1, Maandalizi ya kunyunyiza
Ni muhimu sana kuweka chumba cha utupu, hasa mfumo wa sputtering safi. Mabaki yoyote yanayoundwa na mafuta ya kulainisha, vumbi na mipako ya awali itakusanya mvuke wa maji na uchafuzi mwingine, ambayo itaathiri moja kwa moja kiwango cha utupu na kuongeza uwezekano wa kushindwa kutengeneza filamu. Mzunguko mfupi au upinde wa shabaha, uso wa filamu mbaya na uchafu mwingi wa kemikali mara nyingi husababishwa na chemba chafu ya kunyunyizia, bunduki ya kunyunyiza na shabaha. Ili kuzingatia sifa za utungaji wa mipako, ni muhimu kusafisha na kukausha gesi ya sputtering (argon au oksijeni). Baada ya substrate kusakinishwa kwenye chumba cha kunyunyizia, hewa inahitaji kutolewa ili kufikia utupu unaohitajika na mchakato. Kifuniko cha kinga katika eneo la giza, ukuta wa cavity na uso wa karibu pia unahitaji kuwekwa safi. Wakati wa kusafisha chumba cha utupu, tunatetea kutumia ulipuaji wa risasi ya glasi kutibu sehemu zenye vumbi, pamoja na hewa iliyoshinikizwa ili kuondoa mabaki ya mapema ya kunyunyiza kuzunguka chumba, na kisha kung'arisha uso wa nje kwa utulivu na sandpaper iliyotiwa aluminium. Baada ya polishing karatasi ya chachi, ni kusafishwa na pombe, asetoni na maji deionized. Kwa pamoja, inatetea matumizi ya kisafishaji cha utupu cha viwandani kwa kusafisha msaidizi. Malengo yanayotengenezwa na chuma cha Gaozhan yamefungwa kwenye mifuko ya plastiki iliyofungwa kwa utupu,
Imejengwa kwa wakala wa kuzuia unyevu. Unapotumia lengo, tafadhali usiguse lengo moja kwa moja kwa mkono wako. Kumbuka: unapotumia lengo, tafadhali vaa glavu za matengenezo safi na zisizolipishwa. Kamwe usiguse lengo moja kwa moja kwa mikono yako
2, Kusafisha kwa lengo
Madhumuni ya kusafisha lengo ni kuondoa vumbi au uchafu unaoweza kuwepo kwenye uso wa lengo.
Lengo la chuma linaweza kusafishwa kwa hatua nne,
Hatua ya kwanza ni kusafisha kwa kitambaa laini kisicho na pamba kilichowekwa kwenye asetoni;
Hatua ya pili ni sawa na hatua ya kwanza, kusafisha na pombe;
Hatua ya 3: safi na maji yaliyotengwa. Baada ya kuosha na maji yaliyotengwa, weka lengo katika tanuri na uikate kwa 100 ℃ kwa dakika 30.
Usafishaji wa malengo ya oksidi na kauri utafanywa kwa "kitambaa cha bure".
Hatua ya nne ni kuosha lengo na argon na shinikizo la juu na gesi ya maji ya chini baada ya kuondoa eneo la vumbi, ili kuondoa chembe zote za uchafu ambazo zinaweza kuunda arc katika mfumo wa sputtering.
3, kifaa lengwa
Katika mchakato wa usanidi wa lengo, tahadhari muhimu za Z ni kuhakikisha muunganisho mzuri wa upitishaji wa mafuta kati ya shabaha na ukuta wa kupoeza wa bunduki ya kunyunyiza. Ikiwa kipenyo cha nguzo ya nguzo ya kupoeza ni kali au upenyezaji wa bati la nyuma ni kali, kifaa kinacholengwa kitapasuka au kupinda, na upitishaji wa mafuta kutoka kwa lengo la nyuma hadi kwenye lengo utaathirika sana, na hivyo kusababisha kutofaulu kwa utaftaji wa joto. katika mchakato wa sputtering, na lengo litapasuka au kukosa
Ili kuhakikisha conductivity ya mafuta, safu ya karatasi ya grafiti inaweza kuunganishwa kati ya ukuta wa baridi wa cathode na lengo. Tafadhali zingatia kwa uangalifu na uweke wazi usawa wa ukuta wa kupoeza wa bunduki ya kunyunyiza inayotumiwa ili kuhakikisha kuwa pete ya O iko kila wakati.
Kwa kuwa usafi wa maji ya baridi yaliyotumiwa na vumbi vinavyoweza kutokea wakati wa uendeshaji wa vifaa vitawekwa kwenye tank ya maji ya baridi ya cathode, ni muhimu kuangalia na kusafisha tank ya maji ya baridi ya cathode wakati wa kufunga lengo ili kuhakikisha laini. mzunguko wa maji baridi na kwamba ghuba na plagi haitazuiliwa.
