Mahitaji ya tabia ya lengo la kumwagilia molybdenum

Hivi majuzi, marafiki wengi waliuliza juu ya sifa za malengo ya sputtering ya molybdenum. Katika tasnia ya kielektroniki, ili kuboresha ufanisi wa kunyunyiza na kuhakikisha ubora wa filamu zilizowekwa, ni nini mahitaji ya sifa za shabaha za molybdenum sputtering? Sasa wataalam wa kiufundi kutoka RSM watatuelezea.

　　1. Usafi

Usafi wa hali ya juu ni hitaji la kimsingi la lengo la kumwagilia molybdenum. Kadiri ubora wa shabaha ya molybdenum unavyoongezeka, ndivyo utendakazi bora wa filamu iliyochafuliwa. Kwa ujumla, usafi wa shabaha ya molybdenum inapaswa kuwa angalau 99.95% (sehemu ya molekuli, sawa hapa chini). Hata hivyo, pamoja na uboreshaji unaoendelea wa ukubwa wa substrate ya kioo katika sekta ya LCD, urefu wa wiring unahitajika kupanuliwa na upana wa mstari unahitajika kuwa nyembamba. Ili kuhakikisha usawa wa filamu na ubora wa wiring, usafi wa shabaha ya molybdenum sputtering pia inahitajika kuongezwa ipasavyo. Kwa hiyo, kulingana na ukubwa wa substrate ya kioo iliyopigwa na mazingira ya matumizi, usafi wa lengo la molybdenum sputtering unahitajika kuwa 99.99% - 99.999% au hata zaidi.

Lengo la kunyunyizia molybdenum hutumiwa kama chanzo cha cathode katika kunyunyiza. Uchafu katika imara na oksijeni na mvuke wa maji katika pores ni vyanzo kuu vya uchafuzi wa filamu zilizowekwa. Aidha, katika sekta ya umeme, kwa sababu ions za chuma za alkali (Na, K) ni rahisi kuwa ions za simu katika safu ya insulation, utendaji wa kifaa cha awali umepunguzwa; Vipengele kama vile uranium (U) na titanium (TI) vitatolewa α X-ray, na kusababisha kuharibika kwa vifaa; Ioni za chuma na nikeli zitasababisha kuvuja kwa kiolesura na kuongezeka kwa vipengele vya oksijeni. Kwa hivyo, katika mchakato wa kuandaa lengo la kunyunyizia molybdenum, vitu hivi vya uchafu vinahitaji kudhibitiwa kwa uangalifu ili kupunguza yaliyomo kwenye lengo.

　　2. Ukubwa wa nafaka na usambazaji wa ukubwa

Kwa ujumla, shabaha ya kunyunyizia molybdenum ni muundo wa polycrystalline, na saizi ya nafaka inaweza kuanzia mikroni hadi milimita. Matokeo ya majaribio yanaonyesha kwamba kiwango cha kunyunyiza kwa shabaha ya nafaka nzuri ni kasi zaidi kuliko ile ya shabaha ya nafaka mbovu; Kwa lengo na tofauti ndogo ya ukubwa wa nafaka, usambazaji wa unene wa filamu iliyowekwa pia ni sare zaidi.

　　3. Mwelekeo wa kioo

Kwa sababu atomi zinazolengwa ni rahisi kunyunyiziwa kwa upendeleo kwenye mwelekeo wa mpangilio wa karibu wa atomi katika mwelekeo wa hexagonal wakati wa kunyunyiza, ili kufikia kiwango cha juu zaidi cha kunyunyizia, kiwango cha kunyunyizia mara nyingi huongezeka kwa kubadilisha muundo wa kioo wa lengo. Mwelekeo wa kioo wa lengo pia una ushawishi mkubwa juu ya usawa wa unene wa filamu iliyopigwa. Kwa hiyo, ni muhimu sana kupata muundo fulani wa lengo la kioo kwa mchakato wa sputtering wa filamu.

　　4. Msongamano

Katika mchakato wa kupaka mipako, wakati shabaha ya sputtering yenye msongamano mdogo inapigwa kwa bomu, gesi iliyopo kwenye vinyweleo vya ndani ya shabaha hutolewa ghafla, na kusababisha kunyunyiziwa kwa chembe au chembe za ukubwa wa shabaha, au nyenzo za filamu hupigwa. na elektroni za sekondari baada ya uundaji wa filamu, na kusababisha chembe splashing. Kuonekana kwa chembe hizi kutapunguza ubora wa filamu. Ili kupunguza vinyweleo kwenye shabaha dhabiti na kuboresha utendakazi wa filamu, shabaha ya sputtering kwa ujumla inahitajika kuwa na msongamano mkubwa. Kwa lengo la kunyunyizia molybdenum, msongamano wake wa jamaa unapaswa kuwa zaidi ya 98%.

　　5. Kufunga shabaha na chasi

Kwa ujumla, shabaha ya kunyunyizia molybdenum lazima iunganishwe na chasi ya shaba isiyo na oksijeni (au alumini na vifaa vingine) kabla ya kunyunyiza, ili conductivity ya mafuta ya lengo na chasi iwe nzuri wakati wa mchakato wa sputtering. Baada ya kufunga, ukaguzi wa ultrasonic lazima ufanyike ili kuhakikisha kuwa eneo lisilo la kuunganisha kati ya hizo mbili ni chini ya 2%, ili kukidhi mahitaji ya kupiga kwa nguvu ya juu bila kuanguka.