Sifa kuu za nyenzo inayolengwa ya sputtering

Ni lazima tufahamu sana shabaha sasa, sasa soko lengwa pia linaongezeka, ifuatayo ndio utendaji kuu wa shabaha ya sputtering iliyoshirikiwa na mhariri kutoka RSM.

　　Usafi

Usafi wa nyenzo zinazolengwa ni mojawapo ya fahirisi kuu za utendaji, kwa sababu usafi wa nyenzo zinazolengwa una ushawishi mkubwa juu ya utendaji wa filamu nyembamba. Hata hivyo, katika matumizi ya vitendo, mahitaji ya usafi wa vifaa vya lengo si sawa. Kwa mfano, pamoja na maendeleo ya haraka ya sekta ya microelectronics, ukubwa wa chip silicon umetengenezwa kutoka 6 ", 8" hadi 12", na upana wa wiring umepunguzwa kutoka 0.5um hadi 0.25um,0.18um au hata 0.13um. Hapo awali, usafi wa nyenzo lengwa 99.995% unaweza kukidhi mahitaji ya mchakato wa 0.35umIC. Usafi wa nyenzo zinazolengwa ni 99.999% au hata 99.9999% kwa ajili ya maandalizi ya mistari ya 0.18um.

　　Maudhui ya uchafu

Uchafu katika kigumu lengwa na mvuke wa oksijeni na maji kwenye tundu ndio vyanzo vikuu vya uchafuzi wa utuaji wa filamu. Nyenzo zinazolengwa kwa madhumuni tofauti zina mahitaji tofauti kwa maudhui tofauti ya uchafu. Kwa mfano, shabaha za alumini safi na aloi za alumini zinazotumiwa katika tasnia ya semiconductor zina mahitaji maalum kwa maudhui ya metali za alkali na vipengele vya mionzi.

　　Msongamano

Ili kupunguza porosity katika shabaha imara na kuboresha utendaji wa filamu ya sputtering, msongamano mkubwa wa lengo kawaida huhitajika. Uzito wa lengo huathiri sio tu kiwango cha kupiga kelele lakini pia mali ya umeme na macho ya filamu. Kadiri msongamano wa walengwa unavyoongezeka, ndivyo utendaji wa filamu unavyokuwa bora zaidi. Kwa kuongeza, kuongeza msongamano na nguvu ya lengo hufanya lengo bora kuhimili mkazo wa joto katika mchakato wa sputtering. Msongamano pia ni mojawapo ya viashiria muhimu vya utendaji vya lengo.

　　Saizi ya nafaka na usambazaji wa saizi ya nafaka

Lengo kwa kawaida ni polycrystalline yenye ukubwa wa nafaka kuanzia mikromita hadi milimita. Kwa lengo sawa, kiwango cha kunyunyiza kwa lengo na nafaka ndogo ni kasi zaidi kuliko ile ya lengo na nafaka kubwa. Usambazaji wa unene wa filamu zilizowekwa kwa lengo la sputtering na tofauti ndogo ya ukubwa wa nafaka (usambazaji wa sare) ni sawa zaidi.