Baadhi ya cathodes imepangwa kuwa na nafasi ndogo na anode, hivyo wakati wa kufunga lengo, inahitajika kuhakikisha kuwa hakuna kugusa au conductor kati ya cathode na anode, vinginevyo mzunguko mfupi utatokea.
Rejelea Mwongozo wa opereta wa kifaa kwa maelezo ya jinsi ya kuendesha lengo kwa usahihi. Ikiwa hakuna taarifa hiyo katika mwongozo wa mtumiaji, tafadhali jaribu kufunga kifaa kulingana na mapendekezo husika yaliyotolewa na chuma cha Gaozhan. Wakati wa kuimarisha fixture lengo, kwanza kaza bolt moja kwa mkono, na kisha kaza bolt nyingine kwenye diagonal kwa mkono. Kurudia hili mpaka bolts zote kwenye kifaa zimeimarishwa, na kisha kaza na kitu.
4, Mzunguko mfupi na ukaguzi wa kukazwa
Baada ya kukamilika kwa kifaa kinacholengwa, inahitajika kuangalia mzunguko mfupi na ukali wa cathode nzima,
Inapendekezwa kuamua ikiwa kuna mzunguko mfupi katika cathode kwa kutumia mita ya upinzani
Ubaguzi wa safu. Baada ya kuthibitisha kuwa hakuna mzunguko mfupi katika cathode, kugundua kuvuja kunaweza kufanywa, na maji yanaweza kuletwa kwenye cathode ili kuthibitisha ikiwa kuna uvujaji wa maji.
5, Lengo kabla ya sputtering
Unyunyiziaji wa awali unaolengwa hutetea utepeshaji wa argon safi, ambao unaweza kusafisha uso wa shabaha. Wakati lengo limetanguliwa, inapendekezwa kuongeza polepole nguvu ya kunyunyiza, na kasi ya kuongeza nguvu ya shabaha ya kauri ni 1.5WH / cm2. Kasi ya kutapika kabla ya shabaha ya chuma inaweza kuwa kubwa zaidi kuliko ile ya kizuizi cha kauri, na kiwango cha kuridhisha cha ongezeko la nguvu ni 1.5WH / cm2.
Katika mchakato wa sputtering kabla, tunahitaji kuangalia arcing ya lengo. Muda wa kabla ya kunyunyiza kwa ujumla ni kama dakika 10. Ikiwa hakuna uzushi wa arcing, endelea kuongeza nguvu ya kunyunyiza
Kwa nguvu iliyowekwa. Kulingana na uzoefu, inayokubalika Z high sputtering nguvu ya shabaha ya chuma ni
25wati / cm2, 10wati / cm2 kwa lengo la kauri. Tafadhali rejelea msingi wa mpangilio na uzoefu wa shinikizo la chumba cha utupu wakati wa kunyunyiza katika mwongozo wa uendeshaji wa mfumo wa mtumiaji. Kwa ujumla, inapaswa kuhakikisha kuwa joto la maji kwenye sehemu ya maji ya kupoa linapaswa kuwa chini ya 35 ℃, lakini Z ni muhimu kuhakikisha kuwa mfumo wa mzunguko wa maji baridi unaweza kufanya kazi kwa ufanisi.
Mzunguko wa haraka wa maji ya supercooling huondoa joto, ambayo ni dhamana muhimu ya kuhakikisha sputtering kuendelea na nguvu ya juu. Kwa malengo ya chuma, inapendekezwa kwa ujumla kuwa mtiririko wa maji ya baridi ni
Shinikizo la maji 20lpm ni karibu 5gmp; Kwa malengo ya kauri, inapendekezwa kwa ujumla kuwa mtiririko wa maji ni 30lpm na shinikizo la maji ni karibu 9gmp.
6, Matengenezo ya lengo
Ili kuzuia mzunguko mfupi na upinde unaosababishwa na cavity najisi katika mchakato wa kunyunyiza, ni muhimu kuondoa sputter iliyokusanywa katikati na pande zote mbili za wimbo wa sputtering kwa hatua,
Hii pia husaidia watumiaji kunyunyiza kila mara kwa msongamano wa nguvu z wa juu
7, Hifadhi inayolengwa
Malengo yaliyotolewa na chuma cha Gaozhan yamewekwa kwenye mifuko ya plastiki ya utupu yenye safu mbili. Tunatetea watumiaji kuweka malengo, iwe ya chuma au kauri, katika vifungashio vya utupu. Hasa, malengo ya kuunganisha yanahitajika kuhifadhiwa chini ya hali ya utupu ili kuzuia oxidation ya safu ya kuunganisha kutoka kwa kuathiri ubora wa kuunganisha. Kuhusu ufungaji wa shabaha za chuma, tunashauri kwamba Z ifungwe kwenye mifuko safi ya plastiki.
Muda wa kutuma: Mei-13-2022