Sputtrande titanlegeringsmål och titanlegering är sammansatta av titan, så informationen är ungefär densamma, men skillnaden mellan de två ligger främst i det sputtrande titanlegeringsmålet är tillverkat av titanmetall på flera sätt, och titan förekommer i naturen som en titanlegeringsmål kan användas i många yrkeskategorier, nu sammanfattade Beijing Richmats författare flera vanliga titanium legering mål i termer av användningen av situationen för att ge oss en detaljerad introduktion.
.
一、Ti-mål för integrerade kretsar
Kraven för förstoftning av mål av titanlegering är olika mellan icke-integrerade kretsar och integrerade kretsar. Generellt sett har integrerade kretsar högre krav på beläggningsdata, såsom högre renhet, mindre kornstorlek och mer exakt skalnoggrannhet. Renheten hos titanmål i integrerade kretsar är större än 99,995 %, vilket är högre än den som används i icke-integrerade kretsar. kretsar, vilket indikerar att olika användningar av titanmålkraven är mycket olika.
二、Ti-mål för plattskärm
Mål av titanlegering som används i platta bildskärmar inkluderar flytande kristallskärm, plasmaskärm, elektroluminescensskärm och fältemissionsskärm. Den tunna filmen på platt bildskärm är sputterformningsmetoden, Al, Cu, Ti och Mo är de primära metallförstoftningsmålen för plattskärmar skärmar.Renheten hos titanlegeringsmål för platta bildskärmar är vanligtvis högre än 99,9 %.
三、Ti mål för dekorativa material
Hög renhet titanlegering målmaterial har utmärkt luftkorrosionsbeständighet, långvarig användning i luften ändrar inte färg, för att säkerställa att den ursprungliga färgen på titan och mänsklig kontakt inte är allergisk och andra utmärkta egenskaper. Därför kan titan med hög renhet också användas som dekorativa material, de senaste åren, såsom armband, klockor och glasögon och andra prydnadsföremål med titanrenhet, har nått 5N-nivån.
四、Ti-mål för pumpsystem med ultrahögt vakuum
Som en kemiskt aktiv metall kan titan reagera med många grundämnen och föreningar vid hög temperatur. Titanlegeringsmålet med hög renhet har en stark adsorptionskapacitet för aktiva gaser (såsom O2, N2, CO, CO2, vattenånga över 650°C), och Ti-filmen som avdunstar på pumpväggen kan bilda en yta med hög adsorptionsprestanda . Denna egenskap gör att Ti används i stor utsträckning som en getter i gasutvinningssystem med ultrahögt vakuum. Om den används för att förbättra pumpen, sputterjonpumpen, etc., kan den göra det slutliga arbetstrycket för sputterjonpumpen så lågt som 10-9PA
Posttid: 2022-apr-25