மின்னணுவியல், காட்சி மற்றும் பிற துறைகளில் இலக்கு பொருள் பயன்பாடு

நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி, இலக்கு பொருள் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிப் போக்கு கீழ்நிலை பயன்பாட்டுத் துறையில் திரைப்படத் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிப் போக்குடன் நெருக்கமாக தொடர்புடையது. பயன்பாட்டுத் துறையில் திரைப்படத் தயாரிப்புகள் அல்லது கூறுகளின் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றத்துடன், இலக்கு தொழில்நுட்பமும் மாற வேண்டும். எடுத்துக்காட்டாக, Ic உற்பத்தியாளர்கள் சமீபத்தில் குறைந்த எதிர்ப்பாற்றல் கொண்ட செப்பு வயரிங் உருவாக்கத்தில் கவனம் செலுத்தியுள்ளனர், இது அடுத்த சில ஆண்டுகளில் அசல் அலுமினியப் படலத்தை கணிசமாக மாற்றும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது, எனவே தாமிர இலக்குகள் மற்றும் அவற்றின் தேவையான தடை இலக்குகளை உருவாக்குவது அவசரமாக இருக்கும்.

கூடுதலாக, சமீபத்திய ஆண்டுகளில், பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளே (FPD) பெரும்பாலும் கேத்தோடு-ரே குழாய் (CRT) அடிப்படையிலான கணினி காட்சி மற்றும் தொலைக்காட்சி சந்தையை மாற்றியுள்ளது. இது ITO இலக்குகளுக்கான தொழில்நுட்ப மற்றும் சந்தை தேவையை பெரிதும் அதிகரிக்கும். பின்னர் சேமிப்பு தொழில்நுட்பம் உள்ளது. அதிக அடர்த்தி, பெரிய திறன் கொண்ட ஹார்ட் டிரைவ்கள் மற்றும் அதிக அடர்த்தி அழிக்கக்கூடிய டிஸ்க்குகளுக்கான தேவை தொடர்ந்து அதிகரித்து வருகிறது. இவை அனைத்தும் பயன்பாட்டுத் துறையில் இலக்கு பொருட்களுக்கான தேவையில் மாற்றங்களுக்கு வழிவகுத்தன. பின்வருவனவற்றில், இலக்கின் முக்கிய பயன்பாட்டுப் புலங்கள் மற்றும் இந்தத் துறைகளில் இலக்கின் வளர்ச்சிப் போக்கு ஆகியவற்றை நாங்கள் அறிமுகப்படுத்துவோம்.

　　1. மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்

அனைத்து பயன்பாட்டுத் தொழில்களிலும், செமிகண்டக்டர் தொழிற்துறையானது இலக்கு ஸ்பட்டரிங் படங்களுக்கான மிகக் கடுமையான தரத் தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. 12 இன்ச் (300 எபிஸ்டாக்ஸிஸ்) சிலிக்கான் செதில்கள் இப்போது தயாரிக்கப்பட்டுள்ளன. ஒன்றோடொன்று இணைப்பின் அகலம் குறைகிறது. இலக்குப் பொருட்களுக்கான சிலிக்கான் வேஃபர் உற்பத்தியாளர்களின் தேவைகள் பெரிய அளவிலான, அதிக தூய்மை, குறைந்த பிரித்தெடுத்தல் மற்றும் நுண்ணிய தானியமாகும், இதற்கு இலக்கு பொருட்கள் சிறந்த நுண் கட்டமைப்பைக் கொண்டிருக்க வேண்டும். படிகத் துகள் விட்டம் மற்றும் இலக்குப் பொருளின் சீரான தன்மை ஆகியவை படப் படிவு வீதத்தைப் பாதிக்கும் முக்கிய காரணிகளாகக் கருதப்படுகின்றன.

