Maarifa ya matengenezo ya lengo la sputtering

Marafiki wengi kuhusu udumishaji wa lengo kuna maswali mengi au machache, hivi majuzi pia kuna wateja wengi wanaoshauriana kuhusu urekebishaji wa matatizo yanayolengwa yanayohusiana, hebu turuhusu mhariri wa RSM ashirikiane kuhusu kueneza maarifa ya matengenezo lengwa .

　　Je, shabaha za sputter zinapaswa kudumishwa vipi?

　　1, Matengenezo ya lengo

Ili kuepuka mzunguko mfupi na arcing unaosababishwa na cavity najisi katika mchakato wa sputtering, ni muhimu mara kwa mara kuondoa sputters kusanyiko katikati na pande zote mbili za kufuatilia sputtering, ambayo pia husaidia watumiaji kuendelea sputter katika msongamano high nguvu.

　　2, Hifadhi inayolengwa

Tunapendekeza kwamba watumiaji wahifadhi lengwa (iwe chuma au kauri) katika vifungashio vya utupu, hasa shabaha inayolingana lazima ihifadhiwe katika utupu ili kuzuia uoksidishaji wa safu ya kufaa usiathiri ubora wa kufaa. Kuhusu ufungaji wa shabaha za chuma, tunashauri kwamba zinapaswa kuingizwa kwenye mifuko safi ya plastiki angalau.

　　3, kusafisha lengo

Hatua ya kwanza ni kusafisha kwa kitambaa laini kisicho na pamba kilichowekwa kwenye asetoni;

Hatua ya pili ni sawa na hatua ya kwanza, kusafisha na pombe;

Hatua ya 3: safi na maji yaliyotengwa. Baada ya kusafisha na maji yaliyotengwa, lengo huwekwa kwenye oveni na kukaushwa kwa 100 ℃ kwa dakika 30. Inapendekezwa kutumia "kitambaa kisicho na pamba" kusafisha shabaha za oksidi na kauri.

Hatua ya nne ni kuosha lengo na argon na shinikizo la juu na unyevu wa chini ili kuondoa chembe zisizo najisi ambazo zinaweza kusababisha arc katika mfumo wa sputtering.

　　4, Mzunguko mfupi na ukaguzi wa kukazwa

Baada ya lengo kusakinishwa, cathode nzima inahitaji kuchunguzwa kwa mzunguko mfupi na tightness. Inashauriwa kuhukumu ikiwa kuna mzunguko mfupi katika cathode kwa kutumia mita ya upinzani na megger. Baada ya kuthibitisha kuwa hakuna mzunguko mfupi katika cathode, ukaguzi wa uvujaji wa maji unaweza kufanywa, na maji yanaweza kuletwa ndani ya cathode ili kuamua ikiwa kuna uvujaji wa maji.

　　5, Ufungaji na usafiri

Malengo yote yamewekwa kwenye mifuko ya plastiki iliyofungwa kwa utupu na wakala wa kuzuia unyevu. Kifurushi cha nje kwa ujumla ni kisanduku cha mbao kilicho na safu ya kuzuia mgongano kuzunguka ili kulinda lengwa na ndege ya nyuma kutokana na uharibifu wakati wa usafirishaji na uhifadhi.