Sote tunajua kuwa sputtering ni moja ya teknolojia kuu ya kuandaa vifaa vya filamu. Inatumia ioni zinazozalishwa na chanzo cha ioni kuharakisha mjumuisho katika utupu kuunda boriti ya ioni ya kasi ya juu, kurusha uso thabiti, na ioni hubadilishana nishati ya kinetiki na atomi kwenye uso thabiti, ili atomi kwenye sehemu ngumu. uso kuondoka imara na kuhifadhi juu ya uso substrate. Ngumu iliyopigwa mabomu ni malighafi ya kuweka filamu kwa sputtering, ambayo inaitwa sputtering target.
Aina mbalimbali za nyenzo za filamu zilizopigwa zimetumiwa sana katika mizunguko ya semiconductor jumuishi, vyombo vya habari vya kurekodi, maonyesho ya planar, mipako ya chombo na kufa na kadhalika.
Malengo ya kunyunyiza hutumiwa hasa katika tasnia ya elektroniki na habari, kama vile saketi zilizojumuishwa, uhifadhi wa habari, maonyesho ya kioo kioevu, kumbukumbu za leza, vifaa vya kudhibiti kielektroniki, n.k; Inaweza pia kutumika katika uwanja wa mipako ya kioo; Inaweza pia kutumika katika vifaa vinavyostahimili kuvaa, upinzani wa kutu kwa joto la juu, bidhaa za mapambo ya hali ya juu na tasnia zingine.
Kuna aina nyingi za shabaha za sputtering, na kuna njia tofauti za uainishaji wa malengo:
Kulingana na muundo, inaweza kugawanywa katika shabaha ya chuma, shabaha ya aloi na shabaha ya kiwanja cha kauri.
Kulingana na sura, inaweza kugawanywa katika lengo la muda mrefu, lengo la mraba na lengo la pande zote.
Inaweza kugawanywa katika lengo la microelectronic, lengo la kurekodi magnetic, lengo la disk ya macho, shabaha ya chuma ya thamani, lengo la upinzani wa filamu, lengo la filamu ya conductive, lengo la kurekebisha uso, lengo la mask, lengo la safu ya mapambo, shabaha ya electrode na malengo mengine kulingana na uwanja wa maombi.
Kulingana na matumizi tofauti, inaweza kugawanywa katika malengo ya kauri yanayohusiana na semiconductor, kurekodi shabaha za kauri za kati, shabaha za kauri za kuonyesha, shabaha za kauri za upitishaji wa juu na shabaha kubwa za kauri za magnetoresistance.
Muda wa kutuma: Jul-29-2022