அலுமினியத்துடன் ஒப்பிடும் போது, ​​தாமிரம் அதிக எலக்ட்ரோமொபிலிட்டி எதிர்ப்பு மற்றும் குறைந்த எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது, இது 0.25um கீழே உள்ள சப்மிக்ரான் வயரிங் மின்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய முடியும், ஆனால் இது மற்ற சிக்கல்களைக் கொண்டுவருகிறது: தாமிரம் மற்றும் கரிம நடுத்தர பொருட்களுக்கு இடையே குறைந்த ஒட்டுதல் வலிமை. மேலும், வினைபுரிவது எளிது, இது செப்பு ஒன்றோடொன்று அரிப்பு மற்றும் சிப்பின் பயன்பாட்டின் போது சுற்று உடைப்புக்கு வழிவகுக்கிறது. இந்த சிக்கலை தீர்க்க, செம்பு மற்றும் மின்கடத்தா அடுக்குக்கு இடையில் ஒரு தடுப்பு அடுக்கு அமைக்கப்பட வேண்டும்.

செப்பு ஒன்றோடொன்று இணைப்பின் தடை அடுக்கில் பயன்படுத்தப்படும் இலக்கு பொருட்கள் Ta, W, TaSi, WSi போன்றவை அடங்கும். ஆனால் Ta மற்றும் W ஆகியவை பயனற்ற உலோகங்கள். இதை உருவாக்குவது ஒப்பீட்டளவில் கடினம், மேலும் மாலிப்டினம் மற்றும் குரோமியம் போன்ற உலோகக் கலவைகள் மாற்றுப் பொருட்களாக ஆய்வு செய்யப்படுகின்றன.

　　2. காட்சிக்கு

பிளாட் பேனல் டிஸ்ப்ளே (FPD) பல ஆண்டுகளாக கேத்தோடு-ரே டியூப் (CRT) அடிப்படையிலான கணினி மானிட்டர் மற்றும் தொலைக்காட்சி சந்தையை பெரிதும் பாதித்துள்ளது, மேலும் ITO இலக்கு பொருட்களுக்கான தொழில்நுட்பம் மற்றும் சந்தை தேவையையும் அதிகரிக்கும். இன்று இரண்டு வகையான ITO இலக்குகள் உள்ளன. ஒன்று இண்டியம் ஆக்சைடு மற்றும் டின் ஆக்சைடு தூள் ஆகியவற்றின் நானோமீட்டர் நிலையை சின்டரிங் செய்த பிறகு பயன்படுத்துவது, மற்றொன்று இண்டியம் டின் அலாய் இலக்கைப் பயன்படுத்துவது. இண்டியம்-டின் அலாய் இலக்கில் டிசி ரியாக்டிவ் ஸ்பட்டரிங் மூலம் ஐடிஓ ஃபிலிம் உருவாக்கப்படலாம், ஆனால் இலக்கு மேற்பரப்பு ஆக்ஸிஜனேற்றம் மற்றும் ஸ்பட்டரிங் வீதத்தை பாதிக்கும், மேலும் பெரிய அளவிலான அலாய் இலக்கைப் பெறுவது கடினம்.

இப்போதெல்லாம், முதல் முறை பொதுவாக ஐடிஓ இலக்குப் பொருளைத் தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் வினையின் மூலம் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு ஆகும். இது வேகமான வைப்பு விகிதத்தைக் கொண்டுள்ளது. படத்தின் தடிமன் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்படலாம், கடத்துத்திறன் அதிகமாக உள்ளது, படத்தின் நிலைத்தன்மை நன்றாக உள்ளது, மேலும் அடி மூலக்கூறின் ஒட்டுதல் வலுவாக உள்ளது. ஆனால் இலக்கு பொருள் தயாரிப்பது கடினம், ஏனெனில் இண்டியம் ஆக்சைடு மற்றும் டின் ஆக்சைடு எளிதில் ஒன்றாக வடிகட்டப்படுவதில்லை. பொதுவாக, ZrO2, Bi2O3 மற்றும் CeO ஆகியவை சின்டரிங் சேர்க்கைகளாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்படுகின்றன, மேலும் கோட்பாட்டு மதிப்பில் 93%~98% அடர்த்தி கொண்ட இலக்குப் பொருளைப் பெறலாம். இந்த வழியில் உருவாக்கப்பட்ட ITO திரைப்படத்தின் செயல்திறன் சேர்க்கைகளுடன் ஒரு சிறந்த உறவைக் கொண்டுள்ளது.

