Lengo lina soko pana, eneo la maombi na maendeleo makubwa katika siku zijazo. Ili kukusaidia kuelewa vyema vipengele vinavyolengwa, hapa chini mhandisi wa RSM atatambulisha kwa ufupi mahitaji makuu ya utendakazi ya anayelengwa.
Usafi: usafi ni moja ya viashiria kuu vya kazi ya lengo, kwa sababu usafi wa lengo una athari kubwa juu ya kazi ya filamu. Hata hivyo, katika matumizi ya vitendo, mahitaji ya usafi wa lengo pia ni tofauti. Kwa mfano, pamoja na maendeleo ya haraka ya sekta ya microelectronics, ukubwa wa kaki ya silicon hupanuliwa kutoka 6 "hadi 8" hadi 12", na upana wa wiring hupunguzwa kutoka 0.5um hadi 0.25um, 0.18um au hata 0.13um. Hapo awali, 99.995% ya usafi wa lengo inaweza kukidhi mahitaji ya mchakato wa 0.35umic, wakati maandalizi ya mistari ya 0.18um inahitaji 99.999% au hata 99.9999% ya usafi wa lengo.
Maudhui ya uchafu: uchafu katika yabisi lengwa na oksijeni na mvuke wa maji kwenye vinyweleo ndio vyanzo vikuu vya uchafuzi wa filamu zilizowekwa. Malengo kwa madhumuni tofauti yana mahitaji tofauti kwa yaliyomo tofauti ya uchafu. Kwa mfano, shabaha safi za alumini na aloi zinazotumiwa katika tasnia ya semiconductor zina mahitaji maalum ya maudhui ya metali ya alkali na maudhui ya kipengele cha mionzi.
Uzito wiani: ili kupunguza pores katika shabaha imara na kuboresha kazi ya filamu ya sputtering, lengo kawaida huhitajika kuwa na msongamano mkubwa. Uzito wa lengo hauathiri tu kiwango cha sputtering, lakini pia huathiri kazi za umeme na za macho za filamu. Kadiri msongamano wa walengwa unavyoongezeka, ndivyo kazi ya filamu inavyokuwa bora zaidi. Kwa kuongeza, msongamano na nguvu ya lengo huboreshwa ili lengo liweze kukubali vyema mkazo wa joto katika mchakato wa sputtering. Msongamano pia ni moja ya viashiria muhimu vya utendaji wa lengo.
Muda wa kutuma: Mei-20-2022