக அடர்த்தி கொண்ட இலக்கு பொருள் சிறந்த sputtering விளைவை உறுதி செய்ய முடியும். தேர்ந்தெடுக்கும் போது, ​​நீங்கள் இலக்கின் அடர்த்தி தரவுக்கு கவனம் செலுத்த வேண்டும், மேலும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட தயாரிப்புகளை தேர்வு செய்ய முயற்சிக்கவும்.

5.செயலாக்க துல்லியம்

இலக்கின் செயலாக்க துல்லியமும் கருத்தில் கொள்ள வேண்டிய காரணிகளில் ஒன்றாகும். பொதுவாக, ஸ்பட்டரிங் செயல்முறையின் நிலைத்தன்மையையும் பூச்சு தரத்தின் சீரான தன்மையையும் உறுதிப்படுத்த, இலக்கின் செயலாக்க துல்லியம் ± 0.1 மிமீக்குள் இருக்க வேண்டும்.

6.சிறப்பு தேவைகள்

அதிக ஒளி பரிமாற்றத்தின் தேவை, இலக்கின் குறைந்த உறிஞ்சுதல் (ஆப்டிகல் பூச்சு) அல்லது அதிக கடத்துத்திறன், இலக்கின் உயர் நிலைத்தன்மை (எலக்ட்ரானிக் புலம்) போன்ற சில சிறப்பு பயன்பாட்டுக் காட்சிகளுக்கு, தொடர்புடைய இலக்கின் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப தேர்ந்தெடுக்கப்பட வேண்டும். வகை.

7.ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் அல்லது சப்ளையரைத் தேர்ந்தெடுக்கவும்.