Faida za malengo ya cylindrical na planar sputtering magnetron

Mshauri wa kiufundi wa RSM atashiriki nawe manufaa ya malengo ya cylindrical na planar sputtering magnetron? Ikilinganishwa na shabaha zingine za kunyunyiza kwa magnetron, shabaha za silinda na za mpangilio za magnetron huhifadhi faida za usawa wa mipako ya shabaha za sayari za mstatili, na zinaweza kuongeza matumizi ya shabaha kupitia njia mbili zifuatazo:

(1) Wakati makundi mawili (nne) ya mashimo ya annular kwenye uso wa lengo yanafikia kina fulani, msingi unaolengwa (sehemu ya sumaku) inaweza kuzungushwa 45 ° ikilinganishwa na bomba lengwa, ili maeneo mengine kwenye bomba lengwa. ambazo hazijaharibika zinaweza kutumika;

(2) Wakati kiini lengwa cha shabaha ya silinda na iliyopangwa ya sumaku ya sumaku imeundwa kama msingi lengwa unaozunguka (msingi unaolengwa unazunguka wakati wa kunyunyiza), uso wa shabaha unaweza kutawanywa kwa usawa kutoka safu kwa safu bila mashimo. Kwa wakati huu, lengo litatumika kwa ufanisi zaidi, na kiwango cha matumizi ya lengo kinaweza kufikia 50% ~ 60% Wakati nyenzo inayolengwa ni chuma cha thamani, hii ni dhahiri ya umuhimu mkubwa.

Kwa kutumia kanuni ya sumaku yenye kiatu cha nguzo katika shabaha ya kunyunyiza sumaku ya silinda ya coaxial ili kutatua tatizo la uga wa sumaku wa mwisho, shabaha ya ndege ya mstatili inaweza kubadilishwa kuwa shabaha ya sumaku ya silinda na iliyopangwa, inayolengwa inaweza kuongeza kiwango cha matumizi ya lengo. huku ukiweka usawa mzuri wa mipako ya shabaha ya ndege ya mstatili Ili kuboresha faida za kiuchumi.