அத்தகைய இலக்குப் பொருளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் பெறப்பட்ட ITO படத்தின் தடுப்பு எதிர்ப்புத் திறன் 8.1×10n-cm ஐ அடைகிறது, இது தூய ITO படத்தின் எதிர்ப்பிற்கு அருகில் உள்ளது. FPD மற்றும் கடத்தும் கண்ணாடியின் அளவு மிகவும் பெரியது, மேலும் கடத்தும் கண்ணாடியின் அகலம் 3133 மிமீ கூட அடையலாம். இலக்கு பொருட்களின் பயன்பாட்டை மேம்படுத்துவதற்காக, உருளை வடிவம் போன்ற பல்வேறு வடிவங்களைக் கொண்ட ITO இலக்கு பொருட்கள் உருவாக்கப்படுகின்றன. 2000 ஆம் ஆண்டில், தேசிய வளர்ச்சித் திட்டக் குழு மற்றும் அறிவியல் மற்றும் தொழில்நுட்ப அமைச்சகம் தற்போது வளர்ச்சிக்கு முன்னுரிமை அளிக்கப்பட்ட தகவல் தொழில்துறையின் முக்கிய பகுதிகளுக்கான வழிகாட்டுதல்களில் ITO பெரிய இலக்குகளை உள்ளடக்கியது.

　　3. சேமிப்பு பயன்பாடு

சேமிப்பக தொழில்நுட்பத்தைப் பொறுத்தவரை, அதிக அடர்த்தி மற்றும் பெரிய திறன் கொண்ட ஹார்ட் டிஸ்க்குகளின் வளர்ச்சிக்கு அதிக எண்ணிக்கையிலான மாபெரும் தயக்கத் திரைப்படப் பொருட்கள் தேவைப்படுகின்றன. CoF~Cu மல்டிலேயர் கலப்புத் திரைப்படம் என்பது மாபெரும் தயக்கத் திரைப்படத்தின் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் கட்டமைப்பாகும். காந்த வட்டுக்குத் தேவையான TbFeCo அலாய் இலக்கு பொருள் இன்னும் வளர்ச்சியில் உள்ளது. TbFeCo உடன் தயாரிக்கப்பட்ட காந்த வட்டு பெரிய சேமிப்பு திறன், நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் தொடர்பு இல்லாத அழித்தல் போன்ற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது.

ஆண்டிமனி ஜெர்மானியம் டெல்லூரைடு அடிப்படையிலான கட்ட மாற்ற நினைவகம் (PCM) குறிப்பிடத்தக்க வணிக ஆற்றலைக் காட்டியது, NOR ஃபிளாஷ் நினைவகத்தின் ஒரு பகுதியாக மாறியது மற்றும் DRAM சந்தை ஒரு மாற்று சேமிப்பு தொழில்நுட்பமாக மாறியது, இருப்பினும், செயல்படுத்துவதில் உள்ள சவால்களில் ஒன்று மீட்டமைக்க முடியாதது. தற்போதைய உற்பத்தியை மேலும் முழுமையாக சீல் செய்யப்பட்ட அலகு குறைக்க முடியும். ரீசெட் மின்னோட்டத்தைக் குறைப்பது நினைவக சக்தி நுகர்வைக் குறைக்கிறது, பேட்டரி ஆயுளை நீட்டிக்கிறது மற்றும் தரவு அலைவரிசையை மேம்படுத்துகிறது, இன்றைய தரவு மையப்படுத்தப்பட்ட, அதிக கையடக்க நுகர்வோர் சாதனங்களில் உள்ள அனைத்து முக்கிய அம்சங்களும்.